深圳东信高科自动化设备北京快乐8 http://www.webboston.com 等离子清洗机-等离子表面处理-等离子清洗设备-环保超声波清洗机-全自动清洗机 Sat, 03 Aug 2019 09:30:40 +0000 zh-CN hourly 1 http://wordpress.org/?v=3.5.1 等离子清洗机在电子行业有哪些应用? http://www.webboston.com/plasma-cleaner-120/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-120/#comments Fri, 02 Aug 2019 02:51:07 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4258 经济的发展,人们的生活水平不断提高,对消费品的质量要求也越来越高,等离子技术随之逐步进入生活消费品生产行业中;另外,科技的不断发展,各种技术问题的不断提出,新材料的不断涌现,越来越多的科研机构已认识到等离子技术的重要性,并投入大量资金进行技术攻关,等离子技术在其中发挥了非常大的作用。下面就为大家介绍一下等离子清洗机电子行业的几个应用。

1。硬盘塑料件科学的发展,技术的不断进步,电脑硬盘的各项性能也不断提高,其容量越来越大,碟片数量随之增多,转速也高达7200转/分,这对硬盘结构的要求也越来越高,硬盘内部部件之间连接效果直接影响硬盘的稳定性、工作可靠性、使用寿命,这些因素直接关系到数据的安全性。为了确保硬盘的质量,知名硬盘生产厂家对内部塑料件在粘接前均进行各种处理,应用较多的是等离子处理技术,使用该技术能有效清洁塑料件表面油污,并能增加其表面活性,即能提高硬盘部件的粘接效果。实验表明,硬盘中使用等离子处理过的塑料件在使用过程中持续稳定运行时间显著增加,可靠性及抗碰撞性能有明显的改善。

2.耳机听筒耳机中的线圈在信号电流的驱动下带动振膜不停的振动,线圈和振膜以及振膜与耳机壳体之间的粘接效果直接影响耳机的声音效果和使用寿命,如果它们之间出现脱落就会产生破音,严重影响耳机的音效和寿命。振膜的厚度非常薄,要提高其粘接效果,使用化学方法处理,直接影响振膜的材质,从而影响音效。众多厂家正准备使用新技术来对振膜进行处理,等离子处理就是其中之一,该技术能有效提高粘接效果,满足需求,且不改变振膜的材质。经实验,用等离子清洗机处理生产的耳机,各部分之间的粘接效果明显改善,在长时间高音测试下也不会有破音等现象发生,使用寿命也有很大的提高。

3.手机外壳手机的种类繁多,外观更是多彩多样,其颜色鲜艳,Logo醒目,但使用手机的人都知道,手机在使用一段时间后,其外壳容易掉漆,甚至Logo也变得模糊不清,严重影响手机的外观形象。知名手机品牌厂家为了寻找解决这些问题的方法,曾使用化学药剂对手机塑料外壳进行处理,其印刷粘接的效果有所改善,但这是降低手机外壳的硬度为代价,为了寻求更好的解决方案,等离子技术脱颖而出。等离子表面处理技术不仅可以清洗外壳在注塑时留下的油污,更能最大程度的活化塑料外壳表面,增强其印刷、涂覆等粘接效果,使得外壳上涂层与基体之间非常牢固地连接,涂覆效果非常均匀,外观更加亮丽,并且耐磨性大大增强,长时间使用也不会出现磨漆现象。

4.IC封装器件长期使用的可靠性主要因素取决于芯片的互连技术, 通过检测分析, 器件的失效约25%是由芯片互连较差导致的。芯片互连引起的失效主要表现为引线虚焊、分层、压焊过重导致的引线变形及损伤、焊点间距过小而易于短路等, 这些失效形式都与材料表面的污染物有关, 主要包括微颗粒、氧化薄层及有机残留等污染物。在线式等离子清洗技术为人们提供了一条环保有效的解决途径, 已变成高自动化的封装工艺过程中不可缺少的关键设备和工艺。

伴随着现代科技飞速发展的需要, 并通过不断的工艺优化, 等离子清洗机及工艺在电子行业内的应用将越来越广泛, 并以其优良的性能成为21世纪IC封装领域内关键生产装置, 成为大规模生产过程中提高产品成品率及可靠性的重要工艺措施, 未来必然不可或缺。

等离子清洗技术也将不断发展并扩大应用范围, 以目前的情况来说, 其工艺技术推广到LED封装及LCD行业趋势势在必行。展望未来, 等离子清洗技术能够大力促进微电子行业技术的快速发展, 其发展前景无限美好。

等离子清洗机

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等离子清洗多层陶瓷外壳 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-119/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-119/#comments Wed, 31 Jul 2019 09:18:49 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4255 多层陶瓷外壳是由多层金属化陶瓷、底座和金属 零件采用 Ag72Cu28焊料钎焊而成,进入电镀环节前, 外壳表面不可避免地会形成各种沾污,包括微尘、固体 颗粒、有机物等,同时由于自然氧化,还会有一层氧化层。电镀前必须清洁镀件表面,否则将影响镀层与基体的结合力,造成镀层起皮、起泡。为了去除这类污染物,常采用甲苯、丙酮、酒精等有机溶剂进行超声清 洗,但这种方法一方面清洗不彻底,易造成镀层缺陷, 另一方面会使制造成本增加,并引发环境问题。等离 子体清洗因具有良好的均匀性、重复性、可控性及节能 环保性,在封装领域获得了推广应用。

等离子清洗过程中,氧气变成含有氧原子自由基、激发态的氧气分 子、电子等微粒的等离子体,这类等离子体与固体表面 发生的反应可以分为物理反应(离子轰击)和化学反 应,物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面,使污染 物脱离表面最终被真空泵吸走,化学反应机制是 O活 性粒子将有机物氧化成水和二氧化碳分子,并从表面清除,由真空泵吸走。

采用 O2 作为清洗气体对 Ag72Cu28焊料进行 等离 子 清 洗,具 有 显 著 的 可 操 作 性。 在 采 用 Ag72Cu28焊料钎焊外壳的表面电镀 Ni,Au前,用 O2 作为清洗气体进行等离子清洗,能去掉有机物沾污,提高镀层质量,这对提高封装质量和器件可靠性极为重 要,同时对节能减排也起到了很好的示范效用。

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等离子体表面处理在纺织材料改性中的应用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-118/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-118/#comments Tue, 30 Jul 2019 08:32:26 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4248 目前,应用于纺织品的材料有棉、麻、丝、毛等天然纤维,涤纶、锦纶、腈纶等合成纤维,纤 维的性能直接决定了纺织面料的性能。纤维表面改性是提高纺织面料服用性能的重要手段,具体方法可分为化学方法和物理方法。纤维的化学方法改性由于其自身发展的制约因素,在处理过程中过 量能耗、污染等形成了发展的瓶颈。于是人们把目光投向了物理方法,在众多纤维表面改性的物理 方法中,等离子体技术是发展前景最广阔的。 等离子体处理广泛应用于诸多领域,在纺织工业中的应用也得到人们的极大关注。应用于纺织材料加工的等离子体主要是低温等离子体,它具有许多优点,清洁环保型是最主要的优点。低温等离子体工艺属于干态加工工艺,在处理过程中低能量消耗,没有污染的产生,无需处理污染物的人 力、物力、财力的投入;操作过程灵活简单,不受处理品体积状态的影响。 低温等离子体加工工艺仅仅改变纤维表面极浅一层(<10nm)的结构,不会影响纤维的整体性能, 而且能够实现传统化学反应所不能实现的反应。因此可以利用这项技术对纤维表面进行改性,进而赋予织物特殊的服用性能。

等离子体表面处理在纺织材料改性中的应用

棉纤维具有许多优点,自古以来深受人们的喜爱,棉织物不但是纺织服装工业中的常青树,而且是纺织工业中最主要的原料。现今,在全球绿色浪潮的推动下,研究者的目光开始转向了等离子体技术,朝着开发更经济、环保的棉织品染整工艺的方向努力。利用氧低温等离子体对棉坯布处理,经 ESCA 测定,处理后棉纤维表面引入大量的亲水性含氧 集团,如—OOH,—OH,—C=O。由于这些基团的存在,使得处理后的棉纤维在染整后加工中与处理 液的接触角大大降低,极大的提高了棉纤维的润湿性能。研究表明经氧等离子体工艺处理后,织 物上的浆料、油脂、脂肪、蜡质等杂质对纤维的黏附性能大大降低,使棉纤维的毛效显著提高。

锦纶织物强度高、耐磨性好、表面较光亮、富有弹性,但其吸湿性较差。等离子体技术应用于锦纶主要是改善其润湿性、染色性、抗静电性,或者赋予其拒水性、拒油性等。

北京快乐8纤维经过空气、氧气、氮气、氩气等离子体处理后,由于纤维非晶区表面发生破坏而变得疏松,使 染料对纤维的可及度增加,提高了染料的上染百分率。这是由于等离子体处理时在氧的作用下有利 于生成极性基团,再加上对纤维非晶区的刻蚀的双重作用,就有利于分散染料的上染。 用三氟乙烯等离子体处理涤纶织物,可以使其具有拒水性能,用四氟化碳等离子体处理,涤 纶纤维的氟化程度越高,纤维的拒水性能就越好,且具有耐久性。

北京快乐8等离子体技术作为一项低能耗、清洁、环保、处理均匀的工艺,在纺织材料改性中得到了越来 5 越多的应用,在改变纤维的吸湿性能和染色性能、羊毛织物的防毡缩性能、合成纤维的抗静电性和 拒水性能等方面有了较全面的研究。随着等离子体加工设备的不断改进,等离子体工艺必将加快工 业化的步伐,相信其必定会为纺织业开辟一条真正的绿色通道,具有广泛的应用前景。

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等离子清洗机如何保养? http://www.webboston.com/plasma-cleaner-117/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-117/#comments Mon, 29 Jul 2019 02:16:20 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4240 俗话说,工欲善其事,必先利其器,一个好的工具往往能让工作事半功倍。又说:功夫再高也怕菜刀,机器再好也要保养。所以下面就为大家分享一些常见的等离子清洗机保养事宜:

等离子清洗机保养事项:

1、定期检查真空泵油

每月定期查看真空泵油位和油的纯度,观察油位视窗,油位接近最低红线刻度时,则添加到油红标线上下之间位置;观察油的颜色,正常的油为清洁透明,当油出现浑浊(油颜色变灰褐色或者油位视窗模糊不清)、真空泵噪音异常,则及时更换真空油。

2、清洗反应腔室

首先脱脂棉布沾无水乙醇(俗称酒精)擦拭(不要用乙醇擦拭反应腔体观察玻璃)真空腔体。

其次腔体导入(氩气+氧气)或(氮气+氧气),用等离子体清除腔体内残余物。工作10分钟,每月至少一次。

3、检查输气管道的完整性及真空密封性

定期检查真空系统的完整性,这种检查应该在彻底的清洗反应室之后,以避免污染物遗漏在腔体中。

定期检查反应腔体门密封条是不是松动。

检查各管路是否连接紧固,老化等问题。

4、检查电源连接

电压是否与设备匹配(设备的电压为220V)。

等离子清洗机

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等离子清洗机常见故障及其解决办法 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-116/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-116/#comments Fri, 26 Jul 2019 06:32:22 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4234 1、等离子清洗机不发光

Ø 可能原因:1真空泵是否正常运行;2、射频电源主板烧坏;

Ø 处理措施:1、真空泵是否正常工作,查看真空压力表值是否达到正常压力值;如不能达到正常压强,则代表气路有漏气需重新检查气路是否固定好。

Ø2、打开设备右侧面板,检查射频电源主板绿色灯在设备正常运行下是否亮,如果不亮,请联系东信高科售后人员进行更换。

2、真空泵不工作

Ø 可能原因:1、真空泵油不足;2、电机烧坏;3、真空泵磨损

Ø 处理措施:1、清洗后,添加真空泵油;2、请联系我公司客服

3、清洗效果不良

Ø 可能原因:1、等离子功率不够;2、选用不适合的反应气体

Ø 解决措施1、调节功率旋钮,提高功率;2、工艺气体是否匹配合理;3、咨询我公司客服;

4、真空泵热过载保护,请检查线路和真空泵故障

Ø 出现此情况请首先观察系统参数有无变化,设备突然断电会引起系统参数归零,导致设备出现此类报警。

Ø 如系统参数无变化,请确认热继电器是否自动保护,按复位键,然后启动真空发生系统。如没有自动保护,请检查电气线路有无断路或短路情况。

Ø 检查导线是否有断路或短路情况。

Ø 如无上述异常,请检查真空泵。

5、放空气体压力过低,请检查气体是否开启或气体是否耗尽

Ø 如出现此类报警请检查腔体底部的破真空所用气路电磁阀是否正常工作,线路有无断路或短路。

6、真空泵倒计时故障(机械故障),请检查真空泵抽空能力,故障排除点击复位键

Ø 所处理产品有严重渗气情况,真空倒计时时间设备较短,无法在设备时间内抽到背底真空。

Ø 检查真空门是否关到位

北京快乐8Ø 逐级检查真空系统中各连接点,看是否有管道连接不良或损坏

Ø 真空泵故障,需检查保养真空泵。

7、真空计故障报警,真空计故障或损坏,请检查并更换真空计

Ø 检查真空计是否损坏,检查真空计控制线路是否有断路或短路。

8、急停未复位或已按下,请打开急停开关

北京快乐8Ø 检查急停是否被按下,如没有此情况,请检查急停线路。

9、 CDA压力过低报警(破空气体压力低)

Ø 此报警为压缩空气气压不足够报警,主要出现于配有高真空气动挡板阀(GDQ)的设备,出现此报警时需检查CDA是否正常供气至设备端。

Ø 确认供气压力是否过高或过低,减压表的报警值是否设定正确。

Ø 检查电气线路是否出现断路或短路。

真空等离子清洗机

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等离子体处理仪 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-115/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-115/#comments Thu, 25 Jul 2019 08:56:47 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4227

型号

等离子体处理仪TS-PL60

射频电源

美国AE 13.56 MHz

真空腔体

进口316不锈钢,军工级密封

腔体尺寸

北京快乐8W400×H400×D400mm

工作真空度

1-70Pa

真空泵

抽速:25/L (二级泵组合)

真空管路组件

全不锈钢管路+波纹管

真空显示规管及读取器

进口品牌

内置水平式电极

380*380*15mm

陶瓷

进口高频陶瓷

变频器

西门子2KW

气体流量监测系统

质量流量控制器 0-500ML

两路进气

支持氧气,氩气,氮气,氢气,四氟化碳等

气压控制

气压报警

气路管路组件

北京快乐8M8软管+不锈钢锁套管路

角阀

Youch 超高真空60KF

控制电箱

独立式电箱,防潮,放水。

电子元器件

施耐德

自动控制系统

三菱PLC模块

软件程序

自主专利设计等离子控制系统

人机控制

自主开发的人机界面系统,简洁,易用。

触摸屏

威纶7。0寸

等离子体处理仪是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态,利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。

等离子体清洗仪清洗原理:

等离子体又叫做电浆,是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质,它广泛存在于宇宙中,常被视为是除去固、液、气外,物质存在的第四态。等离子体是一种很好的导电体,利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体。等离子体物理的发展为材料、能源、信息、环境空间,空间物理,地球物理等科学的进一步发展提新的技术和工艺。 等离子体处理仪产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体,这些离子的活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性,能氧化光刻胶反应生成气体,从而达到清洗的效果;腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性,这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光,故称之为辉光放电处理。 等离子体清洗的机理,主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看,等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。

等离子体清洗仪产品特点:

等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理,并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。 等离子体清洗还具有以下几个特点:容易采用数控技术,自动化程度高;具有高精度的控制装置,时间控制的精度很高;正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层,表面质量得到保证;由于是在真空中进行,不污染环境,保证清洗表面不被二次污染。

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常压等离子清洗机(直喷) http://www.webboston.com/plasma-cleaner-114/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-114/#comments Wed, 24 Jul 2019 07:11:50 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4220 等离子清洗机设备参数:

1

尺寸(宽x长x高)

370mm×470mm×140mm

详细规格参附件(机箱风扇处预留30-50MM便于机箱散热)

2

重量

13kg

3

需求电源

AC220V,50-60Hz,3wire单相+接地线、5A  整机最大功耗300W

接地电阻<0.5欧姆

4

等离子输出功率

N2:100–300W  CDA(压缩空气):120W–300W可调最大300w

北京快乐8可使用功率视实际条件而定

5

电浆有效直径

2mm-5mm

视条件及样品而定

6

工作进气接头

4×6mm  Connector

连接至主气源

7

冷却气体使用量

N2:  50±6L/min   CDA:56±6L/min

连接至主气源

工作气体使用量

N2: 40±6L/min   CDA:46±6L/min

视条件及样品而定

跟气体压力有关

8

气体压力

4.20±0./kg/cm

9

配置空间

放置在通风良好(环境温度小于30度)的地方。保留左右及上方有150mm以上散热的空间,保留后方有150mm的线路空间

等离子喷枪规格

1

尺寸(H)

33mm×215mm

详细规格参附件

2

重量

<0.3kg

3

电源部-喷枪距离

2.6m

其他规格

1

有效清洁范围

2-8mm

视条件及样品而定

2

处理速度

50-300mm/sec

视样品而定

3

处理距离

与待清洁物距离4mm

视样品而定

等离子清洗机设备安装:

1、准备一个10A的三眼电源插座,用设备配套的电源线与主机的电源输入插座相连。

2、一个符合规范的接地线,连到主机尾部的接地端子;这一点很重要。

3、不小于3KG(建议大于5KG)无油无水的稳定气源,与主机的压缩气体输入接口相连。

4、选择一个通风的地方安放主机,确保主机的散热。

5、根据被处理目标位置,固定好等离子喷枪。

6、认真阅读使用说明书,确定所需的工作模式和控制方式,按说明书的要求做好外部控制线,连接控制线至主机后面相对应控制输入口

常压等离子清洗机设备操作:

1、使用随机配置的电源线将AC220V电源可靠连接至“220VAC”电源输入插座;

2、将干燥气源接至“气源输入接口“端(气管大小为Φ8mm);

3、调节”气压控制旋钮“,将”气压表“读数调至0.2MPa(2Kg),注意:过大和过小的气压都会影响处理效果;

4、将“船型开关“向上拨至”ON“位置,注意观察散热风扇是否正常工作以及功率表是否有显示;

5、按下“启动按钮“,枪头喷出等离子体,设备处于工作状态;

北京快乐86、工作状态时,主机面板的功率表显示将会稳定,波动约±5w是正常显示。

7、停止工作时,先按下“停止按钮”,再将“船型开关“向下拨至”OFF”位置。

8、使用”等离子输出控制端“时,注意使用机械式控制开关,或者是电气控制方式开关。使用电气控制开关时,注意使用继电器等电气隔离形式的电控开关。

常压等离子清洗机术具有极为广泛的应用领域,这使其成为工业印刷、涂层、粘接工序中广受关注的表面处理工艺。通过使用这种创新的表面处理工艺,可以实现现代制造工艺所追求的高可靠性,高效率,低成本和环保等目标。等离子技术用于工业生产中,不会有有毒物质和化学物质的生成,不会构成环境污染或者危害人体健康。

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磁悬浮常压等离子清洗机 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-112/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-112/#comments Tue, 23 Jul 2019 06:18:51 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4212

型号

磁悬浮常压等离子清洗机

主机尺寸(L*W*H)

437*140*350mm

重量

20KG

喷头体积

MAX280*79*79mm

谐振频率

40KHz

输出功率范围

500-1000W可调

等离子处理宽度

≥50mm

等离子处理高度

4-20mm

工作气压范围

0。05MPa~0。4Mpa

输出线缆长度

净长度≥3M,可定制

磁悬浮常压等离子清洗机原理:

低温等离子体中粒子的能量一般约为几个至十几电子伏特,大于聚合物材料的结合键能(几个至十几电子伏特),完全可以破裂有机大分子的化学键而形成新键;但远低于高能放射性射线,只涉及材料表面,不影响基体的性能。处于非热力学平衡状态下的低温等离子体中,电子具有较高的能量,可以断裂材料表面分子的化学键,提高粒子的化学反应活动性(大于热等离子体),而中性粒子的温度接近室温,这些优点为热敏性高分子聚合物表面改性提供了适宜的条件。

通过常压等离子清洗机处理,材料表面发生多种的物理、化学变化,或产生刻蚀而粗糙,或形成致密的交联层,或引入含氧极性基团,使亲水性、粘结性、可染色性、生物相容性及电性能分别得到改善。在适宜的工艺条件下处理材料表面,使材料的表面形态发生了显著变化,引入了多种含氧基团,使表面由非极性、难粘性转为有一定极性、易粘性和亲水性,有利于粘结、涂覆和印刷。

磁悬浮常压等离子清洗机优势:

1、吸收德国高压激励电源电路技术,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果;

2、设备尺寸设计小巧,方便携带和移动,节省客户使用空间;

北京快乐83、采用磁动力作为动力源,使用寿命长,耗损低;

4、数字通讯口和模拟量控制口,满足客户多元化需求;

北京快乐85、可 in-line或off-line 操作;安装于客户设备产线中,减少客户投入成本;

6、可选配多种类型喷嘴,使用于不同场合,满足各种不同产品和处理环境;

7、可选配喷头数量,满足客户多元化需求;

8、使用寿命长,保养维修成本低;

9、无污染、无静电残留

10、温度过高、过载、气压过低、短路开路、交流电压过高、过低等全面的报警保护功能。

11、可使用气体:N2、CDA(Air)、等气体;

12、不需暖机,可随时启动及停止;

北京快乐813、售后服务响应及时,深圳、苏州、南昌、天津都有售后服务团队。

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常压等离子清洗机(旋喷) http://www.webboston.com/plasma-cleaner-111/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-111/#comments Mon, 22 Jul 2019 06:13:11 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4198 型号 常压等离子清洗机(旋喷) 电源电压 220( ±10% ) Vac 50/60Hz 工作高频频率 25KHz ~ 60KHz 工作高压 2KV ~ 7KV 最大实用输出功率 1000W 最大功率消耗 ≤1100W 工作气压范围 0.05MPa~0.5MPa 气源要求 输入气压:0.30MPa~1.00Mpa 输入管口径 Φ8mm 主机箱体尺寸 183mm 宽 ( W ) X 460mm 高 ( H ) X480mm 长 ( L ) 主机箱重量 15Kg 普通离子喷枪体重量 4kg 普通离子喷枪处理高度 5-15MM 输出线缆长度 净长度 ≥ 3000mm

备注:如气源气压超出1Mpa(10Kg),需要外部加设限压阀;气源可使用普通空气。特殊工艺技术要求时,可使用氮气或其它特定的气体;要求必须是无油无水气源。

常压等离子清洗机特点:

常压等离子清洗机具有极为广泛的应用领域,这使其成为工业印刷、涂层、粘接工序中广受关注的表面处理工艺。通过使用这种创新的表面处理工艺,可以实现现代制造工艺所追求的高可靠性,高效率,低成本和环保等目标。等离子技术用于工业生产中,不会有有毒物质和化学物质的生成,不会构成环境污染或者危害人体健康。

1、可靠的系统性能:

系统设备实行自检以及全面过程的状态及参量监测、监控,并具有故障显示及报警保护功能。

2、友好的显示界面:

北京快乐8液晶方式的人机图文操作界面,丰富的信息显示和设备工作参量设置。

3、灵活的控制方式:

可实现主机面板控制、远程控制;也可实现人工控制,或自动化在线控制方式。

4、适合多种使用场合:

多种喷射枪嘴选用。可适合多种的处理应用场合。

常压等离子清洗机使用范围:

常压等离子清洗机使用范围

活化:大幅提高表面的浸润性能,形成活性的表面 ;清洁:去除灰尘和油污,精细清洗和去静电 ;涂层: 通过表面涂层处理,提供功能性的表面 ;提高表面的附着能力,提高表面粘接的可靠性和持久性。

采用常压等离子清洗机处理后,无论是各类高分子塑胶、陶瓷、玻璃、PVC、纸张还是金属等材料都能获得表面能的提高。通过这样的处理工艺,制品材料表面张力特性的改善提升,更能适合工业方面的涂覆、粘接等处理要求。如电子产品中,LCD屏的涂覆处理、机壳及按键钮等结构件的表面喷油丝印、PCB表面的除胶除污清洁、镜片胶水粘贴前的处理、电线、电缆喷码前的处理…等等。汽车工业车灯罩、刹车片、车门密封胶条的粘贴前的处理;机械行业金属零部件的细微无害清洁处理,镜片镀涂前的处理,各种工业材料之间接合密封前的处理…等等。

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等离子表面处理技术 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-110/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-110/#comments Fri, 19 Jul 2019 09:14:52 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4191 等离子表面处理是最有效的对表面进行清洗、活化和涂层的处理工艺之一,可以用于处理各种材料,包括塑料、金属或者玻璃等。等离子清洗机对表面清洗,可以清除表面上的脱模剂和添加剂等,而其活化过程,则可以确保后续的粘接工艺和涂装工艺等的品质,对于涂层处理而言,则可以进一步改善复合物的表面特性。使用这种等离子技术,可以根据特定的工艺需求,高效地对材料进行表面预处理。

等离子清洗机应用范围

使用常规的水性冷胶就能使覆膜或者上光的纸板在糊盒机上得到可靠的粘合,完全不再需要局部覆膜、局部上光、表面打磨切线等工序,同样也不再需要因为不同的纸板而更换不同的特殊胶水等。 通过等离子表面处理后,不仅可以增强其对胶水的适用性,不再依赖特种胶水就能实现高品质粘接。而且改善了表面的铺展性能,防止气泡等的产生。而最为重要的是经过常压等离子处理,可以让纸盒制造商以更低的成本、更高的效率得到品质更为保证的高档产品。

等离子处理技术被广泛应用在对型材,包括塑料型材、铝型材或EPDM胶条的预处理中。等离子技术在汽车工业里的应用也越来越成熟。等离子预处理技术可以用在挤出生产线中,用来预处理塑料或弹性体型材,使它能够更好的完成后续工序,比如涂层或植绒等。等离子处理的作用是清洁和活化素材,由于等离子束能够有针对性的集中在需要处理的表面区域,复杂型材结构也能得到有效处理。 等离子处理系统的优点和特性 1、预处理工艺简单而又高效 2、即便是复杂的型材结构,都能进行有针对性的预处理。

等离子表面处理技术可以非常便捷而又环保的对铝表面进行清洗。复合薄膜常因其所具有的阻隔性而用于饮料或食品的包装。在复合薄膜的加工过程中,铝箔被用来作为复合的阻隔层,需要在铝箔上复合一层 PE 膜,以确保铝箔不与包装中的食品直接接触。 在薄膜复合设备里,铝箔经过等离子处理,使它能够与PE膜紧密的复合在一起。等离子体中的能量,将诸如灰尘、油污之类的各种污染物质从铝箔表面清除。而且等离子处理工艺能够完全实现”在线”处理的方式。 在实际生产中,也有用户采用”退火” 的工艺实现上述效果,但其和等离子相比,耗时又耗能 等离子表面处理技术进行预处理的优点和特性: 1、具有完全的”在线”集成能力(不干扰原有的工艺运行) 节能、低成本、环保 2、不会改变铝箔的机械特性 3、可实现选择性的、局部清洗 4、可对铝箔进行双面处理 5、处理工序可以集成在卷绕装置前。

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小型等离子清洗机TS-PX10L http://www.webboston.com/plasma-cleaner-109/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-109/#comments Mon, 15 Jul 2019 01:56:21 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4179

型号

数量

品牌

等离子清洗机TS-PX10L

机架

一套

东信喷塑

 660Wx700Dx 560H(mm)

腔体

一套

316不锈钢

200*200*270

真空泵

一组

飞越

4L/S

角阀

一套

北仪

超高真空40KF

真空显示规管

一台

松下/SMC

ZSE30A

射频电源

一套

东信高科(40KHz)

600W

PLC

一套

三菱

FX系列

电气系统

一套

施耐德

北京快乐8接触器,继电器,屏蔽器等

触摸屏

一套

显控

4.3寸

陶瓷封装

一套

景德镇

高频陶瓷

真空式等离子清洗机原理及功能简介:

利用等离子清洗机中的等离子体进行等离子清洗,装置腔体在密封的容器里面设置多个电极形成的电场,利用真空泵达到一定的真空值后,在高频电压的作用下,形成了活性很高的等离子体,由此产生的等离子体可以达到表面改性清洗处理的效果。通过其处理,能够改善材料表面的浸润能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。

售后服务:

1、为用户提供壹年质保服务,质保期免费维修;
2、为用户提供终身维护服务;
3、后期可根据客户需求,提供硬件、软件升级服务;
培训及技术支持:
1、针对仪器设备的特点,为用户在设备的性能、原理、操作要领、维修和保养等方面进行免费培训;
2、用户提供免费的技术咨询服务,24小时响应,由我司专业技术人员根据客户咨询的技术问题给出相应解决方案,直到解决客户技术难题;
3、我们拥有专业的研发团队,并拥有多项自主知识产权,我们愿意与用户一起共同开发等离子体处理新工艺,为各行业提供高效、节能、环保的工艺。

服务优势:

1、我们拥有多款真空式等离子清洗机,可免费为客户提供样品实验服务;
2、我们能够提供真空式等离子清洗机样机试用,并安排专业的技术人员上门协助;
3、我们提供代加工及设备租用服务,方便让客户支付少量的费用就可以使用等离子表面处理技术;
4、依靠系统的机械加工设备和成熟的机械设计能力,及时为用户进行设备改进和附加功能的开发;
5、依靠多年从事等离子体表面改性研究的经验,为客户提供专业、全面的技术指导;
6、免费提供日后工艺优化升级服务,可以与客户共同开发解决其它表面处理问题;
7、以最快的响应时间,最及时的上门服务,解决客户在设备使用中的各种问题,免除客户的后顾之忧。

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复合材料胶接表面的等离子处理 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-107/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-107/#comments Thu, 11 Jul 2019 09:13:28 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4158 等离子体处理技术是指通过等离子体中的高能粒子对材料表面进行轰击,使表面物质降解,增加表面粗糙度,若等离子体中有其他活性粒子,如氧等离子,则可与表面物质发生反应而使表面活化的一种方法。等离子体处理技术可适用于纤维、塑料、橡胶以及复合材料的表面处理。

根据气体类型的不同,等离子体中的粒子组成也不同,但这些粒子均由电子、正负离子、自由基和未被电离的分子、原子组成。在等离子处理物质表面时,高能电子会首先轰击物质表面,使表面的化学键断裂,并形成小分子而挥发。在化学键断裂的同时,等离子体中的活性成分,如氧等离子、自由基,可与表面因电子轰击而断裂的化学键重新结合,残留在表面而活化表面。因此通常经等离子体处理后的表面,粗糙度会显著增加,同时表面会留有活性基团,这些活性基团可在胶接时与胶黏剂发生化学键合,能显著提高胶接强度。若产生等离子体的气体中仅含有惰性成分,则只能生成一个粗糙的表面。

用于复合材料增强用的碳纤维表面光滑且惰性较高,未经表面处理增强树脂时,纤维表面剪切力薄弱,增强效果不佳,极易在纤维树脂界面处发生破坏。等离子体表面处理是碳纤维表面处理技术中的重要一种,相比于其他氧化处理、表面涂层方法,等离子处理方法对纤维自身性能损伤最小,且处理过程几乎无其他废物产生,是一种环境友好型的处理工艺。

应用于通用塑料及橡胶的等离子体处理技术较目前机械打磨、抛光等方法相比,虽能获得较好的表面质量,但处理成本较高,难以大量推广应用,但适合对粘接质量要求较为苛刻的场合。

经等离子处理后纤维和树脂的界面结合力能够明显提升,剪切强度显著提高。最适合于复合材料胶接表面的介质阻档放电等离子体处理技术。介质阻档放电可以在常温常压中稳定进行,产生连续的等离子源,且放电设备造价合理,因此确保了其在工业化应用时的成本和连续性;其次,介质阻档放电能够通过反应性气体(如氧气)产生能够活化复合材料表面的粒子,可以确保表面能够提高足够的胶接强度。

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汽车部件植绒前等离子表面处理有什么好处? http://www.webboston.com/plasma-cleaner-106/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-106/#comments Tue, 02 Jul 2019 06:26:32 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4129 在汽车工业, 为了使汽车部件具有更好的隔音效果, 需要对一些零部件进行植绒处理, 如手套箱 、 中央控制台存贮隔间 、无线电槽孔和门板等。通常 , 植绒底材为云母和PP混合物 ,绒毛材料在静电作用下被植入 PP 表面的湿润黏性涂层中。为了确保底材能够很好地附着黏性涂层, 在使用黏性涂层前, 必须对PP进行等离子表面处理 。经等离子表面处理后的 PP 表面能大约可提高 10 倍。一般说来,黏接对材料 表面能的要求没有喷涂的高 ,只要表面能达到 50 达因 ,就能获得很好的黏接效果。 目前,不论是小体积的高级电子产品(如手机外 壳等),还是大的 PU 或 PP 汽车保险杠, 人们对这类产品表面喷涂质量的要求越来越严格 。如果使用传统的火焰或火焰+底涂的前处理技术, 不良率往往 在 3 %-6 %之间 。目前 , 等离子处理的方法完全可以替代传统的处理方法,是一种更加高效和便捷的技术。

真空等离子清洗机图片

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常压等离子表面处理技术 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-105/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-105/#comments Mon, 01 Jul 2019 09:29:41 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4126 为了使制品, 包括各种塑料制品能够有更好的 喷 涂 、 印刷或粘合质 量, 就可能需要对制品表面进行处理。传统的表面处理工艺包括机械打 磨、化学溶剂、火焰、电晕等各种不 同的处理手段。这些处理工艺各有其技术优势和特点, 但同时也有其工艺和应用方面的局限性 。

大气常压等离子清洗机

常压等离子处理工艺是一种新近发展起来的高科 技“在线”表面处理技术, 它在处理效果、操作安全性、处理成本, 应用适应性和环保等诸多方面都比传统处理工艺有显著的提高。 首先我们介绍一下什么是等离子, 常压等离子的产生及其对材料表面的作用。 固体、液体和气体是常见的物质的三种聚集态, 物质从固体转变为液 体, 再转变为气体的过程, 从微观上就是物质中分子的能量逐步提高的过 程。如果我们对气体继续施加能量, 这时候, 气体中的分子的运动速度进 一步加快, 形成一种包括离子、自由电 子、被激励的分子以及高能分子碎片构成的一种新的物质的聚集态, 它就被称为物质的第四态—“等离子态”。

常压等离子表面处理是在常压状态下产生等离子并对制品表面进行处理。能够产生稳定的常压等离子借助于等离子喷枪。工作时将空气或其它 工艺气体引入喷枪内, 同时通入高频 高压电流来对气体施加能量, 最后从 喷枪前端喷嘴中喷出的就是所需要的 等离子体。所产生的等离子体呈电中性, 因此适用性极广, 不仅可以用来处理塑 料, 也可以用来处理金属和玻璃等材料。常压等离子清洗机处理手机盖板

​等离子处理对材料表面 的作用主要表现在三个方面: 表面清洁, 去除有机和无机沾染物; 表面活化, 提高材料表面能; 去静电。 等离子对表面的清洗既可以去除材料表面的粉尘等无机污染物, 也可以分解掉表面的油脂等有机污染物; 对塑料材料的表面活化主要通过在材 料表面形成新的活性官能基团; 等离子同时也可以去除材料表面的静 电。

常压等离子处理技术应用领域极为广泛, 它可以在各种粘合处理 、喷 涂 处 理 、印刷处理的工艺过程中, 对 塑料 、金属或者玻璃材料进行表面处理 。经过处理后所得到的清洁而又高活性的表面, 使粘合、喷涂 和印刷变得更加容易,从而提升加工品质, 降低加工成本, 提高加工效率。

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等离子体 http://www.webboston.com/plasma/ http://www.webboston.com/plasma/#comments Wed, 26 Jun 2019 09:30:25 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4101 等离子体是物质存在的第四种状态。通常情况下物质有三种状态:气态、液态、固态。在一定温度和压力下三态可以互相转换。但在一定条件下,如加热、放电等,气体分子会发生解离、电离等过程,当产生的带电粒子密度达到一定数值时,物质状态就会出现新的变化,这时的电离气体已经不再是原来的气体了,人们把这时的状态称为等离子状态。

等离子体概述

等离子体定义

什么是等离子体?早期的定义为包含足够多的正电荷数目近于相等的带电粒子的物质聚集状态。当然,在这个定义下也包含了固态等离子体和液态等离子体。晶格中正离子和自由电子组合或半导体中电子与空穴的组合等为固态等离子体。电解质溶液中正负离子的组合为液态等离子体。1994年国家自然科学基金委员会在“等离子体物理学发展战略调研报告”中提出等离子体是由大量带电粒子组成的非凝聚系统。报告强调了等离子体的非凝聚系统属性,排除了单纯的固态和液态。因此,等离子体是指在宏观上呈电中性的电离态气体,是电子、离子、自由基和各种活性基团等粒子组成的集合体。其中正电荷总数和负电荷总数在数值上相等,故称为等离子体。此等离子体定义既强调了等离子体微观上的电离属性,又强调了等离子体宏观上的电中性。

等离子体

等离子体的特性

等离子体宏观上呈电中性:

北京快乐8通常情况下,等离子体呈现的是电中性,但是其如果受到某种扰动,它的内部就会出现局部电荷分离,就会产生电场。比如,在等离子体中放入一个带正电荷的小球,它就会吸引等离子体中的电子,排斥离子,从而在小球周围形成一个带负电的球状“电子云”。

等离子体具有振荡性:

通常情况下,等离子体在处于平衡状态时,宏观看其密度分布是均匀的,但从微观来看,其密度分布是有涨有落,是不均匀的,并且这种密度涨落具有振荡性。

等离子体具有鞘层现象:

因为等离子体在开始时处在准电中性状态,如果在等离子体中悬浮一个不导电的绝缘基板,此时等离子体中的离子与电子都会朝着这个基板运动,单位时间内到达基板上的电子数要远大于离子个数。到达基板的电子一部分与离子复合,还有一部分剩余,从而在基板出现净负电荷积累,这样基板表面呈负电势。该负电势将排斥后续电子,同时吸引正离子。直到基板负电势达到某个值,使离子流与电子流相等时为止。由于基板呈负电势,则在基板与等离子体交界处形成一个由正离子构成的空间电荷层,即离子鞘层。

等离子体分类

按温度分类:高温等离子体和低温等离子体

高温等离子体是高于10000℃的等离子体,如聚变、太阳核心。高温等离子体中的粒子温度T> 108-109K,粒子有足够的能量相互碰撞,达到了核聚变反应的条件。

低温等离子体又分为热等离子和冷等离子体两种。

热等离子体是稠密气体在常压或高压下电弧放电或高频放电而产生的,温度也在上千乃至数万开,可使分子、原子离解、电离、化合等。

冷等离子体的温度在100-1000K之间,通常是稀薄气体在低压下通过激光、射频或微波电源发辉光放电而产生的。

等离子体作为具有一定电离度的气体-等离子体和普通气体的主要区别在于组成和性质。组成上普通气体是由电中性的分子或原子组成,而等离子体是由带电粒子和中性粒子组成的集合体。性质上等离子体是一种导电流体,但在宏观尺度上维持电中性,其带电粒子间存在库仑力,运动行为会受到磁场影响或支配。

等离子体发生

日常生活环境中因不具备等离子体产生的条件而使人们对等离子体感到陌生。事实上,在一些特定的环境下是能看到自然界的等离子体现象的,如闪电、极光等。在宇宙中,99%以上的物质均是以等离子状态存在的,如太阳等恒星。在实验条件下产生等离子体的方法很多,大气压下气体放电逐步发展起来,相比于低气压气体放电,大气压气体放电无需复杂的真空系统,使费用大大降低。目前,实验室中常用的大气压气体放电有辉光放电(glow discharge)、介质阻挡放电(dielectric barrier discharge)、电晕放电(corona discharge)、滑动弧放电(gliding arc discharge)、火花放电(spark discharge)、射频等离子体(radio-frequency plasma)及微波等离子体(microwave plasma)。

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等离子清洗机工作原理概述 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-104/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-104/#comments Mon, 24 Jun 2019 07:27:43 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4083 等离子清洗机包括一个反应腔室、电源和真空泵组。将样品放置反应腔室内,真空泵开始抽气至一定的真空度,电源启动便产生等离子体,然后气体通入到反应腔室内,使腔室中的等离子体变成反应等离子体,这些等离子体与样品表面发生反应,生产可挥发的副产物,并由真空泵抽出。

等离子清洗机

等离子清洗技术利用了等离子体在低温条件下能够产生非平衡电子、反应离子和自由基的特性。等离子体中的高能活性基团轰击表面,会造成溅射、热蒸发或光致降解。等离子体特有的清洗过程主要是基于等离子体溅射和刻蚀所带来的物理和化学变化。

等离子清洗机清洗原理如下:

等离子体与物体表面的作用

在等离子体中除了气体分子,离子和电子外,还存在受到能量激励的处于激发状态的电中性的原子或原子团(又称自由基),以及等离子体发射出的光线。其中的波长短,能量搞得紫外光在等离子体与物质表面相互作用有着重要的作用。下面对它们的作用分别进行介绍。

原子团等自由基与物体表面的反应

由于这些自由基呈电中性,存在寿命较长,而且在等离子体中的数量多于离子,因此自由基在等离子体中发挥着重要的作用。自由基的作用主要表现在化学反应过程中的能量传递的“活化”作用,处于激发状态的自由基具有较高的能量,因此易于与物体表面分子结合时会形成新的自由基,新形成的自由基同样处于不稳定的高能量状态,很可能发生分解反应,在变成较小分子的同时生成新的自由基,这种反应过程还可能继续进行下去,最后分解成水,二氧化碳之类的简单分子,在另一些情况下,自由基与物体表面分子结合的同时,回释放出大量的结合能,这种能量又成为引发新的表面反应的推动力,从而引发物体表面上的物质发生化学反应而被去除。

电子与物体表面的作用

一方面对物体表面的撞击作用,可促使吸附在物体表面的气体分子发生分解或吸附,另一方面大量的电子撞击有利引发化学反应。由于电子质量极小,因此比离子的移动速度要快得多。当进行等离子体处理时,电子要比离子更早到达物体表面,并使表面带有负电荷,这有利于引发进一步反应。

离子与物体表面的作用

通常指的是带正电荷的阳离子的作用,阳离子有加速冲向带负电荷的表面的倾向,此时物体表面获得相当大的动能,足以撞击去除掉表面上附着的颗粒性物质,我们把这种现象称为溅射现象。而通过离子的冲击作用可以极大促进物体表面化学反应发生的几率。

紫外线与物体表面的反应

紫外线具有很强的光能,(h)可使附着在物体表面的物质的分子键发生断裂而分解,而且紫外线具有很强的穿透能力,可透过物体的表层并深入达数微米而产生作用。

综上所述,可知等离子清洗机是利用等离子体内的各种具有高能量的物质的活化作用,将吸附在物体表面的污垢彻底剥离去除。我司是中国最早一批专业从事真空及大气低温等离孑体(电浆)技术、射频及微波等离子体技术研发、生产、销售于一体的等离子清洗机厂家,目前产品广泛服努于包装、塑料制品、通讯、汽车、家电、光电、纺织、半导体及精密制造行业在表面涂装、表面粘接、表面清洁方面尤为突岀。

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等离子除油设备原理解析 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-103/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-103/#comments Sat, 22 Jun 2019 09:08:15 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4074 等离子清洗机是利用等离子体内的各种具有高能量的物质的活化作用,将吸附在物体表面的污垢彻底剥离去除。

下面以氧气等离子体去除物体表面油脂污垢为例,说明这些作用。从分析可以看出,等离子体对油脂污垢的作用,类似于使油脂污垢发生燃烧反应;但不同之处在于是在低温情况下发生的“燃烧”。在氧气等离子体中的氧原子自由基,激发态的氧气分子,电子以及紫外线的共同作用下,油脂分子最终被氧化成水和二氧化碳分子,并从物体表面被清除。可以看出,用等离子体清除油污的过程是一个使有机大分子逐步降解的过程,最终形成的是水喝二氧化碳等小分子,这些小分子以气态形式被排除。等离子清洗的另一个特点是在清洗完成之后物体已被彻底干燥。经过等离子体处理的物体表面往往形成许多新的活性基团,使物体表面发生“活化”而改变性能,可以大大改善物体表面的浸润性能和黏着性能,这对许多材料是非常重要的。因此等离子清洗具有许多用溶剂进行的湿法清洗所无法比拟的优点。

等离子清洗机由真空室,真空泵,高频电源,电极,气体导入系统,工件传送系统和控制系统等部分组成。整个清洗过程大致如下;

被清洗的工件送入真空式并加以固定,启动运行装置,开始排气,使真空室内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要几分钟。

向真空室内引入等离子清洗用的气体,并保持腔内压强稳定。根据清洗材质的不同,可分贝使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。

在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿,并通过辉光放电而发生等离子化和产生等离子体,让在真空室产生的等离子体完全笼罩住被处理工件,开始清洗作业,一般清洗处理持续几十秒到几十分钟不等。

清洗完毕后切断电源,并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出。

与湿法清洗相比,等离子清洗的优势表现在以下几个方面:

在经过等离子清洗之后,被清洗物体已经很干燥,不必再经干燥处理即可送往下道工序。

不使用三氯乙烷等有害污染物,属于有利于环保的绿色清洗方式、

用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同, 它的方向性不强,因此它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部并完成清洗任务,所以不必过多考虑被清洗物体形状的影响。而且对这些难清洗部位的清洗效果与用氟利昂清洗的效果相似甚至更好。

整个清洗工艺流程在几分钟内即可完成,因此具有产率高的特点。

等离子清洗需要控制的真空度约在100Pa,这种真空度在工厂实际生产中很容易实现。这种装置的设备成本不高,加上清洗过程不需使用价格较昂贵的有机溶剂,因此它的运行成本要低于传统的清洗工艺。

由于不需要对清洗液进行运输,储存,排放等处理措施,所以生产场地很容易保持清洁卫生。

等离子体清洗的最大技术特点是,它不分处理对象,可处理不同的基材,无论是金属,半导体、氧化物、还是高分子次材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)都可用等离子体很好地处理。因此特别适合不耐热和不耐溶剂的基底材料。而且还可以有选择地对材料的整体,局部或复杂结构进行部分清洗。

在完成清洗去污的同时,还能改变材料的本身的表面性能,如提高表面的润湿性能,改善膜的附着力等,这在许多应用中都是非常重要的。

 

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如何判断等离子清洗机效果? http://www.webboston.com/plasma-cleaner-101/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-101/#comments Fri, 21 Jun 2019 07:14:33 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4039 表面清洗可被定义为是一种去除吸附在表面的外来的非不可或缺材料的清洁过程,非不可或缺材料会对产品的工艺流程和性能造成负面影响。在先进制造领域,清洗是不可少的工艺步骤。在工业清洗中,要在尽可能少的花费和对环境影响尽可能小的前提下,将工件表面多余的材料去除掉。清洗的目的包括改善涂层与表面的黏合性,提高喷漆和印刷产品的质量。评价材料表面有机污染物含量的一个简单的方法是测量表面张力。通常我们用来判断等离子清洗机清洗效果就是通过测试材料表面的表面能。其它判断清洗效果的方法是通过具体的实验结果来评定。以下是常见的测试等离子清洗效果的方法:

常见的测试等离子清洗效果方法,采用接触角测量仪、达因笔、表面能测试墨水(俗称达因水)居多。

1.接触角测量仪是目前等离子清洗效果评估最为常见、业界最为认可的检测方法。测试数据准确、操作简捷、重复性和稳定性高。其原理就是通过光学外观轮廓的方法,在固体样品表面进行滴定一定量的液滴,量化检测液滴在固体表面的接触角大小,接触角小,说明清洗效果越好。早期时,很多实际评估等离子清洗时,会采用简易注射器滴水简单评估的办法,但是该方法只有在效果明显时才能观察到。

2.达因笔是企业采用较多的,操作非常简便的检测方法。

达因笔在材料表面上的扩散程度是由门板表面的清洁程度所决定的。材料表面的清洁程度如图A中所示,材料表面没有杂质,达因笔在材料表面涂抹后易流动和扩散,并涂满了门板表面不平的表面。而在图BC中,由于材料表面有杂质,达因笔涂抹后并不能和材料表面完全重合, 材料表面留有一定的空穴,达因笔在材料表面难以扩散。由于材料表面的清洁程度不同,达因笔与材料表面接触的面积就不同,利用涂抹的面积大小就能检测出材料表面的清洁程度,使用达因笔检测是间接量化材料表面洁净程度和表面处理效果的检测方法。

3.表面能测试液则是和达因笔的原理是一样的。

以上就是判断等离子清洗机的效果的常用方法,东信高科等离子清洗机研发及技术团队,具有多年的表面性能处理及检测经验。对表面处理的微观机理、工艺流程、性能改变、检测方法,以及行业要求,都有深入了解,能为用户深度定制最优的整体解决方案。欢迎广大新老客户来电咨询。

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线路板等离子清洗机 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-100/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-100/#comments Thu, 20 Jun 2019 07:46:06 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4023 在印制线路板特别是高密度互连(HDI)板的制作中,需要进行孔金属化过程,使层与层之间通过金属化的孔实现电气导通。激光孔或者机械孔因为在钻孔过程中存在着局部高温,使得在钻孔后往往有残留的胶状物质附在孔内。为防止后续金属化过程出现质量问题,金属化过程之前必须将其除去。 目前除钻污过程主要有高锰酸钾法等湿工序,由于药液进入孔内有难度,其除钻污效果具有局限性。等离子清洗机作为一种干工序很好了解决了这个难题。

等离子清洗的原理:
等离子体又称物质的第四态,它是一种整体呈 电中性的电离体。等离子北京快乐8气体的生成必须具有以下几个条件 :具有一定的真空度;在保持一定真空度下通入所选气体;开启射频电源,向 真空器内电极施加高压电场,使气体在两电极之间电离,放出辉光,形成等离子体。在印制电路板中等离子清洗过程主要分为三个阶段。第一阶段为产生的含自由基、电子、分子等离子体,形成的气相物质被吸附在钻污固体表面的过程;第二阶段为被吸附的基团与钻污固体表面分子反应生成分子产物以及随后所生成的分子产物解析形成气相的反应过程;第三阶段为与等离子体反应后的反应残余物的脱离过程。

等离子孔清洗
等离子进行孔清洗是在印制线路板中的首要应用,通常采用氧气和四氟化碳的混合气体作为气源,为得到较好的处理效果,控制气体比例是所生产的等离子体活性的决定因素。

等离子表面活化
聚四氟乙烯材料主要应用于微波板中,一般FR-4 多层板孔金属化过程是无法实用的,其主要原因在于在化学沉铜前的活化过程。目前湿制程处理方式为利 用一种萘钠络合物处理液使孔内的聚四氟乙烯表层原子受到浸蚀达到润湿孔壁的目的。其难点在于处理液的难合成、毒性以及配置保存期较短。等离子处理过程为一种干法制程很好的解决了这些难题。

等离子去除残留物
北京快乐8 等离子用于去除印制电路板制作一些工序中的非金属残留物,是一种很好的选择。在图形转移工序中,贴压干膜后的印制电路板经曝光之后,需要进行显影蚀刻处理,去掉不需要干膜保护的铜区域,其过程为利用显影液溶解掉未被曝光的干膜,以便在随后的蚀刻过程蚀刻掉该未曝光干膜覆盖的铜面。此显影过程中,往往由于显影缸喷管压力不均等原因使得局部未曝光的干膜未能被全部溶解掉,形成残留物。这种情况在精细线路的制作中更容易发生,最终在随后的蚀刻后造成短路。采用等离子处理可以很好的将干膜残留物去掉。 再者,在电路板贴装元件时,BGA等区域要求具有干净的铜面,残留物的存在影响焊接的可靠性。 采用以空气为气源进行等离子清洗,实验证明了其可行性,达到了清洗的目的。

等离子处理过程为一种干制程,相对于湿制程来说,其具有诸多的优势,这是等离子体本身特征所决定了。由高压电离出的总体显电中性的等离子体具有很高的活性,能够与材料表面原子进行不断的反应, 使表面物质不断激发成气态物质挥发出去,达到清洗的目的。其在印制电路板制造过程中具有很好的实用性,是一种干净、环保、高效的清洗方法。

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等离子清洗机处理耳机听筒 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-99/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-99/#comments Tue, 18 Jun 2019 08:53:26 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4019 耳机中的线圈在信号电流的驱动下带动振膜不停的振动,线圈和振膜以及振膜与耳机壳体之间的粘接效果直接影响耳机的声音效果和使用寿命,如果它们之间出现脱落就会产生破音,严重影响耳机的音效和寿命。

振膜的厚度非常薄,要提高其粘接效果,使用化学方法处理,直接影响振膜的材质,从而影响音效。所以众多厂家正准备使用新技术来对振膜进行处理,等离子处理就是其中之一,等离子表面处理技术能有效提高粘接效果,满足需求,且不改变振膜的材质。经实验,用等离子清洗机处理生产的耳机,各部分之间的粘接效果明显改善,在长时间高音测试下也不会有破音等现象发生,使用寿命也有很大的提高。等离子体清洗技术的采用,一方面可使电声器件在点胶封装工艺过程中使被覆表面粗糙化,提高了器件表面粗糙度,改良了被覆表面的结合能,大大提高了其亲水性能,利于胶液的流淌平铺,改善了粘合效果,降低胶粘工艺过程中气泡的成形,利于器件工艺间的枝接结合;另一方面在锡丝焊接工艺上从物理和化学两种反应方式并存处理,可有效去除多次烘烤固化时表面的氧化层及有机污染物,从而提高了锡丝焊线的键合拉力,增强了引线、焊点和基板之间的焊接强度,进而提高良品率,提升生产效率。

等离子清洗技术作为使物质通过真空状态下吸收电能进行的干式气相化学和物理反应,具有彻底式剥离清洗,无污染、无残留的特点,相比于湿法药剂的清洗,不仅降低了企业的生产成本,提高了生产效率,而且有效利用绿色资源、有益于环境生态建设。

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橡胶表面等离子处理工艺 http://www.webboston.com/xiangjiaobiaomia/ http://www.webboston.com/xiangjiaobiaomia/#comments Sat, 15 Jun 2019 07:08:43 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4016 利用等离子高能粒子与有机材料表面发生物理和化学反应, 可以实现对材料表面进行激活、蚀刻、除污等工艺处理, 以及对材料的摩擦因数、粘合和亲水等各种表面性能进行改良的目的。橡胶表面采用等离子清洗机改性后可以显著提高部件间的粘合性能, 而且质量稳定性更好。与传统的打磨工艺相比, 等离子体技术具有工艺流程简单、操作方便、加工效率高、节能、环保、健康、安全等优点, 在橡胶粘合领域应用前景广阔。

轮胎等多部件橡胶制品生产过程中半部件的粘合是一项关键指标, 在成型过程中粘合质量尤为重要[]。现生产工艺半部件粘合主要依靠其自粘性以及通过表面打磨、刷胶浆或汽油等来改善粘合效果。半部件粘合性能受环境 (如温度、湿度、光照和通风等) 及胶料有效期 (喷霜) 、灰尘等影响。涂刷胶浆或汽油工艺操作过程复杂, 要求工艺点多, 受温度、湿度等因素影响较大, 温差较大季节容易出现粘合质量波动问题, 同时存在不环保、影响操作者健康、存在安全隐患等严重缺点。

如今, 低温等离子体技术广泛应用于汽车行业的材料表面处理工艺, 如车辆的仪表、座椅、发动机、轮辋、车漆以及橡胶密封等部件的改性处理。实践证明该技术对零件表面性能改善效果非常显著, 成为目前很多零件和汽车制造商的首选工艺。

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等离子清洗在汽车内饰门板加工中的应用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-98/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-98/#comments Fri, 14 Jun 2019 06:52:51 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4012 汽车门板在制造工艺过程中,门板表面的颗粒污染物会降低产品质量,如果在蒙皮粘合前进行等离子清洗,则可有效去除这些污染物。

在汽车门板加工过程中,为了增加门板的美观舒适,需要在门板的表面包覆一层合成皮,这对包覆的可靠性提出了要求。使用等离子清洗机将门板表面进行清洗,可以把门板表面的微小凹陷都清洗干净,门板采用的是不耐热和溶剂的材质,所以在门板的表面进行清理宜采用等离子清洗的方法。

等离子清洗在汽车内饰门板加工中的应用

等离子清洗原理

一般物质以固态、液态、气态 种基本的物质形态,但是等离子状态是在3种基本形态以外的第四种状态。空气在高频电的电离下,气体原子中的电子从原子核中分离出来, 使气体状态呈现出正负带电粒子。 等离子清洗机清洗原理就是通过等离子发生器发出一组高频电压通过电极连接到密封腔中的金属上,金属附近的气体在电极与金属之间形成的高频电场电离成等离子状态。等离子状态的气体对金属车上汽车门板的表面进行化学反应作用,门板表面的杂质被变成粒子和气态物质经真空泵抽出以达到清洗门板表面的目的。

等离子态的气体在高频电下产生高速的电子直接撞击门板表面的杂质分子,使杂质分子分解成小分子;另外,产生高速的电子 与杂质分子发生碰撞,在碰撞的过程中与等离子态气体发生反应。在碰撞反应的整个过程中,气体分子在被电流激发和电离后,分子产生了大量活跃粒子,这些活跃粒子与门板表面的杂质分子因为撞击发生化学反应,将杂质分解成易于挥发的物质而将其吸走。

等离子清洗后达因笔检测门板

等离子清洗在汽车内饰门板加工中的应用

经等离子清洗完成后用达因笔对门板表面进行检测 ,清洗后达因笔涂在门板表面上扩散得更开。达因笔在门板表面上的扩散程度是由门板表面的清洁程度所决定的。由于门板表面的清洁程度不同,达因笔与门板表面接触的面积就不同,利用涂抹的面积大小就能检测出门板表面的清洁程度,使用达因笔检测是间接量化门板表面洁净程度和表面处理效果的检测方法。 等离子清洗在门板加工过程中起到非常重要的作用,表面粘附功在等离子处理后有很大的提高,通过对门板进行等离子清洗能够有效地清除门板因污染而残留的杂质从而在门板后序加工中门板与蒙皮更有效的粘合提高其门板粘合的可靠性。

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玻璃等离子表面处理 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-97/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-97/#comments Thu, 13 Jun 2019 03:20:45 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=4000 玻璃作为一种建筑材料已有几个世纪的历史。玻璃具有化学惰性,在环境影响下性质稳定,用常规清洗烘干处理玻璃基片, 很难彻底清除吸附在表面的异物。又由于在运输、搬运过程中其表面仍暴露在大气中, 难免会吸附上环境气体、水汽和微尘, 如果不加处理, 会造成膜层与基片结合力不强、产生针孔和颗粒。利用等离子清洗机处理完后玻璃材料能够立即进入下一步的加工过程。因而,玻璃等离子清洗机是一种稳定而又高效的工艺过程。

玻璃的表面状态对玻璃性能有很大的影响,利用等离子表面处理技术进行改性,设备简单,原材料消耗少,成本低廉,产品的附加值高优化玻璃镀膜,粘合及去膜工艺,低温等离子体表面改性材料目前已广泛应用于电容、电阻式手机触摸屏等一些需要精加工的玻璃。经过等离子处理后的玻璃可以达到点72达因,水滴角可以降到10度以内。解决了玻璃难粘接、印刷、电镀难的问题。

当玻璃基片处在等离子体中时, 由于表面受到等离子体中的荷能粒 (电) 子的 轰击, 首先基片表面吸附的环境气体、水汽、污物等被轰掉, 使表面清洁活化, 表面能提高, 当沉积时薄膜原子或分子更好地浸润基片, 增大范德华力。其次玻璃基片表面经过荷能粒 (电) 子的撞击, 从微观上看, 基片表面会形成许多凹坑、孔隙, 在沉积过程中薄膜原子或分子进入这些凹坑、孔隙, 便产生了机械锁合力。此外基片表面的粗化, 使实际的表面积增大, 这对增大范德华力、扩散附着力和静电力都是有利的, 因此增大了总的附着力。

经过玻璃等离子清洗机处理后, 基片表面清洁活化, 表面能提高,不仅有效地去除掉吸附在玻璃基片上的环境气体分子、水汽和污物, 在基片表面形成清洁活化的微观粗糙面, 而且还避免了二次污染。

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等离子清洗机在复合材料领域中的应用分析 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-93/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-93/#comments Sun, 09 Jun 2019 05:50:45 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3975 等离子体清洗技术问世以来,其应用便随着电子等工业的快速发展而逐渐增多。目前,等离子体清洗已广泛应用于半导体与光电工业,并在汽车、航空航天、医学、装饰等多个技术领域得到推广应用。近年来,等离子体清洗技术在聚合物表面活化、电子元器件制造、塑料胶接处理、提高生物相容性、防止生物污染、微波管制造、精密机械零件清洗等方面应用较多。等离子清洗机在复合材料领域中的应用如下:

提高复合材料界面粘结性能

碳纤、芳纶等连续纤维具有质轻高强、热稳定性好、抗疲劳性能优异等显著特点,用于增强热固性、热塑性树脂基复合材料所得制成品已被广泛应用于飞行器、武器装备、汽车、体育、电器等多个领域。但是商业化的纤维材料表面通常会存在一层有机涂层,在复合材料制备过程中将会成为弱界面层而严重影响到树脂与纤维之间的界面粘结作用。因此,在制备复合材料之前,需要借助一定的处理手段将其去除。

采用等离子体清洗技术,可以有效避免化学溶剂对材料本体性能的损伤,在清洗材料表面的同时能够引入多种活性官能团,并增大表面粗糙程度,改善纤维表面自由能,有效提高树脂与纤维两相界面之间的粘结作用,提高复合材料的综合性能。图5所示为芳纶纤维经溶剂清洗和等离子体清洗之后增强热塑性聚芳醚砜酮树脂的层间剪切强度对比,表明在各自较佳条件下等离子体清洗对复合材料界面性能的提高作用更为显著。

提高复合材料制造工艺性能

复合材料液体模塑成型技术(LCM)主要有树脂传递模塑(RTM)、真空辅助树脂传递模塑(VARTM)、真空辅助树脂注射(VARI)和树脂膜渗透(RFI)等成型工艺。这类工艺的共同特点是将纤维预成型体放入模具腔体内,再在压力作用下注入液态树脂并使其充分浸渍纤维,再经固化、脱模等工序得到所需制品,具有低投入、高效率、高品质等优点。但是需要解决的问题是,LCM技术多存在树脂对纤维浸渍不理想,制品存在内部空隙和表面干斑等现象[9]。由此可见,树脂对纤维表面的浸润性能会直接影响LCM成型工艺过程及其产品性能。因此,可以考虑通过采用等离子体清洗技术改善纤维表面的物理和化学性能,提高预成型体中纤维的表面自由能,使树脂在同等工艺条件下(压力场、温度场等)能够更加充分地浸渍纤维表面,提高浸渍均匀性,改善复合材料液体成型的工艺性能。

提高复合材料表面涂装性能

复合材料的成型过程需采用脱模剂,以保证其固化成型后能够有效地与模具分离,然而脱模剂的使用不可避免地会使复合材料贴膜面残留多余的脱模剂,造成待涂装表面的污染现象,产生弱界面层,使涂装后的涂层极易脱落。传统的清洗方式为采用丙酮等有机溶剂对表面进行擦拭或者采用打磨后清洗的方式,以除去残留在复合材料制件表面的脱模剂[10]。然而,采用上述两种方法,不仅引入了有机溶剂的使用,而且由于打磨过程会造成大量粉尘污染,对环境造成严重影响并且危害操作人员的人身安全。而通过绿色环保的等离子体技术清洗后,复合材料待涂装面获得较佳可涂装状态,涂装可靠性提高,可以有效避免涂层脱落和缺陷等问题,涂装后表面平整、连续、无流痕及气孔等缺陷,涂层附着力较常规清洗有明显提高,通过GB/T 9286试验结果分级1级,满足工程应用标准。

提高复合材料多个制件间胶接性能

对于某些应用场合,需要将若干复合材料制件通过胶接过程连接成整体,在此过程中,如果复合材料表面存在污染,较为光滑或呈化学惰性,则不易通过涂胶的方法实现复合材料制件间的胶接工序。传统的方式是采用物理打磨方法使复合材料制件的胶接面粗糙度增加,进而提高复合材料制件间的胶接性能。但此方法在产生粉尘污染环境的同时,不易达到均匀增加制件表面粗糙度的目的,易导致复合材料制件表面发生变形、破坏进而影响制件胶接面的性能。因此可以考虑采用简单易控的等离子体技术,有效、精准地清洁复合材料制件表面污染物,并同时改善其表面物理化学性能,最终获得良好的胶接性能。

等离子体清洗技术在复合材料领域中的应用,不论是用于改善复合材料的界面性能,提高液体成型工艺中树脂对纤维表面的润湿性能,还是用于清除制件表面污染层以提高涂装性能,或是改善多个制件之间的胶接性能,其可靠性大多是依赖于低温等离子体对材料表面物理以及化学性能的改善作用,去除弱界面层,或是增加粗糙度、提高化学活性,进而增强两个表面之间的浸润与粘结性能。

随着低温等离子体技术的日益成熟,以及清洗设备尤其是常压条件下在线连续等离子体装置的开发,清洗成本不断降低,清洗效率可进一步提高;等离子体清洗技术本身具有便于处理各种材料、绿色环保等优点。因此,在精细化生产意识逐渐提高的同时,先进的清洗技术在复合材料领域中的应用必然会更加普及。

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等离子清洗对航空产品的适用性 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-92/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-92/#comments Fri, 24 May 2019 07:55:44 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3968 随着航空工业的发展, 精细化生产意识逐渐提高, 需开展先进清洗技术的研究工作以代替传统的溶剂清洗工艺, 进一步保证产品的清洗效果, 并间接提高产品的使用寿命及外观质量, 同时可减少或避免溶剂挥发对人体造成的伤害。从等离子体清洗的原理分析, 该清洗方法可推广应用于航空产品的涂装前处理、胶接类产品的表面清理以及复合材料制造等多个方面。

1 对铝合金蒙皮口盖的处理

航空制造业蒙皮口盖使用铝合金制造, 为了增强其密封性能, 口盖压合部位采用丁腈橡胶硫化工艺制造胶圈。但橡胶硫化后常会溢出多余的胶料, 污染待涂装表面, 造成涂装后涂层附着力降低, 涂层涂覆后极易脱落。而常规的清洗方式无法彻底清除胶料产生的污染, 因而会影响口盖的正常使用。采用等离子体清洗后再进行涂装, 图层附着力较常规清洗有明显提高, 并且符合航空涂装的标准要求。

2 航空航天电连接器

航空航天领域对电连接器的要求非常苛刻, 未经表面处理的绝缘体与封线体之间的粘接效果很差, 即使使用专用配方的胶, 其粘接效果也达不到要求;另外, 如果绝缘体和封线体之间粘接不紧密, 就可能会产生漏电现象, 造成电连接器的耐压值提不上去。因此, 国产电连接器的发展受到严重影响。

目前国内指定生产航空电连接器的厂家正在逐步推广应用等离子体清洗技术清洗连接件表面, 通过等离子体清洗, 不仅能去除表面油污, 而且可增强其表面活性, 使连接件上的涂胶非常容易且非常均匀, 粘接效果明显改善。经国内多个生产大厂使用测试, 用等离子体清洗处理后的电连接器, 其抗拉能力成数倍增加, 耐压值有显著提高。

3 复合材料制造过程

高性能连续纤维 (如碳纤维、芳纶纤维、PBO纤维等) 增强热固性、热塑性树脂基复合材料具有质轻高强、性能稳定等优点, 已被广泛应用于航空、航天、军事等领域, 成为必不可少的材料。但是这些增强纤维通常存在表面光滑、化学活性低的缺点, 使纤维与树脂基体间不易建立物理锚合及化学键合等作用, 造成复合材料的界面结合力较差, 从而影响了复合材料的综合性能。此外, 商业化的纤维材料表面会存在一层有机涂层以及微尘等污染物, 主要来源于纤维制备、上浆、运输及储藏等过程, 会影响到复合材料的界面粘结性能。因此, 纤维材料在增强树脂基体制备复合材料之前, 需要采用等离子体等处理手段对其表面进行清洗、刻蚀, 去除有机涂层和污染物的同时在纤维表面引入极性或活性基团, 并形成一些活性中心, 可以进一步引发接枝、交联等反应, 利用清洗、刻蚀、活化、接枝、交联等的综合作用改善纤维表面的物理和化学状态, 进而实现加强纤维与树脂基体之间相互作用的目的。

4 对芳纶制件的表面清理

芳纶材料密度低、强度高、韧性好、耐高温、易于加工和成型, 在航空制造业中有十分广泛的应用。对于某些应用场合, 芳纶在成型之后还需与其他部件进行粘接, 但该材料表面光滑且呈化学惰性, 其制件表面不易涂胶。因此需对其进行表面处理以获得良好的粘接效果, 目前主要运用的表面活化处理手段为等离子体改性技术。经过处理的凯夫拉表面活性增强, 粘接效果有明显的改善, 通过等离子体处理工艺参数的不断优化, 其效果会进一步提高, 应用的范围也越来越广。

北京快乐8另外, 芳纶纤维复合材料在制造后其表面需涂覆环氧清漆及底漆封闭, 防止材料因吸潮而引起失效。在复合材料制造加工中, 其表面需涂抹脱模剂以使制件与模具顺利分离, 然而加工后脱模剂会残留在制件表面, 无法采用常规的清洗方式经济、有效地去除, 导致涂装后涂层附着力差, 涂层极易脱落, 影响制件的使用。因此可考虑采用等离子体清洗技术经济、有效地去除脱模剂污染物。

5 在其他方面的应用

等离子体清洗技术在航空制造业当中还可以有更多的应用场合, 例如:1) 门窗密封件的处理, 提高密封性能;2) 仪表板涂覆前的处理, 防止掉漆等现象;3) 控制面板在粘合前的处理, 增加粘结强度;4) 精密零件的清洗, 清除机械加工之后其表面所残留的油类污染物。

等离子清洗机应用前景分析

等离子体清洗可以处理各种材料, 容易采用数控技术, 自动化程度高, 具有高精度的控制装置, 处理效果可控, 使成品率大幅度提高, 但成本却反而降低。只要等离子体的能量控制合适, 正确的等离子体清洗不会在材料表面产生损伤层, 表面质量可以得到保证, 轻度的表面损伤可能还会很好地增强材料表面的附着力。等离子体清洗技术解决了传统湿法清洗工艺中大量消耗水与化学品的问题, 绿色环保, 安全健康, 社会效益无法估量。我们深信等离子技术应用范围会越来越广, 不久以后, 等离子体清洗设备和工艺就会以其在环保和效益等方面的优势逐步取代湿法清洗工艺。随着等离子体清洗技术的成熟, 成本的降低, 其在航空制造领域中的应用也会更加普及。

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硅橡胶等离子表面处理 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-91/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-91/#comments Wed, 22 May 2019 09:13:26 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3961   聚甲基丙烯酸甲酯在本世纪四十年代就开始用作隐形眼镜材料。由于PMMA具有折射率高、硬度合适、生物亲和性好等性质,直到今天仍然广为使用。但是,PMMA亲水性不佳,这将导致眼翳长期闭合而引起佩戴者的不适。它的氧气通透性也较差,严重者还会引起并发症。如果有办法能够克服PMMA的上述缺陷将可以大大提高它的使用效能。利用乙炔、氮气、水生成的等离子体聚合物镀于PMMA透镜表面形成一层薄膜,可以改善材料的亲水性,减小角膜上皮细胞的粘连。在聚合物夹层中加入一种有机硅氧烷可以提高材料的透气性,但是,由于硅氧烷固有的疏水特性使得材料的保湿性能降低。解决含硅聚合物表面疏水问题是利用真空等离子清洗机产生辉光放电的办法来处理。经真空等离子清洗MMA和聚硅氧烷的结合物表面处理后,它的表面含碳量降低而含氧量增高,PMMA保湿性能提高。

 使用硅橡胶制备的隐形眼镜被称为是透镜。硅橡胶的优点是透气性佳、质地柔软、机械弹性好、经久耐用。它的缺点是粘性过大、疏水、液体容易渗透。如果将等离子体沉积甲烷薄膜镀于硅橡胶表面,则可以提高它的保湿性,减小粘性和液体的渗透,又保持了透气性。

 在外科手术中,PMMA作为眼内晶状体的移植材料使用得非常普遍,但它和角膜上皮细胞的接触会导致角膜上皮细胞的永久损伤。利用真空等离子清洗机接枝沉积或者辐照处理办法可以将亲水性的单体如异丁烯酸羟乙酯或N-乙烯基吡咯烷酮沉积到PMMA的表面。对家兔的角膜和透镜之间进行静态的接触试验,结果发现未经等离子体处理的PMMA表面引起10-30%的细胞损伤,而经过处理的PMMA/HEMA复合表面仅导致约10%的细胞损伤,而PMMA/NVP复合表面所引起的细胞损伤却小于10%。等离子体沉积C3F8HEMANVP薄膜都有明显的减小角膜细胞损伤的作用。另外,在PMMA表面沉积的NVP膜的粘力要比PMMA小得多。

等离子体处理通常是一个导致表面分子结构改变或进行表面原子置代的等离子体反应过程。即使在氧气或氮气等不活泼的气氛中,等离子体处理仍可以在低温条件下产生高活性的基团。在这个过程中,等离子体还会发出能量很高的紫外线,与产生的快离子和电子一起为打断聚合物结合键和产生表面化学反应提所需的能量。只有材料表面的几个原子层参与了这个化学过程,聚合物的本体属性才能保持不变,另外,由于等离子体处理时的温度很低,这就避免了热损伤和热变形的可能。选用合适的反应气体和工艺参数就可以促进某种特定的反应,形成一种不寻常的聚合物附着物和结构。

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等离子清洗机TS-PL30 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-90/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-90/#comments Mon, 13 May 2019 09:06:50 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3945

名称

中型立式真空等离子清洗机

型号

TS-PL30

外形尺寸(W×H×D)

650mm×400mm×750mm

反应腔尺寸(W×H×D)

300×300×300mm

真空腔体材料

进口316不锈钢

真空泵

进口品牌

角阀

北仪

流量控制器及显示仪

sevenstar

真空显示规管及读取器

Pirani

射频电源

美国品牌 13.56MHZ 

PLC系统

三菱(包括PLC,A/D模组两组,D/A模块两组,温度模块)

电气系统

施耐德

变频器

西门子2KW

触摸屏

台湾威纶

陶瓷封装

进口高频陶瓷

处理气体

O2、Ar2、N2,H2、CF4

中型等离子清洗机的优势

等离子清洗作为重要的材料表面改性方法,已经在众多领域广泛使用。相比传统的一些清洗方 R-SD009 法,如超声波清洗、UV 清洗、大气等离子处理等,具有以下优点:

(A)处理温度低 处理温度可以低至 30℃以下,低的处理温度可以确保对样品表面无造成热影响。

(B)处理全程无污染 等离子清洗机本身是很环保的设备,无产生任何污染,处理过程也无产生任何 污染。可以与原有生产流水线搭配,实现全自动在线生产,节约人力成本。

(C)处理效果稳定 真空等离子清洗的处理非常均匀稳定,效果比常压等离子处理效果更好,常规样品处理后较长时间 内保持效果良好。

(D)可以处理各种形状的样品 对于复杂形状的样品,等离子清洗都能找到合适的解决方案。 真空 等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。

中型等离子清洗机性能优势

 原装进口电源:采用原装进口电源电路技术,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果

 全面安全防护:温度安全防护功能,过载防护功能,短路断路报警防护功能,各种误操作保 护功能

 独有放电技术:特殊处理及特殊结构的放电装置,确保形成稳定均匀的等离子体。

 密封性卓越的真空腔体设计:军工级的高真空度真空腔体设计及制造工艺,并配置进口技术 真空泵运行

 优质产品部件:产品部件采用国内外顶尖优质品牌,确保设备性能优越。

 精密数控加工:进口精密 CNC 数控机床加工工艺,并经过进口三坐标测量仪进行质量监控

 适用形状复杂样品:清洗各种复杂形状的产品,包括内孔内壁,全方位均匀清洗。

中型等离子清洗机工艺流程 产品放置等离子真空室内关门→启动离子源系统→到计时开门取出产品(重复工作)

中型立式真空等离子清洗机广泛应用于: 1.等离子表面活化/清洗; 2.等离子处理后粘合; 3. 等离子蚀刻/活化; 4. 等离子去胶; 5. 等离子涂镀(亲水,疏水); 6. 增强邦定性; 7.等离子涂覆;8.等离子灰化和表面改性等场 合。 通过其处理,能够改善材料表面的浸润能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合 力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。

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超声波清洗机主要工艺参数如何选择? http://www.webboston.com/ultrasonic-cleaner-25/ http://www.webboston.com/ultrasonic-cleaner-25/#comments Fri, 10 May 2019 09:31:09 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3934 超声波清洗机原理主要是将换能器,将功率超声频源的声能,并且要转换成机械振动,通过清洗槽壁使之将槽子中的清洗液辐射到超声波。由于受到辐射的超声波,使之槽内液体中的微气泡能够在声波的作用下从而保持振动。超声波清洗主要靠超声空化作用,超声空化作用的强弱与工艺参数和清洗液的物理化学性质有关。为获得良好的清洗效果,必须选择合适的清洗液和工艺参数。超声波清洗机的主要工艺参数有:

  1、超声波的振动频率

  声波振动频率对空化作用影响较大,所以必须选择合适的振动频率,一般超声波清洗振动频率范围在20kHz~80kHz。空化阈值和超声波的频率有密切关系,频率越高,空化阈越高。换句话说,频率越高,在液体中要产生空化所需要的声强或声功率也越大。

  超声波频率越低,在液体中产生空化越容易,产生的力度大,作用也越强,适用于较难清洗的污垢,如工件粗、脏、初洗;频率高则超声波方向性强,波长较短,能量集中,适合于表面光洁度高,具有小深孔、狭窄的缝隙、精细工件的清洗。但频率不能过高,否则波长减短,空化作用反而减弱,从而降低了清洗效率。

稳定的混响场对清洗有利,如果清洗槽中有驻波场,则因声压分布不均而使清洗工件得不到均匀的清洗,因此,在可能的条件下,清洗槽的几何形状要选择适合建立混响场的形状。此外,可以采用双频、多频和扫频工作方式以避免清洗盲区。

  2、超声波功率密度

为了提高清洗效率,往往采用较高的超声波功率密度。特别是对于油污严重、形状复杂、有深孔的制件要求用较高的功率密度在较深的清洗槽内清洗。

  过高的功率密度会由于空化作用太强而引起金属表面的浸蚀(即空化腐蚀),这对于具有各种镀层的零件、铝及铝合金件和精密的、表面光洁度甚高的工件危害较大。而且,超声功率太大,使液体中声强过高,会产生大量气泡,在声波表面形成一道屏障,声波不易辐射到整个缸体中,造成远离声源的地方清洗效果减弱。

  一般用辐射板(即清洗槽底板)单位面积上的功率来进行设计,替代ODS清洗工艺的超声波清洗设备常按0。3~0。5W/cm2配置。

  3、清洗液温度

  清洗过程要破坏污染物对工件表面的粘附,增加热能有利于克服粘附力。提高温度可以增加清洗介质的活性,降低清洗介质的表面张力,降低污染物的粘度,提高清洗的效率和效果。但并不是温度越高越好,对不同性质的清洗介质来说,其最佳效果和最佳空化效应也有一定的温度范围,水基清洗剂的最佳温度范围是35~65℃。温度还影响清洗介质的蒸汽压、表面张力、粘度和密度四个物理因素,温度升高到沸点时空化效应就会失去。

  4、清洗剂的选择

  清洗采用非ODS水基清洗剂,它成本低、效果好、使用安全,对环境污染少,是符合环保要求的绿色清洗剂。应根据被清洗工件材质的不同,工件表面粘附污垢组份的不同选择不同的清洗剂。

  5、超声波清洗时间

超声波清洗的效果和清洗质量,与超声波清洗的时间有关。时间太短清洗质量达不到标准,时间太长,降低了清洗效率,还会引起零件表面产生空化腐蚀。一般情况下,油污重、形状复杂的零件,清洗时间可长。表面光洁度高、油污轻的零件,清洗时间可短。有各种镀层的零件和铝及铝合金零件的清洗时间可短。

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等离子表面处理在印制电路板中的应用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-89/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-89/#comments Thu, 09 May 2019 08:40:17 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3928 在印制电路板特别是高密度互连(HDI)板的制作中,需要进行孔金属化过程,使层与层之间通过金属化的孔实现电气导通。激光孔或者机械孔因为在钻孔过程中存在着局部高温,使得在钻孔后往往有残留的胶状物质附在孔内。为防止后续金属化过程出现质量问题,金属化过程之前必须将其除去。 目前除钻污过程主要有高锰酸钾法等湿工序,由于药液进入孔内有难度,其除钻污效果具有局限性。等离子表面处理作为一种干工序很好了解决了这个难题。

等离子清洗的原理:

等离子体又称物质的第四态,它是一种整体呈 电中性的电离体。等离子气体的生成必须具有以下几个条件] :具有一定的真空度;在保持一定真空度下通入所选气体;开启射频电源,向 真空器内电极施加高压电场,使气体在两电极之间电离,放出辉光,形成等离子体。在印制电路板中等离子清洗过程主要分为三个阶段。第一阶段为产生的含自由基、电子、分子等离子体,形成的气相物质被吸附在钻污固体表面的过程;第二阶段为被吸附的基团与钻污固体表面分子反应生成分子产物以及随后所生成的分子产物解析形成气相的反应过程;第三阶段为与等离子体反应后的反应残余物的脱离过程。

等离子孔清洗:

等离子进行孔清洗是在印制电路板中的首要应用,通常采用氧气和四氟化碳的混合气体作为气源,为得到较好的处理效果,控制气体比例是所生产的等离子体活性的决定因素。

等离子表面活化

聚四氟乙烯材料主要应用于微波板中,一般FR-4 多层板孔金属化过程是无法实用的,其主要原因在于 在化学沉铜前的活化过程。目前湿制程处理方式为利 用一种萘钠络合物处理液使孔内的聚四氟乙烯表层原子受到浸蚀达到润湿孔壁的目的。其难点在于处理液的难合成、毒性以及配置保存期较短。等离子处理过程为一种干法制程很好的解决了这些难题。

等离子去除残留物:

等离子用于去除印制电路板制作一些工序中的非金属残留物,是一种很好的选择。在图形转移工序中,贴压干膜后的印制电路板经曝光之后,需要进行显影蚀刻处理,去掉不需要干膜保护的铜区域,其过程为利用显影液溶解掉未被曝光的干膜,以便在随后的蚀刻过程蚀刻掉该未曝光干膜覆盖的铜面。此显影过程中,往往由于显影缸喷管压力不均等原因使得局部未曝光的干膜未能被全部溶解掉,形成残留物。这种情况在精细线路的制作中更容易发生,最终在随后的蚀刻后造成短路。采用等离子处理可以很好的将干膜残留物去掉。 再者,在电路板贴装元件时,BGA等区域要求具有干净的铜面,残留物的存在影响焊接的可靠性。 采用以空气为气源进行等离子清洗,实验证明了其可行性,达到了清洗的目的。

等离子表面处理过程为一种干制程,相对于湿制程来说,其具有诸多的优势,这是等离子体本身特征所决定了。由高压电离出的总体显电中性的等离子体具有很高的活性,能够与材料表面原子进行不断的反应, 使表面物质不断激发成气态物质挥发出去,达到清洗的目的。其在印制电路板制造过程中具有很好的实用性,是一种干净、环保、高效的清洗方法。

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碳化硅等离子表面处理 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-88/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-88/#comments Wed, 08 May 2019 08:23:45 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3921 碳化硅具有相对于其他高温材料较低的平均热膨胀系数、高热导率以及耐超高温等特点,因此在高频、大功率、耐高温、抗辐照的半导体器件及紫外探测器等应用方面具有广阔的应用前景。

SiC 的键合是微加工工艺中非常重要的一个步骤,同时也是 MEMS 制造领域的难题之一。对于SiC 的直接键合而言,解决了在高温环境下的不同材料键合的热膨胀系数不匹配以及电学特性等问题,而且可以利用 SiC 的异构体直接键合来制造异质结器件。相比于同质结,异质结的器件有着许多的优点。例如,异质结场效应管能比肖特基晶体管获得更低的漏电流; 异质结双极晶体管提高了发射效率,减小了基区电阻,提高了频率响应和更宽的可工作温度范围。

在影响直接键合的因素中,表面处理对键合起着非常关键的作用,它的处理效果将直接影响键合是否能够发生以及键合后的界面效果,因为可能吸附在晶片表面的污染物、晶片表面的不平整等,最终都可能导致键合空洞的产生以及会不同程度地影响晶片表面的力学和电学特性等。目前关于 SiC 的表面处理方法,主要包括传统湿法处理、高温退火处理及 等离子体处理等方法。其中传统湿法清洗处理主 要是从硅的湿法处理演变而来,其主要包括HF 法和RCA 法。每种处理方法有着各自的特点。例如,湿法处理步骤简单易实现,但处理结果中含有 C、O、F 等污染物;高温处理可以有效地去除含 C、O 等污染物,但处理温度需要进一步优化且后续工艺兼容性差;等离子北京快乐8处理可以有效地去除含 O、F 等污染物,但处理温度和时间不当会给表面带来离子损伤且使SiC 表面重构。针对上述表面处理方法的特点,采用湿法清洗方法和氧气和氩气等离子体处理晶片,最后利用热压法在相对于 SiC 熔点的低温低压下实现了SiC 的直接键合,并且取得了理想的键合效果。

等离子表面处理设备处理

实验采用等离子体进行进一步的处理,降低晶片的粗糙度提高晶片的活化程度,可以获得更理想的适用于直接键合的晶片。

根据固体表面与外来物键合的理论可得,晶片表面存在大量的非饱和键时,则容易和外来物相键合。采用各种等离子体对晶片的处理,可以改变其表面的亲水性、吸附性等特征。其中等离子体表面激发技术,只会改变晶片表面层,而不会改变材料本身性质,包括力学、电学和机械特性,并且采用等离子体处理具有无污染、工艺简单、快速和高效等特点。通过多次实验,得到了分别采用氧气和氩气的具体处理方案,在后期的键合过程中都取得了成功。氧气和氩气都是非聚合性气体,利用等离子体与晶片表面的二氧化硅层表面相互作用后,活性原子和高能电子破坏了原来的硅氧键结构,使其转变为非桥 键,表面活化,并且造成和活性原子的电子结合能向 更高能量方向移动,从而使其表面存在有大量的悬挂键,同时这些悬挂键以结合OH 基团的形式存在,形成稳定结构。在经过有机碱或无机碱浸泡和一定温度退火后,表面的Si-OH 键脱水聚合形成硅氧键,增加了晶片表面的亲水性,从而更加有利于晶片的键合。对于材料的直接键合来说,亲水性的晶片表面比疏水性的晶片表面在自发键合方面更具有优势。

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超声波清洗机清洗剂如何选择? http://www.webboston.com/ultrasonic-cleaner-24/ http://www.webboston.com/ultrasonic-cleaner-24/#comments Tue, 07 May 2019 08:02:33 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3910 北京快乐8超声波清洗剂是现在科技发展产生的,专门用来对付一些比较顽固的油污、油垢,进行非常彻底清洗的一种产品。它相比较于传统的清洗剂而言,有着更加强大的除油污的功能,它是以一种十分特殊的方式进行除污,利用的是化学的作用来对各种油脂进行分解。超声波清洗剂含有多种表面活性剂等,按照科学的方法对各种化学物质进行配对,从而制作出的强力清洗剂。这种清洗剂的特点及优点很多,所以很实用。现代的超声波清洗剂一般情况下都要达到四种清洗目的!那就是一防腐、二防燃、三防锈、四防污染。

超声波清洗剂主要分为两种:溶剂型清洗剂和水基型清洗剂,清洗剂在清洗过程中起到分解、增溶、乳化和分散等作用,然后再通过超声波“空化”作用所产生的冲击力对物体表面的污物层剥。所以,超声波清洗剂对于清洗结果的影响很大。

超声波清洗机清洗剂的选择:由于超声波清洗剂主要是配合超声波清洗机来清洗工业设备的,所以难免会与机械、电子等有直接或间接的关系,如果质量不过关,会造成很大的麻烦。那么在选择超声波清洗剂时就要注意到清洗剂挥发是否完全、迅速,含不含有汽油、甲醛,清洗效果是否符合自己的要求等。

超声波清洗机溶剂如何选择

选择超声波清洗机清洗剂要注意的五大要素:

1、清洗效果和清洗效率:通过小样和批量做实验选择最有效的清洗溶剂。

北京快乐82、操作简单、安全:所使用的液体应该安全无毒、操作简单且使用寿命。

3、耐用性和成本等:最廉价的清洗溶剂的使用成本并不一定低。使用中必须考虑到溶剂的清洗效率、耐用性,一定量的溶剂可以清洗多少工件、利用率等因素;在所选择的清洗剂达到清洗效果和工件材质兼容的情况下核算使用成本。

水为最普通清洗液,故使用水基溶液的系统操作简单,使用成本低,应用广泛。然而对于某些材料以及污垢等并不适用于水性溶液。水基型清洗剂的缺点是长期使用可能会使设备表面产生锈斑,对于那些品质要求较高的设备、零件不推荐使用。

4、尽量选择高浓缩水基型超声波清洗剂:因为超声波机在工作中有升温震荡过程,溶剂型清洗剂不如水基型那么的稳定,可能会导致意外事故的发生。高浓缩技术则可以提高其有效稀释比,节省用量,达到节约成本的目的。

溶剂超声波清洗剂的用量说明书中一般都会提到:超声波清洗剂必须超清洗槽容积的2/3,而事实上,常常有人为了节约成本,加很少的量,还可能损伤电路板和元器件。

5、环保性能:环保问题是不能忽视的问题,虽然企业的最终目的是利益为重,但是随着国家对各行各业污染问题的重视,不关注环保,必然会导致企业利益受损。

所以超声波清洗剂应带有低毒、环保、无伤害的特点,废液可降解,使企业的废水排放符合国家法定标准,同时又能给生产线操作工人带来一个安全、健康的工作环境。

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超声波清洗机有辐射吗? http://www.webboston.com/ultrasonic-cleaner-23/ http://www.webboston.com/ultrasonic-cleaner-23/#comments Tue, 07 May 2019 07:58:49 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3906 辐射指的是由场源发出的电磁能量中一部分脱离场源向远处传播,而后不再返回场源的现象,能量以电磁波或粒子(如阿尔法粒子、贝塔粒子等)的形式向外扩散。自然界中的一切物体,只要温度在绝对温度零度(-273.15摄氏度)以上,都以电磁波和粒子的形式时刻不停地向外传送热量,这种传送能量的方式被称为辐射。辐射从本质上来看是一种电磁波,而我们的超声波清洗机使用的是声波,完全是两种概念,它不同于微波炉的微波,它对人体是没有辐射的,所以说超声波清洗机是没有辐射的。

超声波清洗机是利用超声波发生器所发出的交频讯号,通过换能器转换成了交频机械振荡而传播到介质——清洗液中,强力的超声波在清洗液中以疏密相间的形式向被洗物件辐射。产生“空化”现象,即在清洗液中“气泡”形式,产生破裂现象。当“空化”在达到被洗物体表面破裂的瞬间,产生远超过1000个大气压力的冲击力,致使物体的面、孔、隙中的污垢被分散、破裂及剥落,使物体达到净化清洁。主要适用于商业、轻工、大专院校、科研用小批量的清洗、脱气、混匀、提取、细胞粉碎之用。

北京快乐8如果非要说超声波清洗机对人体有伤害,那应该就是与人体的接触问题了。在清洗机工作的时候,要是不带着手套就直接去接触正在工作的超声水槽里的水,则会感受到微妙的变化,会有感觉不舒服。使用者应尽量避免直接把手放在正在工作的水槽里。如果一定要接触,为了安全起见应该带上手套。若还是不太放心的话,那建议在超声波清洗机工作时,不要长时间呆在机子旁边,也要尽量少接触清洗剂。

超声波清洗机对人体的影响主要体现在以下几个方面:

1、杂音

北京快乐8一般清洗机的杂音有60分贝左右,操作久了是非常难受的,其实超声波你是听不到的,你听到的,是清洗作用时与水于槽体发出的声音,操作久了对听力还是有影响的。

2、穿透力

超声波的穿透力是非常强的,你在茶杯里放上水,把茶杯放到清洗槽里,杯里的水和槽体的水不接触,照样你杯子里的水有很强的空化作用(超声波清洗的原理),而且孕妇去医院照B超,那就是超声波,因为穿透力是很强的!穿透力强了一会会是没什么影响,长时间呆在机器旁 对身体肯定不好。

3、空化作用,(液体中爆破)

超声波在清洗的槽的水里能够有空化作用,能在水里爆破,那么它在你身体里,照样是会有空化作用。也就是它穿过你的身体,一样在你体液里清洗,当你的血液体液等发生空化作用,会烧干你的能量,你体力很快就消耗了,口渴,无力虚脱,会烧干你的水分,而破坏身体组织。

4、清洗药水

现在清洗药水基本都是化工产品!虽然现在基本已经淘汰溶剂清洗(挥发的洗剂如三氯甲烷,洗板水等),但基本还是碱性的水基洗剂,由于清洗时的高温而散发和操作时的接触,长久以来对身体是很不好的!

超声波清洗法是一种先进的清洗方法,它具有独特的清洗效果。适用于清洗几何形状复杂的工件(如带有盲孔、深孔、弯孔、狭缝的工件)和不同材料的组合件。尤其适用于精度高、光洁度高、清洗质量要求高的中小型工件的清洗。只要工件浸到声场存在的地方,都可以被清洗。同时超声波清洗采用非ODS水基溶剂,可有效地降低污染,减少有毒溶剂对人类的损害,是绿色环保的清洗技术。所以完全不用担心超声波清洗机是否有辐射这个问题。

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等离子表面处理技术 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-84/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-84/#comments Mon, 06 May 2019 03:57:02 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3898 随着高科技产业的快速发展,各种工艺对使用产品的技术要求越来越高,等离子表面处理技术的出现,不仅改进了产品性能、提高了生产效率,更实现了安全环保效应。等离子表面处理技术能够在材料科学、高分子科学、生物医药材料学、微流体研究、微电子机械系统研究、光学、显微术和牙科医疗等领域得到应用。正是这种广泛的应用领域和巨大的发展空间使等离子表面处理技术迅速在国外发达国家发展起来,根据调查数据显示:全球等离子表面处理设备总产值在2008年已达到3000亿人民币。然而我们不得不沉思是什么原因使等离子表面处理技术在短短的20几年中发展的如此迅速。

(一) 等离子表面处理技术原理及应用

等离子,即物质的第四态,是由部分电子被剥夺后的原子以及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气状物质。这种电离气体是由原子,分子,原子团,离子,电子组成。其作用在物体表面可以实现物体的超洁净清洗、物体表面活化、蚀刻 、精整以及等离子表面涂覆。  根据等离子体中存在微粒的不同,其具体可以实现对物体处理的原理也各不相同,加之输入气体以及控制功率的不同,都实现了对物体处理的多样化。  因低温等离子体对物体表面处理的强度小于高温等离子体,能够实现对处理物体表面的保护作用,应用中我们使用的多为低温等离子体。并且各种粒子在对物体处理过程中所表现出来的作用也个不相同的,原子团(自由基)

主要是实现对物体表面化学反应过程中能量传递的“活化”作用;电子对物体表面作用主要 包括两方面:

一方面是对物体表面的撞击作用,另一方面是通过大量的电子撞击引起化学反 应;离子通过溅射现象实现对物体表面的处理;紫外线通过光能使物体表面的分子键断裂分解,并且增强穿透能力。

(二) 等离子表面处理技术的优势   等离子表面处理技术是干式处理法,替代了传统的湿法处理技术具有以下优势: 1. 环保技术:等离子体作用过程是气固相干式反应,不消耗水资源、无须添加化学药剂 2. 效率高:整个工艺能在较短的时间内完成  3. 成本低:装置简单,容易操作维修,少量气体代替了昂贵的清洗液,同时也无处理废液成本  4. 处理更精细:能够深入微细孔眼和凹陷的内部并完成清洗任务  5. 适用性广:等离子表面处理技术能够实现对大多数固态物质的处理,因此应用的领域非常广泛

(三) 等离子表面处理技术前景  随着电子信息产业的发展,特别是通信产品、电脑及部件、半导体、液晶及光电子产品对超精密工业清洗设备和高附加值设备

的比例要求逐步增大,等离子表面处理设备已经成为很多电子信息产业的基础设备。并且随着行业技术要求的不断提高,等离子清洗技术将在国内有更加广阔的发展空间。  随着汽车行业的高速发展,国外的很多生产厂家把目标所向中国市场,加之很多零配件的生产厂家也入住中国,这些都对清洗提出了新的技术要求,可以说等离子清洗技术更加适应了汽车行业的发展。  医疗器械使用前的处理工艺非常精细,使用氟里昂清洗不但浪费资源而且成本也非常的昂贵,而等离子表面处理技术的使用避免了使用化学物质的弊端,而且也更加适应了现代医疗科技的技术要求。  光学器件和一些光学产品对清洗的技术要求非常高,等离子表面处理技术在此领域可以得到更加广泛的运用。  等离子表面处理技术能够应用的行业非常广泛,对物体的处理不单纯的是清洗,同时可以进行刻蚀、和灰化以及表面活化和涂镀。因此就决定了等离子表面处理技术必将有广泛的发展潜力。也会成为科研院所、医疗机构、生产加工企业越来越推崇的处理工艺。

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大气等离子清洗机与真空等离子清洗机有什么区别? http://www.webboston.com/plasma-cleaner-83/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-83/#comments Sun, 05 May 2019 06:24:50 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3893  等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。目前市面上常见的等离子表面处理设备主要分为两类,大气等离子清洗机和真空等离子清洗机。下面为大家详细介绍一下大气等离子清洗机与真空等离子清洗机的区别点。

 大气等离子清洗机,如今应用最多的就是手机行业:手机玻璃表面活化处理,底板点胶前处理,封装前端处理,手机壳表面喷漆前活化处理等等。一般的手机工厂每日几千到几万的产能,就必须要有快速高效的活化处理工艺,大气等离子清洗机就是为此而生的。无论配合在三轴平台,传输机还是装在整条流水线上,大气等离子清洗机都能快速使被处理材料其中一个表面达到很好的活化效果。而真空等离子设备它是以其高性能,高质量,还有过硬的品质,以及最安全的产品为特点,处理效果比较精密全面,很多的产品它本身的材质问题,所以不能使用像大气等离子设备那样的温度相对来说比较高一点的等离子设备,这样的时候可以选择真空等离子设备。

大气等离子清洗机与真空等离子清洗机的详细区别如下:

一、由于常压等离子的喷嘴中是直喷出的离子,这种情况由喷嘴的结构间接的改变了离子的运动方向(直接面对被处理材料)。从而使大气等离子在流水线上只能处理一个表面,这也是与真空等离子清洗最大的区别之一。真空等离子清洗机在工作中,腔体内部的离子是不定向的,只要材料在腔体裸露出的部分,不管是哪个面哪个角落都可以清洗得到。

二、在使用气体方面,大气型等离子工作时只需要接入压缩空气,当然想效果更好直接接入氮气。而真空型等离子清洗机在气体上会有更多的选择,并且可以选择多种气体进行匹配对材料表面氧化物、纳米级别微生物的去除有着极强的改善。在这里要强调的是:大气型通入气体的目的主要是为了活化,侵润性增强。而真空型通入气体的目的是为了增强蚀刻效果,去除污染物,去除有机物,侵润性增强等。显然气体的选择范围更广,真空等离子清洗的工艺会应用得更为广泛。

北京快乐8三、温度。大气等离子清洗机虽然处理材料几秒之后的温度在60°-75°左右,但这个数据是按照喷枪距离材料15mm,功率在500W,配合在三轴速度为120mm/s来测的。当然功率,接触时间,处理的高度都会对温度有所影响。特别注意的是:大气等离子清洗机喷枪工作时的喷出的“火焰”分为内焰和外焰,我们清洗时都是拿外焰去洗,内焰在喷嘴里面,从外面是看不到的。但是如果在喷出“火焰”的情况下长时间对着某一个点不运动进行处理很容易对表面产生灼烧。所以大气等离子的温度要在实际工况下才能测得具体数值。

而真空型等离子清洗机就没那么复杂,按电源频率划分,40KHz和13.56MHz为例:通常情况下材料放入腔体内工作,频率为40KHz一般温度为65°以下,再者机器内部装有强冷风扇,处理时间不长的话,材料表面温度都会跟室温一致。频率为13.56MHz的就会更低,通常情况是30°以下。所以处理一些受热易发生形变的材料,低温真空型等离子清洗机的是在再适合不过了。

四、离子产生条件,这个比较直观的就可以看出,大气型依赖接入气体,气体压力要达到0.2mpa左右才可以产生离子。而真空型则依赖于真空泵,产生离子之前,即使不接入任何外接气体,要将腔体内部的真空度抽到25pa以下才能产生离子。

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超声波清洗机使用方法介绍 http://www.webboston.com/ultrasonic-cleaner-22/ http://www.webboston.com/ultrasonic-cleaner-22/#comments Tue, 30 Apr 2019 06:57:57 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3888 超声波清洗机主要由超声波清洗槽和超声波发生器两部分构成。超声波清洗槽用坚固弹性好、耐腐蚀的优质不锈钢制成,底部安装有超声波换能器振子;超声波发生器产生高频高压,通过电缆联结线传导给换能器,换能器与振动板一起产生高频共振,从而使清洗槽中的溶剂受超声波作用对污垢进行洗净。

超声波清洗机使用方法如下:

1.超声波清洗机安装

请参照超声波清洗机安装说明书连接清洗机的电控柜与主机间的温控传感器信号线、超声驱动线、加热器控制线等线路,并接通380VAC电源,安装清洗机的上水管、放水管与溢流排放管。

2.超声波清洗机加水

向清洗池内加入适量清水,液面高度以浸没将要清洗的零部件为准,一般不超过清洗池的四分之三。

3.超声波清洗机加温

启动电控加热开关,将水温调节旋钮上的白色刻度线指向适当的温度(应为60℃左右)。清洗机在使用过程中,清洗剂的最高温度不应超过70℃。

4.超声波清洗机加入清洗剂

待水温升至40℃左右时,将UC-O3零部件清洗剂加入清洗池中(一般一次5kg左右),徐徐搅动清水使其充分溶解(此时亦可启动越声波或开启鼓气装置进行搅拌)。

5.超声波清洗机预处理

清洗之前宜用竹刀先将零部件表面的污垢(如防尘罩任其外表面会有很多尘土、气缸体类的零件在其外壳曲线变化处会积留很多厚且易除的油泥)简单清洁一下,以便延长清洗液使用寿命。超声波能够进行精密清洗,但其对泥类的污物处理能力较弱,故预处理中,应尽量将黄泥或稀泥类的污物去除。

6.超声波清洗机零件摆放    将零部件置于钢筋料筐中轻轻放入清洗池内,当一次性放入的零件很多时,应尽量使它们在料筐中均匀分布,不相重叠。

7.超声波清洗机开机

超声波清洗机正常工作时,超声波由三个方向同时发射,按下侧超声启动,两侧的超声波即己启动,向右旋转功率调节旋钮,按下侧超声启动.并将其旋至合适的功率,此时LED显示器显示当前底部超声工作功率值。

8.超声波清洗机停机

在清洗过程中若要停机,应先将功率旋钮调至最小。再按下停止底超声。清洗时间根据清洗表面情况掌握。

9.超声波清洗机溢流

北京快乐8若清洗池液面上存有过多的浮油.应当打开清洗机的溢流装置将其排除,以防止被清洗工件的二次污染。具体操作如下:打开溢流排放阀,向清洗池中注入水或清洗液,直至清洗液开始溢流(建议用刮板类的器具向溢流口方向割涂浮油以促进其快速流出),保持溢流排放阀常关以防上意外溢流造成地面污染。

10.超声波清洗机后处理

取出清洗好的零部件,用压缩空气将具各孔中的残留清洗液彻底吹净,并将表面吹干(建议配备一把吹尘枪配合空气压缩机使用)。若有条件,在清洗机附近最好配置水池。以便对取出的零部件进行漂洗。

11.超声波清洗机清洗剂的处理

当清洗机洗了过多的零件后,清洗剂中油泥的含量会相当高,加之超声波的乳化作用。清洗剂会因过脏发粘而减弱空化的能力,不宜继续使用。建议用户配置储水桶与清洗机配合使用,以沉淀过脏的清洗剂,用于再循环使用降低成本。

12.超声波清洗机浸泡的辅助作用

很多零部件,如气缸盖、活塞、连杆、增压涡轮、进排气歧管等都带这些零部件上的积炭,有一些较轻,很容易就清洗干净,但有一些则很重,这种情况下,对工件必要的浸泡软化过程会取得更好的清洗效果。

在所有的清洗方式中,超声波清洗是效率高、效果好的一种,之所以超声波清洗能够达到如此的效果,是与它独特的工作原理和清洗方法密切相关的。我们知道,在生产和生活当中,需要清洁的东西很多,要清洗的种类和环节也很多,如:物件的清除污染物,疏通细小孔洞,常见的手工清洗方法对异型物件以及物件隐蔽处无疑无法达到要求,即使是蒸汽清洗和高压水射流清洗也无法满足对清洁度较高的需求,超声波清洗对物件还能达到杀灭细菌、溶解有机污染物、防止过腐蚀等,因此,超声波清洗被日益广泛应用于各行各业。

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等离子表面处理在高分子材料改性中的应用 http://www.webboston.com/denglizibiaomian/ http://www.webboston.com/denglizibiaomian/#comments Sat, 27 Apr 2019 08:44:48 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3859 等离子表面处理在高分子材料改性中的应用, 主要表现在下述几方面。 

改变表面亲( 疏) 水性      

一般高分子材料经NH3O2COArN2H2等气体等离子体处理后接触空气,会在 表面引入—COOH, —C=O,NH2,OH 等基团,增加其亲水性。处理时间越长,与水接触角越低 ,而经含氟单体如CF4,CH2F2 等气体等离子体处理则可氟化高分子材料表面,增加 其憎水性 。 研究发现,未处理PET膜与水接触角是73。1°,Ar等离子体处理5min,放置一天后测量,与水接触角降为33.7°,随放置时间的延长,接触角缓慢上升,显示出处理效果随时间衰退。放置10d后测量,接触角升至41.3°。 研究N2 等离子体处理LDPE 时也发现,表面极性基团在处理后20d左右基本消失。研究O2 等离子体处理3-羟基丁酸-3-羟基戊酸共聚物膜表面,也发现其后退接触角经60d后由处理后的20°恢复到70°。接触角的衰减被认为是由于高分子链的运动,等离子体表面处理引入的极性基团会随之转移 到聚合物本体中。如果将PET膜在处理前浸入与之有较强相互作用的有机溶剂中浸泡,会稳定处理效果,这是因为溶剂诱导的分子链重排降低了链的可动性。同时, 处理效果不但随时间延长而衰退,也会随温度升高而衰退。通过研究O2 等离子体处理6 种合成高分子膜表面,随后在80140℃热处理,发现等离子体处理后表面张力增大,湿润性增大;随后的热处理则加快了等离子体处理效果的衰退。等离子体处理PET、尼龙-6等表面—COOH、—OH基团浓度及表面力随热处理急剧下降;而聚酰亚胺,聚苯硫醚虽然表面张力也下降,但表面—COOH及—OH基团浓度变化不大。这也从一个侧面说明聚合物分子链本身运动程度的难易也是影响处理效果衰退快慢的一个重要因素。      

增加粘接性     

等离子体处理能很容易在高分子材料表面引入极性基团或活性点,它们或者与被粘合材料、粘合剂面形成化学键,或者增加了与被粘合材料、粘合剂之间的范得华作用力,达到改善粘接的目的。这种处理不受材料质地的限制,不破坏材料本体力学性能,远远优于一般的化学 处理方法。等离子体处理能显著改善高分子膜之间的粘接性和纤维增强复合材料的力学性能 。如果增强纤维与底基粘接性能不好,则不但没有一个良好的粘接界面来传递应 力,反而会产生应力集中源,使复合材料力学性能变差。将超高分子量聚乙烯 (UHMWPE)纤维经等离子体处理, 其与环氧树脂粘接强度提高4倍以上。用ArN2CO2 等气体等离子体处理PE纤维,发现了增加了与PMMA的粘接。提高了其韧度指数(ToughnessIndex)及断裂强度。等离子体处理高强PE纤维提高了纤维-环氧树脂复合材料的屈服强度。等离子体处理纤维素纤维,反气相色谱、XPSSEM 揭示处理表面并不均匀,但仍然在表面有效地引入了酸( 碱) 基团,提高了纤维与PSPVCPP等组成的复合材料的力 学性能和玻璃化转变温度。 NH3O2H2O等离子体处理Kevlar-49 纤维后改善与环氧树脂的粘接性,发现处理后,纤维/环氧树脂界面剪切应力显著增加,增幅43% ~83%。等离子体处理高分子材料,还能显著改善其与金属的粘接。利用含氟气体( 如 CF4) 等离子体处理热塑性聚合物如PCABS等能增强与铝板的粘接。用氧化性气体等离子体( 如O2H2O) 处理PP,真空下热压到低碳钢板上,与未处理热压样品 相比,测得剪切强度大大提高。利用NH3 等离子体处理PP后与铝片的粘接强度是N2 等离子体处理的2倍多,通过研究表面的酸( 碱) 性质研究了NH3 等离子体处理的时间效应, 利用接触角计算得到的粘附功与剥离试验结果一致。O2 等离子体处理聚酰亚胺膜,研究了处理条件,膜表面化学组成及形态与被覆Cu片粘接性能的关系。发现随处理温度降低,剥离强度增大;较高温度下延长处理时间对粘接性能亦有正面影响。

改善印染性     

等离子体表面处理一方面能增加被处理材料表面粗糙度,破坏其非晶区甚至晶区,使被处理材料表面结构松散,微隙增大增加了对染料/油墨分子的可及区;另一方面,表面引入的极性基团,使被处理表面易于以范得华相互作用力、氢键或化学键合吸附染料/油墨分子,从而改善了材料的印染性能。低温等离子体处理增强了PET纤维对分散染料的吸附。用低温等离子体处理亚麻类织物,随后用热水泡洗,所得织物印染性能良好,同时 力学性能没有受损。真空度1torr下低温等离子体处理羊毛织物能提高其匀 染性。 羊毛染色前用空气等离子体处理减少了含Cr染料的用量和废水中的卤代有机污染物。低温等离子体处理能提高聚酯染色色牢度。用NH3 等离子体处理聚酰胺纤维,然后用酸性染料染色,能提高色牢度和上色率。

真空等离子清洗机

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超声波清洗机作用 http://www.webboston.com/ultrasonic-cleaner-21/ http://www.webboston.com/ultrasonic-cleaner-21/#comments Fri, 26 Apr 2019 08:40:34 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3853 超声波清洗技术在清洗领域是新兴的清洗技术,过去对人们的生活的提高、工业生产效益的提高做了很大的贡献。现在伴随着我国科学技术的不断发展和国家经济的更加繁荣,超声波清洗技术作为一种优越的清洗技术在使用范围上一定会越来越广,可以想到在不远的未来,我国的超声波清洗技术将会迎来一个黄金发展期,为我国在工业上提高清洗效率、降低生产成本,在环境保护上节能减排。超声波清洗机作用如下:

北京快乐81、除油脂包括乳化油、润滑油、防锈油等各种油脂。工件在防锈封存前、电镀前和涂装前都必须进行除油清洗,超声波清洗的关键是选用含针对性的表面活性剂和乳化剂的清洗液。

2、除锈及氧化皮钢铁零件在轧制或热处理后,表面会生成一层5~10μm的氧化铁,超声波清洗可以用弱酸代替强酸、强碱,减少了公害,避免了氢脆。作为镀膜前处理工艺,提高了镀膜质量。

3、除污垢除污垢清洗主要有:

①除积碳:积碳是燃油和机油在高温缺氧条件下燃烧生成的硬质碳化物,与金属表面吸附,分子间结合强度极大,用一般方法很难去除,还可能损坏了活塞表面的光洁度。改用超声波清洗,清除彻底,不损坏工件表面质量,而且效率高。

②油腻和油泥:工件被机油污染,再落入尘土,形成油腻附着力很强;油泥是机油、焦油、含氧酸、碳化物、灰及水的混合物,结合强度可达10~15kPa,用超声波清洗非常彻底。

③涂镀前的清洗:电镀和喷漆前的清洗效果直接影响涂镀质量的好坏。除蜡和抛光膏清洗一直是困扰电镀业的难题,用超声波清洗则会解决这一难题。作为镀膜前处理工艺,提高了镀膜质量。

超声波清洗一般采用2种清洗剂:化学溶剂和水粉剂,对污物油脂均有溶解渗透作用,这是一种化学作用力。而超声波的空化作用却是物理性的,超声波清洗是结合了化学作用和物理作用。首先靠化学作用对污物进行渗透、溶解,然后再通过超声波“空化”作用所产生的冲击力将物体表面的污物层剥离,对之进行搅拌、分散、乳化并防止已脱离物体表面的污物重新附着在物体上。

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干式超声波清洗机 http://www.webboston.com/ultrasonic-cleaner-20/ http://www.webboston.com/ultrasonic-cleaner-20/#comments Wed, 24 Apr 2019 09:07:56 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3835 干式超声波清洗技术是一种高速气流与超声波共同作用,对超精密待清洗件(如半导体器件,玻璃或硅基板等)亚微米级别的污染物进行清洗的新型的超声波清洗机之干式清洗技术。一般包括三大系统:
空气循环系统;
清洗件传送系统;
超声清洗头。
空气循环系统利用负压作用将新空气不断吸入并净化后输入清洗头压力腔,同时利用离心力将内部空气不断送出;清洗件传送系统将待清洗件传送给超声波清洗头。

核心部件超声波清洗头主要有两类:一类空气流经特殊设计的变截面流道时,经激流震荡生成超声波,但这种超声波的强度弱,传递能量少。另一类内置超声波增幅器,超声波空气在大小约 0.3mm 的出口处体积迅速膨胀,达到一种“微型爆炸”的效果。高速气流和超声波的共同作用使污物微粒脱离悬浮,超声波的反射作用将微粒带动起来,由清洗头的真空吸附腔吸走并分离,这种清洗方式杜绝清洗剂对环境造成污染。

干式超声波清洗机清洗特点:

1、3μm及以上的非湿粘附性粉尘能90-100%去除。
2、干式清洗不需要更换換水或药液,洗后不用干燥,降低运行成本。
3、非接触式系统不会污染基板及損伤基板表面膜。
4、由於清洗机是闭环循环系統,不會污染洁净房。

干式超声波清洗机应用领域:

1、干式超声波清洗机在制药工业的应用
超声波清洗技术经过众多制药企业的应用而得到广泛使用,特别是对西林瓶、口服液瓶、安瓶、大输液瓶的清洗以及对丁基胶塞、天然胶塞的清洗方面,已经得到首肯。对于瓶类的清洗,是用超声波清洗技术代替原有的毛刷机,它经过翻转注水、超声清洗、内外冲洗、空气吹干、翻转等流程而实现的。

2、干式超声波清洗机在微粉业的应用
众所周知,要取得不同大小的颗粒,是把破碎料放在球磨机内研磨后,经过不同规格筛子层层筛分而得的。筛子长时间使用后,筛孔会被堵塞(如金刚石筛),用其它方法刷洗会破坏筛子,且效果不理想,经过众多厂家的试验后,用超声波清洗,不仅不损坏筛子,而且筛子上面的堵塞颗粒完全被回收。

3、干式超声波清洗机技术在磷化处理中的应用
产品喷涂前处理工艺非常重要,一般的传统工艺使用酸液对工件进行处理,对环境污染较重,工作环境较差,同时,最大的弊端是结构复杂零件酸洗除锈后的残酸很难冲洗干净。工件喷涂后,时间不长,沿着夹缝出现锈蚀现象,破坏涂层表面,严重影响产品外观和内在质量。超声波清洗技术应用到涂装前处理后,不仅能使物体表面和缝隙中的污垢迅速剥落,而且涂装件喷涂层牢固不会返锈。

4、干式超声波清洗机对金属的清洗
众所周知,金属棒材经挤压成丝后,金属丝的外部往往有一层碳化膜和油,用酸清洗或其它清洗方法,很难让污物去除(尤其整盘丝),超声波洗丝机是根据实际生产需要而设计的一种连续走丝,高效清洗设备,粗洗部分由清洗液储槽、换能器、循环泵、过滤器及配套管道系统组成,金属丝经超声波粗洗精洗后,再经过吹干,从而完成整个清洗过程。整套设备集成控制,简洁、方便、效果好,广泛用于钽丝、钨丝、钼丝、铌丝、铜丝(绝缘漆涂覆前)等其它金属丝。

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等离子清洗技术在BGA封装工艺中的应用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-49/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-49/#comments Mon, 15 Apr 2019 06:48:33 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3750 随着市场对芯片集成度要求的提高,I/O引脚数急剧增加,功耗也随之增大,对集成电路封装更加严格。为了满足发展的需要,BGA封装开始被应用于生产。BGA也叫球状引脚栅格阵列封装技术,它是一种高密度表面装配封装技术。在封装底部,引脚都成球状并排列成一个类似于格子的图案,由此命名为BGA。随着对产品性能要求的不断提高,等离子清洗逐渐成为BGA封装工艺中一道不可或缺的工艺。

目前主板控制芯片组多采用此类封装技术,材料多为陶瓷。采用BGA技术封装的内存,可以使内存在体积不变的情况下,内存容量提高两到三倍,BGA与TSOP相比,具有更小体积,更好的散热性能和电性能。

两种BGA封装技术的特点

北京快乐8BGA封装内存:BGA封装的I/O端子以圆形或柱状焊点按阵列形式分布在封装下面,BGA技术的优点是I/O引脚数虽然增加了,但引脚间距并没有减小反而增加了,从而提高了组装成品率;虽然它的功耗增加,但BGA能用可控塌陷芯片法焊接,从而可以改善它的电热性能;厚度和重量都较以前的封装技术有所减少;寄生参数减小,信号传输延迟小,使用频率大大提高;组装可用共面焊接,可靠性高。

TinyBGA封装内存:采用TinyBGA封装技术的内存产品在相同容量情况下体积只有TSOP封装的1/3。TSOP封装内存的引脚是由芯片四周引出的,而TinyBGA则是由芯片中心方向引出。这种方式有效地缩短了信号的传导距离,信号传输线的长度仅是传统的TSOP技术的1/4,因此信号的衰减也随之减少。这样不仅大幅提升了芯片的抗干扰、抗噪性能,而且提高了电性能。

基板或中间层是BGA封装中非常重要的部分,除了用于互连布线以外,还可用于阻抗控制及用于电感/电阻/电容的集成。因此要求基板材料具有高的玻璃转化温度rS(约为175~230℃)、高的尺寸稳定性和低的吸潮性,具有较好的电气性能和高可靠性。金属薄膜、绝缘层和基板介质间还要具有较高的粘附性能。

三大BGA封装工艺及流程

一、引线键合PBGA的封装工艺流程

1、PBGA基板的制备

北京快乐8在BT树脂/玻璃芯板的两面层压极薄(12~18μm厚)的铜箔,然后进行钻孔和通孔金属化。用常规的PCB加3232艺在基板的两面制作出图形,如导带、电极、及安装焊料球的焊区阵列。然后加上焊料掩膜并制作出图形,露出电极和焊区。为提高生产效率,一条基片上通常含有多个PBG基板。

2、封装工艺流程

圆片减薄→圆片切削→芯片粘结→等离子清洗→引线键合→等离子清洗→模塑封装→装配焊料球→回流焊→表面打标→分离→最终检查→测试斗包装。

二、FC-CBGA的封装工艺流程

1、陶瓷基板

FC-CBGA的基板是多层陶瓷基板,它的制作是相当困难的。因为基板的布线密度高、间距窄、通孔也多,以及基板的共面性要求较高等。它的主要过程是:先将多层陶瓷片高温共烧成多层陶瓷金属化基片,再在基片上制作多层金属布线,然后进行电镀等。在CBGA的组装中,基板与芯片、PCB板的CTE失配是造成CBGA产品失效的主要因素。要改善这一情况,除采用CCGA结构外,还可使用另外一种陶瓷基板–HITCE陶瓷基板。

2、封装工艺流程

圆片凸点的制备->圆片切割->芯片倒装及回流焊->底部填充导热脂、密封焊料的分配->封盖->装配焊料球->回流焊->打标->分离->最终检查->测试->包装。

三、引线键合TBGA的封装工艺流程

1、TBGA载带

TBGA的载带通常是由聚酰亚胺材料制成的。在制作时,先在载带的两面进行覆铜,然后镀镍和镀金,接着冲通孔和通孔金属化及制作出图形。因为在这种引线键合TBGA中,封装热沉又是封装的加固体,也是管壳的芯腔基底,因此在封装前先要使用压敏粘结剂将载带粘结在热沉上。

2、封装工艺流程

圆片减薄→圆片切割→芯片粘结→清洗→引线键合→等离子清洗→液态密封剂灌封→装配焊料球→回流焊→表面打标→分离→最终检查→测试→包装。

BGA封装流行的主要原因是由于它的优势明显,封装密度、电性能和成本上的独特优点让其取代传统封装方式。随着时间的推移,BGA封装会有越来越多的改进,性价比将得到进一步的提高,BGA封装有灵活性和优异的性能,未来前景广阔。随着等离子清洗这一道工序的加入,使得BGA封装的未来更加充满光明。

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等离子体技术“法力无边”,为何工业应用还欠火候? http://www.webboston.com/plasma-cleaner-47/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-47/#comments Mon, 15 Apr 2019 06:22:52 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3746 大到能为人类带来无限的清洁能源的可控聚变,小到五颜六色的荧光灯,还有芯片制造产业不可或缺的刻蚀机………等离子体技术经过几十年的发展,它的神奇“魔力”拨云见日愈加令人惊奇,但是我国在等离子体工业应用上还欠缺火候。

8月26日在苏州闭幕的第六届全国工业等离子体会议上,中国工程院院士李建刚等多位专家认为,我国等离子体研究已走在世界前列,但工业界对此领域缺少了解,等离子体技术待字闺中盼人识。

等离子体是不同于固体、液体和气体的物质第四态。物质由分子构成,分子由原子构成,原子由带正电的原子核和围绕它的、带负电的电子构成。当施以高能量后,电子离开原子核,这时,物质就变成了由带正电的原子核和带负电的电子组成的等离子体。

中国工程院院士李建刚表示,未来10-20年,随着NIF、ITER、CFETR计划的全面开展,人类会在一个新的层面对燃烧等离子体物理开始探索和全面的理解,一定提供更多的发现新物理现象和揭示新物理机制的机会,从而也将等离子体物理学科发展推到一个新的高度。强场激光等离子体物理有何能产生重大科学发现和大量新的技术应用;工业等离子体(等离子体医学)也会迅速发展,从而产生全新的学科生长点。依托这些等离子体科学研究发展起来的一大批技术,能为人类社会下一步高新技术发展提供重要的源泉和保障。

据中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会主任委员张菁教授介绍,看似“神秘”的等离子体其实并不罕见,最常见的等离子体是高温电离气体,如电弧、霓虹灯和日光灯中的发光气体,还有闪电、极光等。等离子体在半导体工业、聚合物薄膜、材料防腐蚀、冶金、煤化工、工业三废处理等领域具有广泛的应用,潜在市场价值为每年近2000亿美元。

中科院等离子体物理研究所孟月东研究员告诉记者,等离子体中带电粒子间相互作用,性状非常活跃,利用这种特性就可以实现各种材料的表面改性。

目前,低温等离子体技术在工业应用中较为常见,但是在我国应用的领域还非常有限。比如在羊毛染色过程中用到氯化工艺,不仅产生废水污染,毡缩效应也会比较大(导致衣物缩水),如果使用等离子体技术处理,不仅完全没有污染,还能大幅减少毡缩效应。此外,在芯片产业中,等离子体技术也已相当成熟,但是目前大多被国外垄断,包括刻蚀机、等离子清洗机等。

李建刚院士告诉记者,我国无论是在托克马克等大科学装置、前沿基础研究领域,还是民用低温等离子体技术,都取得长足进展,其中磁约束聚变、超导质子治疗癌症等领域已走在世界前列。

北京快乐8“但是,我国企业在其中还是少了点。”李建刚直言不讳地说,大量企业不知道到哪里能获得相关的等离子体技术。为此,他提出三点建议:一是在研究院所和高校组建方向明确的低温等离子体重点实验室,提高理论和实验水平;二是设立以若干个企业为主体的等离子体工程技术中心,开展等离子体工程和工艺技术的研究;三是加强国际合作。

来源: 科技日报-中国科技网 作者: 张晔

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等离子清洗机的作用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-46/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-46/#comments Thu, 11 Apr 2019 08:55:17 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3744 等离子清洗机的作用针对不同的产品有不同的作用,不过也无外乎以下几种:

等离子表面活化/蚀刻;等离子表面灰化/改性;提高材料表面的浸润能力;增强材料表面的邦定性;去除材料表面的有机污染物、油脂或油污。

等离子清洗机的作用原理:

(A)对材料表面的刻蚀作用

物理作用 等离子体中的大量离子、激収态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,清除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

(B)激活键能,交联作用

等离子体中的粒子能量在 0~20eV,而聚合物中大部分的键能在 0~10eV,因此等离子体作用到固体表面后,可以将固体表面的原有的化学键产生断裂,等离子体中的自由基中的这些键形成网状的交联结构,大大地激活了表面活性。

(C)形成新的官能团

化学作用如果放电气体中引入反应性气体,那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应,引入新的官能团,如烃基、氨基、羧基等,这些官能团都是活性基团,能明显提高材料表面活性。

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等离子清洗机常见问题解答 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-44/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-44/#comments Wed, 10 Apr 2019 03:35:38 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3735 问:等离子清洗机处理时间是否越长越好 ?

答:不一定。等离子清洗机体处理聚合物表面发生的交联、化学改性、刻蚀主要是因为等离子体使聚合物表层分子发生断键生成大量的自由基。实验说明,随着等离子处理时间的延长、放电功率增大,生成的自由基强度增加,达到最大点后进入一种动态平衡;放电压力在某一定值时,自由基强度出现最大值,即在特定条件下等离子体对聚合物表面反应的程度最深。

问:等离子清洗机设备工作需要什么 ?

答: 常用的等离子清洗机单元功率约为1000W,只需要洁净的压缩空气、供电电源220V/380V,以及排废气装置。

问:产线速度能达到多少 :

北京快乐8答:因为材料类型不同、工艺不同、验收标准不同,这个问题没有谁能够给出确切的答案。但根据我们过往应用的经验,对于手机按键、手机壳的粘接前表面处理最大线速度做到6米/分以上;对于密封条涂装前表面处理最大线速度做到了18米/分以上;对于密封条植绒前表面处理最大线速度做到8米/分以上;更多的参数需要使用单位您和我们一起配合摸索。

问:等离子清洗机处理可以取消底涂吗 ?

答:无论是在粘接、涂装、植绒、移印还是喷码,我们的等离子清洗机表面处理设备一次又一次的替代了底涂,降低了生产成本,满足环保的要求。

问:经过等离子清洗机处理后增加的表面能保留多长时间呢?

答 这是一个不能确定的问题,因为处理后可能因为材料自身的性质、处理后受到二次污染、又发生化学反应等原因,处理后表面能保留的时间不好确定。我们建议经过等离子清洗机处理达到较高表面能后,立刻进行下一道工序,避免表面能衰减造成的影响。

问:等离子表面处理系统可以上线使用吗?

答: 肯定的。无论是手机按键粘接、机壳涂装、密封条植绒、密封条喷涂还是其他,等离子清洗机表面处理系统的在线使用都已经成为现实。我们还可以根据使用单位产线的特定要求,将系统和产线相匹配,无论是新线还是旧线改造,都可以满足。

问:等离子清洗机处理过程中是否会产生污染?

答: 等离子表面处理是一种“洁净”的处理工艺,处理过程中只有少量臭氧O3因为电离空气而产生,但对一些材料处理过程中会分解出少量氮氧化物,应该配备排风系统。

问:等离子清洗机处理需要特殊气体吗?

答:在线处理过程中除了压缩空气,不需要其他特殊气体。但如果是次大气压下的辉光放电设备,可以充入氩气、氦气等惰性气体,在不同于空气的气氛条件下进行表面处理。

问:使用等离子清洗机设备危险吗?

答:等离子清洗设备北京快乐8都是在高压环境下工作,但设备在设计、生产和使用的过程中都会时刻将接地做为最重要的标准,并且电流很低。无意中接触到等离子放电区域,会产生“针刺”感,但不会出现危机人身安全的问题。我们通常会将放电区域屏蔽起来,做到物理隔离。

问:等离子清洗系统能够处理沟槽等复杂三维面吗?

答:无论对于片材、凹槽、孔、环状等复杂三维面,我们都能够提供相应的等离子清洗表面处理系统。

问:等离子处理会改变材料本身的性质吗?

答:等离子表面处理只处理到埃米–微米级的材料表面,对材料的特性没有影响。

 

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环保超声波清洗机 http://www.webboston.com/environmentally-friendly-ultrasonic-cleaner/ http://www.webboston.com/environmentally-friendly-ultrasonic-cleaner/#comments Tue, 09 Apr 2019 01:14:24 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3718 型号 环保超声波清洗机 超声溶剂清洗槽 三个 热风烘干槽 一个 全自动单臂机械手 两套 冷冻腔室进出料移载机构 两套 自动上下料台机构 两套 机架及门板部分 一套 冷冻腔室 一套 蒸馏回收系统 一套 电气控制系统 一套

工艺流程自动进料→溶剂超声清洗→溶剂超声清洗→溶剂超声清洗→烘干→自动出料

环保超声波清洗机主要描述:

环保超声波清洗机是全自动、全封闭、零排放的环保型清洗线,利用新型可回收环保溶剂超声波清洗工艺对工件进行表面清洗处理,通过独特专利设计的溶剂回收循环利用的装置,实现零排污,低能耗的环保要求;同时配备国际先进的超声波控制系统,加装专用清洗机械臂移载机构,从而达到最佳的清洗效果。设备清洗过程由人机界面触摸屏自动控制,具备自动和手动转换功能,操作简单,适宜大批量生产使用。本机电控部分均采用著名品牌优质件,性能可靠,设备具有清洗速度快、生产效率高、清洗效果好、使用方便、外形美观、结构合理、使用寿命长等特点,是理想的节能、环保清洗设备。

不同于传统的水溶液超声波清洗与碳氢溶液超声波清洗,零排放环保型全自动清洗机具有以下优势:

1、投资回报率高;实践证明,设备投入后每年至少可节约费用两百万以上,可在0.5-1.5年内收回投资成本,效益显著;

2、 零排放;清洗过程无需用水,整机密封循环设计,无废液、废气排放;

3、溶剂耗费少;溶剂循环利用,回收彻底,每月添加溶剂费用仅1-2万元;

北京快乐84、能耗低;环保溶剂用冷却系统余热加热,整机能耗低;

5、安全、环保、清洗彻底;溶剂为阻燃型环保溶剂,无毒、无害、无易燃易爆风险;设备获得SGS环保认证;清洗后无油污残留,洁净度可达到SKⅡ,可直接用于后端喷涂、涂装、电镀等工艺,而无需添置新的表面处理设备,这是水基清洗、溶剂清洗无法实现的;产品处理兼容性强;

6、油污分离的切削油、拉伸油等可直接回收利用;

碳氢溶剂清洗机与零排放环保超声波清洗机对比:

1.碳氢溶剂清洗机溶剂消耗量大;溶剂挥发严重,回收不彻底,每月溶剂耗费15万以上;

2.碳氢溶剂清洗机能耗高;碳氢溶剂沸点高,溶剂清洗、蒸汽清洗、真空干燥都需要持续大功率加热,工业用电量大;

3.碳氢溶剂清洗机安全隐患大;碳氢溶剂闪点50度左右,易燃、易爆;即使做了真空处理和安装了喷淋灭火装置,但这种隐患如同定时炸弹,2016年深圳宝安区一苹果代工厂因溶剂轻微泄漏而导致爆炸,也因此失去了苹果这样的战略客户,损失巨大即是如此,这也是碳氢清洗机无法广泛推广的重要因;

4.碳氢溶剂清洗机清洗不彻底;碳氢溶剂形成的表面张力膜,导致微孔清洗不彻底;溶剂与油污蒸发点相差不大,互溶后无法彻底分离,干燥后表面存在油污残留的现象;

5.碳氢溶剂清洗机和水基清洗一样,处理产品的兼容性不强,后端工艺需要极高洁净度或活化处理时,必须重新添置新的表面处理设备;

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低温等离子体表面处理技术在生物医用材料中的应用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-43/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-43/#comments Mon, 08 Apr 2019 08:19:37 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3715 生物医用材料是指用于医疗的能植入生物体或 能与生物组织相结合的材料。 因此作为生物医用材料,除了要具有一定的功能特性和力学性能外,还必 须满足生物相容性的基本要求。 否则生物体会对材料产生排异反应,材料也会对生物体产生不良影响, 如引起炎症、癌症等。 一般说来,纯合成材料是不可能同时满足这些要求的。 由于生物材料和生物体接触时主要是在表面,因此可以对人工合成的生物材 料进行表面改性。 其方法主要有两种:一种是将功能材料与生物相容性好的材料复合在一起;另一种是对功能材料进行表面改性,从而使其具备良好的生 物相容性

表面改性方法包括化学的和物理的方法。 通常化学方法比较繁琐,且大量应用有毒化学试剂,容易对环境造成严重污染,对人体也有极大危害。 与其相比,低温等离子体表面处理技术具有工艺简单、操作简便、易于控制、对环境无污染等优点,正日益受到人们的青睐。 低温等离子体中含有各种活性粒子:电子、离子,各种激发态的原子、分子及自由基等。 在这些活性粒子的作用下,材料的表面性质将会发生改。 等离子体表面改性技术的特点是它对材料表面的作用深度仅数百埃,不会影响基体材料的性质,能够处理各种形状的表面有较强的杀菌作用。 因此低温等离子体技术是生物医用材料较为理想的表面处理技术

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等离子刻蚀处理材料的原理及应用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-42/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-42/#comments Thu, 04 Apr 2019 08:48:00 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3703 一、什么是Plasma(等离子

Plasma 就是等离子北京快乐8(在台湾称为电浆),是由气体电离后产生的正负带电离子以及分子,原子和原子团组成。只有在强电场作用下雪崩电离发生时,plasma才会产生。

此外,气体从常态到等离子的转变,也是从绝缘体到半导体的转变。在我们的现实生活中也存在北京快乐8plasma,比图说荧光灯,闪电,太阳都是等离子。

二、什么是etching(刻蚀)

刻蚀是半导体制造、微电子IC制造以及微纳制造工艺中的一个重要的步骤,是与光刻相联系的图形化处理的主要工艺。刻蚀狭义理解就是光刻腐蚀,先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理,然后通过其它方式进行腐蚀,处理掉所需除去的部分。

刻蚀技术的分类

1:刻蚀技术的分类

广义上来讲,刻蚀是通过溶液、反应离子或其它机械方式来剥离、去除材料的一种统称,成为微加工制造的一种普适叫法。刻蚀技术主要分为湿法刻蚀与干法刻蚀(如图1)。 湿法刻蚀包括有:化学刻蚀和电解刻蚀;干法刻蚀有:离子束溅射刻蚀(物理作用)、等离子刻蚀(化学作用)和反应离子刻蚀(物理化学作用)。

湿法刻蚀和干法刻蚀是两类完全不同刻蚀方法。湿法刻蚀是使用特定的溶液与需要被刻蚀的薄膜材料进行化学反应,选择性的刻蚀掉该薄膜层上未掩模的区域,比如常用的金属离子刻蚀法就属于湿法刻蚀。而干法刻蚀一般指等离子表面刻蚀(plasma surface etching),材料表面通过反应气体电离成等离子等自由基团与材料发生反应从而进行选择性地刻蚀,被刻蚀的材料转化为气相并被真空泵排出,处理后的材料微观比表面积增加并具有良好亲水性。

1:湿法刻蚀和干法刻蚀性能对比

湿法刻蚀和干法刻蚀对比

刻蚀类型

2:三种刻蚀类型

注:湿法刻蚀引起侧蚀,使得刻蚀不能精确控制尺寸,而干法刻蚀(等离子刻蚀)则可以选择性刻蚀。刻蚀类型有三种,分别是各向同性刻蚀(图2a)、斜向刻蚀(图2b)和垂直刻蚀/各向异性刻蚀(图2c).

(a)。各向同性刻蚀

(b).斜向刻蚀;

(c)。各向同性刻蚀。

三、plasma etching 的刻蚀

1.刻蚀机理

等离子刻蚀是采用高频辉光放电反应,使反应气体激活成活性粒子,如原子或游离基,这些活性粒子扩散到需刻蚀的部位,在那里与被刻蚀材料进行反应,形成挥发性反应物而被去除。对硅基材料的基本刻蚀原理是用“硅-卤”键代替“硅-硅”键,从而产生挥发性的硅卤化合物。刻蚀硅基材料的刻蚀气体有CF4C2F6SF6等。其中最常用的是CF4CF4本身不会直接刻蚀硅。等离子中的高能电子撞击CF4分子使之裂解成CF3CF2C和F,这些都是具有极强化学反应性的原子团。CF4等离子对Si和SiO2有很高的刻蚀选择比,所以很适合刻蚀SiO2上的多晶Si。(注:刻蚀选择比S=E1/E2,表示在同一刻蚀条件下,被刻蚀材料的刻蚀速率与另一种材料的刻蚀速率的比)在CF4中掺入少量的其他气体可改变刻蚀的选择比。掺入少量氧气可提高对Si的刻蚀速率;掺入少量的氢气则可提高对SiO2的刻蚀速率。

2.等离子刻蚀基本过程

气体北京快乐8→离化成活性粒子→扩散并吸附到带刻蚀表面→表面扩散→与表面膜反应→产物解吸附→离开硅片表面并排除腔室。

3是等离子刻蚀系统的构造图。在低压情况下,反应气体在射频功率的激发下,产生电离并形成等离子,等离子是由带电的电子和离子组成,反应腔体重的气体在电子的撞击下,除了转变成离子外,还能吸收能力并形成大量的活性基团。活性反应基团和被刻蚀物质表面形成化学反应并形成挥发性的反应生成物,反应生成物脱离被刻蚀物质表面,并被真空系统抽出腔体。以CFx反应气体刻蚀硅为例,下图是等离子刻蚀反应的原理图及反应方程式。

等离子刻蚀原理图

3:等离子刻蚀系统构造图

刻蚀反应过程原理图

4:刻蚀过程反应原理图 (a).经过一次循环钝化的步骤;(b).经过一次循环刻蚀的步骤;(c).经历四次循环刻蚀后的轮廓;(d).参与反应过程的详细化学方程式。

单晶硅以外的许多材料也可以通过等离子刻蚀方法进行处理,比如:多晶硅、氮化硅(SiNx)、氧化硅、玻璃、化合物半导体、金属、硅化物和聚合物等。处理不同的材料用到的反应气体也不一样,也可以用个混合气体来得到特定的刻蚀选择比。表2是不同材料所用到的反应气体。

等离子刻蚀过程中用到的气体

2:等离子刻蚀中不同材料所用到的反应气体

四、等离子刻蚀的应用案例

等离子刻蚀主要应用在微电子制作工艺中,所有主要的处理对象是硅,用于精确图形转移。此外其还广泛应用于等离子刻蚀平板、薄膜刻蚀以及纤维刻蚀中。

1.精确图形转移

在微电子制造工艺中,光刻图形必须最终转移到光刻胶下面组成器件的各薄膜层上,这种图形的转移是采用刻蚀工艺完成的。但是湿法刻蚀的宽度局限于3μm以上,因此要实现超大规模集成电路生产中的微细图形高保真地从光刻模板转移到硅片上不可替代的工艺只能采用等离子刻蚀。

在等离子刻蚀工艺中,首先是在把硅晶片上面涂抹一层光敏物质,并在光敏物质上盖上具有一定图形的金属模板。然后进行紫外曝光,使部分晶片的表面裸露出来,接着再把这种待加工的硅晶片放置到具有化学活性的低温等离子中,进行等离子刻蚀。这种具有化学活性的等离子一般采用氯气或碳氟气体电离产生,含有电子和离子和其他活性自由基(如•Cl、•Cl2•F、•CF等)。这些活性基团沉积到裸露的硅晶片上时,与硅原子反应生成挥发性的氯化硅或氟化硅分子,从而对晶片进行各向异性刻蚀。另一方面,为了控制轰击到晶片上离子的能量分布和角度分布,还通常将晶片放置在一个施加射频或脉冲偏压的电极上面,在晶片的上方将形成一个非电中性的等离子区,即鞘层-等离子中的离子在鞘层电场的作用下,轰击到裸露的晶片表面上,并与表面层的硅原子进行撞,使其溅射出来,从而实现对晶片的各向异性刻蚀。目前在一些发达国家的实验室里,刻蚀线宽已经突破0.1μm,并开始考虑挑战纳米芯片的加工技术。

2.等离子刻蚀平板

两个大小和位置对称的平行金属板作为等离子发生的电极,平板放置于接地的阴极上面,RF信号加在反应器的上电极。由于等离子电势总是高于地电势,因而是一种带能离子进行轰击的等离子刻蚀模式,进行各向异性刻蚀,可得几乎垂直的侧边。另外,旋转晶圆盘可增加刻蚀的均匀性。该系统可设计成批量和单个晶圆反应室,可对刻蚀参数精密控制,以得到均匀刻蚀。

3.薄膜刻蚀

刻蚀技术是电子信息领域实现薄膜的微图形化的关键技术之一。为了提高芯片的集成度,要求铁电薄膜的图形线宽在微米或亚微米量级,目前多采用高密度等离子刻蚀方法,刻蚀后能够形成很好的刻蚀剖面,且具有较高的刻蚀速度。

4.纤维刻蚀

等离子对纤维材料的轰击作用不但可以显示出纤维表层和内部的结构特征,而且可以渗入使表层分子活化,使纤维得以改性。如吸湿性较差的化学纤维,经过等离子刻蚀处理,吸湿性变得优良。羊毛纤维的差微摩擦效应易于引起织物的毡缩,刻蚀处理后,防粘缩性提高;某些纤维原成纱性较差,刻蚀改性后,其可纺性和纱线强力提高。

聚合物等离子体刻蚀前后对比

5:POM聚合物材料等离子刻蚀前后的SEM图

此外,等离子刻蚀也可以应用于聚合物的刻蚀,图5展示了等离子刻蚀POM聚合物材料前后的SEM图。经过等离子刻蚀后,POM聚合物的表面变得蓬松多孔,大大的增加了比表面积。

在微加工工艺中,等离子技术也会导致一些负面的问题。器件损伤就是等离子刻蚀中的前沿问题之一,其他的前沿问题还有尘埃污染,离子迟滞和微负荷效应、小介电常数的电介质和静电夹头等。在等离子加工中,由于高能量离子、电子和光子轰击,在器件中引起缺陷,非定域晶格、悬空键等,改变了器件的机械和电性能,这种效应称为器件损伤。因此,在使用等离子刻蚀是需要注意这方面给器件带来的不良影响。

五、利用等离子清洗对材料表面进行改性

等离子刻蚀一般应用于对器件或材料进行结构化处理,等离子刻蚀机就是实现这种功能的仪器。此外,科研领域甚至工业领域也常利用等离子对材料表面进行清洗来改变材料表面性能,相对应的仪器叫做等离子清洗机。作为材料领域的搬运工,我们对等离子刻蚀机所了解的可能不多,而对等离子清洗机则较为熟悉。事实上,等离子刻蚀机和等离子清洗机工作原理没有区别,只是应用的侧重点不一样而已。等离子刻蚀机一般应用于半导体加工领域,而等离子清洗机则一般应用于材料领域。等离子清洗处理可改变材料的表面化学。因此能改变材料的表面性质。例如,大气或是氧气等离子常用在聚合物(例如 聚苯乙烯, 聚乙烯)表面产生羟基。通常表面从疏水性(高水接触角)改变至亲水性(水接触角小于30度),并增加表面润湿性能。等离子处理也能改变其它材料的表面化学(表面性质),如硅、不锈钢及玻璃。

用低温等离子体在适宜的工艺条件下处理PE、PP、PVF2、LDPE等材料,材料的表面形态发生显著的变化,引入了多种含氧基团,使表面由非极性、难粘性转为有一定极性、易黏性和亲水性,有利于粘结、涂覆和印刷。

等离子体刻蚀技术具体应用

其一,在制备薄膜太阳能电池中,我们需要对基片(如:硅片、ITO、FTO玻璃)等进行清洗。一般的清洗方法是用超声清洗机,如果我们对清洗的结果不太满意,我们则可以继续选择等离子体清洗机对基片进行清洗,这样清洗的会比较彻底。这是在清洗方面的应用。

北京快乐8其二,在旋涂薄膜的时候,有些基片可能亲水性不好,溶液与基片的接触角太大导致薄膜很难旋涂上去。这时,我们也可以对基片进行等离子体处理,来增加基片表面的亲水性,让溶液能够很好的分散在基片上,进而使薄膜能够旋涂在基底上。

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低温等离子体技术在纺织行业上的应用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-41/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-41/#comments Thu, 04 Apr 2019 08:22:38 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3700 利用氟碳化合物进行等离子体处理,引进了含氟基团,获得低能表面,从而使材料获得各种特殊的性能,应用于各个方面,是材料改性的一个重要手段。

含氟气体低温等离子体技术在纺织行业上的应用

等离子体处理与纺织印染企业传统的湿处理工艺比较,等离子体处理技术作为一种有效的表面处理技术,是一种极具发展前途的清洁生产技术。国内外等离子体加工技术在纺织品上的应用研究主要集中在以下几个方面:进步羊毛纤维的纺纱性能;进步纤维的染色和印花性能;进步羊毛的防毡缩性能;染色织物的增深作用;进步纤维和聚合物基质的粘结力和界面强度;增强织物的前处理效果等,使用气氛大多为氧气、氮气、空气和氩气等气体。

对织物进行耐久性拒水拒油多功能整理,国内外报道较多的是以有机氟树脂进行处理。利用等离子体处理,引进了含氟基团,进行耐久性拒水拒油多功能整理,在这方面的研究还不是很多。

使用含氟气体等离子体处理可以进步多种纤维的拒水拒油性能。Yasuda用CF4等离子体处理了一些常见纤维如聚酯、尼龙、维尼纶、棉、锦纶、羊毛和蚕丝的织物,处理后织物的接触角有不同程度的进步,表面张力降低,织物具有很好的拒水拒油性。有人利用含氟单体在棉织物、腈纶织物上进行等离子体聚合,使织物获得良好的防水效果。而棉织物的柔软性、保水率、颜色变化、手感、透气性等都优于使用商用Scotchgad防水防污剂涂层的织物。

可用作等离子体处理气氛的有多种气体,包括CF4、C2F4、C3F6、CF4和H2的混合气体等,这些气体都可进步织物的拒水性能,而且拒水性能随使用氟碳化合物种类的不同,处理时间和功率大小而变化。采用不同气体和不同操纵条件处理不同织物,织物表面的含氟量有明显不同,引进的含氟基团也有所不同。采用CF4作为气氛处理尼龙,表面氟元素含量为1-2%;以C3F6为气氛,表面氟元素含量为2.3-7.8%。通过X射线光电子能谱(XPS)观察到CF4等离子体处理后在纤维表面产生氟化作用,引进含氟基团,对Cls谱图的分析表明,-C-O-C-、-CF、-CF2和-CF3基团增加,而-COH和-COOH基团则减少了。对不同织物,引进的主要基团也有不同,对聚酯、尼龙、维尼纶和棉织物主要引进-CF2基团,而自然蛋白质纤维羊毛和蚕丝则表现为强-CF吸收。且C3F6处理效果优于CF4。

处理效果的耐久性是评价处理效果优劣的重要指标之一。有人报道等离子体处理后织物有经时效应,即获得的亲水性能经过一段时间后会逐渐衰退,但对涤纶织物进行CF4等离子体处理,发现处理后的材料即使存放150天,未发现F/C有明显变化,其拒水性能也没有明显变化。研究发现使用气体的结构是织物处理效果耐久性的重要影响因素。织物使用不饱和结构的气体时,耐久性较饱和结构的气体差。原因可能是不饱和结构的气体进行等离子体处理时轻易发生聚合,而聚合物与织物表面结合不是非常牢固。

北京快乐8等离子体处理后获得的拒水性经过水洗和烘干处理后会减弱,由于织物水洗后纤维表面的含氟基团轻易发生翻转,表面张力增大,造成织物拒水性能下降,洗后若采用高温烘干则有利于拒水性能的恢复。

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用于污染治理的非平衡等离子体处理技术 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-40/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-40/#comments Wed, 03 Apr 2019 06:59:16 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3697 采用等离子体辅助处理工艺可以减轻大气污染造成的环境破坏。等离子体可以产生大量的活性组分。与传统的热激发方法相比,等离子体处理工艺可提供更多的反应消解途径。

非平衡等离子体中的电子能量分布不同于重粒子,且二者处于不平衡状态,因此可以认为含电子气体的温度远高于含中性粒子和离子的气体。由此可引导高能电子通过碰撞作用激发气体分子,或使气体分子发生分解和电离。上述过程中所产生的自由基则可分解污染物分子。等离子体的化学效应可以实现物质的化学转化。与仅依靠等离子体的热效应进行分子分解相比,利用等离子体的化学效应实现物质转化的效率更高。许多情况下,有毒污染物分子十分稀薄,在这种情况下采用等离子体辅助处理是一种事半功倍的方法,其效果类似于焚烧炉采用的焚烧工艺。

低温等离子体处理工艺采用高能电子轰击载气(氮气和氧气),使其发生电离和分解,随后自由基/离子与目标气体分子发生反应;工艺中要生成大量不可利用的离子/自由基,同时耗费大量电能。因此,美国橡树岭国家实验室研究人员认为,尽管低温等离子工艺优于热等离子体工艺,但是其能量利用率太低。目前橡树岭实验室正在努力开发一种新型等离子体化学处理工艺,该工艺的基础在于橡树岭国家实验室的近期发现,即对于特定分子,在电子处于高激发态时,会产生极大的附着电子的等离子体横截面。此外,相关科研人员正在研究采用放电效应的靶向激发应以及亚稳态稀有气体的激发转移效应,可以精确激发靶向气体,而不会在含有氮气和氧气的载气上浪费能量,因此可大幅度降低处理成本。

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什么是等离子体聚合? http://www.webboston.com/plasma-cleaner-38/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-38/#comments Tue, 02 Apr 2019 06:26:54 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3689 什么是等离子体聚合?

等离子体聚合是一种提高橡胶或塑料产品或薄膜疏水性的方法。

等离子体聚合

等离子体聚合通常用于防止在制造过程中产生的碎屑粘附到橡胶上。我们可以利用这一技术来修改许多硅,橡胶和塑料的表面,以防止它们在进一步的生产步骤中粘在一起。等离子体表面改性被许多人认为是“绿色”的替代品,比其他表面改性方法更为环保。等离子体表面处理过程中不需要使用刺激性化学品更不需要接触任何化学品。这不仅可以保护我们的环境,还可以保护员工的生命安全。先利用RF源产生等离子体,然后通过等离子体处理材料表面能够增加塑料或橡胶表面的疏水性,从而导致等离子体聚合。

等离子体处理有许多优于其它表面处理方法的地方,这使得人们对等离子体的兴趣激增。通过等离子工艺形成的各种聚合物的化学和机械性能增强,使得等离子技术应用于许多不同的行业和产品。通过使用适当的处理气体,我们能够增加材料表面的疏水性,防止物品在进一步生产过程中粘在一起。 东信高科为许多行业提供等离子服务,旨在提高其产品的润湿性和实用性。我们的工艺适合许多橡胶和硅产品。

等离子体聚合历史

功能化等离子体聚合物薄膜的沉积首次在1982被证实,这些等离子体官能化方法不仅用于产生疏水性涂层,而且还可被用作改善生物植入物的生物相容性的方法。功能性等离子体聚合物的价值潜力正被诸如水处理,烧伤患者的医院护理和其他大型伤口损伤等行业所利用。诸如微通道涂层,纳米图案化和微胶囊化等技术的客户已经使用功能化的等离子体聚合物来改善其产品的质量。

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真空等离子清洗机构成及其工作原理 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-37/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-37/#comments Sat, 30 Mar 2019 02:03:31 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3647 等离子体是一种含有自由电子、离子和自由基的被电离气体。等离子北京快乐8体与外加电磁场存在相互作用,这种作用会影响其内部的自洽电磁场中的带电离子,使等离子体的流体特性得到提高,从而产生诸如流动性、波动性、不稳定性以及自组织性等集体效应。等离子体中的每种粒子都有相对独立的能量状态分布,每种粒子所维持的能量状态分布并非在等离子体中是保持等值平衡的。等离子体内部能量是由热能、电场能、磁场能和辐射场所构成的,这些能彼此相互影响和转换,使得等离子体能在一个更宽广范围的、多维参数相互关联的空间里存在。

任何材料一旦接触到等离子体,就会发生一系列的物理、化学变化,甚至会出现熔化。等离子体制造技术在实现对材料加工制造的同时,又能实现对材料本身的改性,提高材料的附加价值。

真空离子清洗机由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔休、机械等几个部分够成,可以根据客户的特殊要求定制符合客户需要的真空系统,真空室。容易采用数控技术,自动化程度高;具有高精度的控制装置,时间控制的精度很高;正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层,表面质量得到保证;由于是在真空中进行,不污染环境,保证清洗表面不被二次污染。

真空离子清洗机是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质,等离子清洗北京快乐8/刻蚀产生等离子体的装置是在密封容器中设置。广泛应用于表面去油及清洗等离子刻蚀,聚四氟(PTFE)及聚四氟混合物的刻蚀、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等离子涂镀聚合等工序,因此又应用于汽车电子领域、军工电子领域、PCB制成行业等高精密度领域。

真空离子清洗机真空等离子清洗机两个电极形成电磁场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体越来越稀薄,分子间距及分子或郭的自由运动距离也越来越长,受磁场作用,发生碰撞而形成等离子体,同时会发生辉光,等离子体在电磁场内空间运动,并轰击被处理物体表面,达到去除表面油污以及表面氧化物,灰化表面有机物,以及其它化学物质,从而达到表面处理、清洗和刻蚀效果,经过等离子处理工艺可以实现有选择的表面改性。

真空等离子清洗机工作过程:

真空等离子清洗机包括一个反应腔室、电源和真空泵组。样品放置反应腔室内,真空泵开始抽气至一定的真空度,电源启动便产生等离子体,然后气体通入到反应腔室,使腔室中的等离子体变成反应等离子体,这些等离子体与样品表面发生反应,生产可挥发的副产物,并由真空泵抽出。

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利用等离子清洗机进行有机聚合物的表面金属涂层的前处理 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-36/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-36/#comments Fri, 29 Mar 2019 08:57:10 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3642 表面涂覆金属涂层的有机聚合物可广泛应用于多种行业。要实现表面涂覆金属涂层聚合物的使用功能,金属涂层和聚合物基体之间的黏结强度是一个关键因素。这一目标可通过采用等离子清洗机表面处理对聚合物进行预处理得以实现。例如,首先使用氧等离子体对ABS进行表面预处理,然后再对ABS实施铜蒸发沉积工艺。

纤维与基体之间(或各层之间)的良好附着力也取决于纤维和基体材料的表面特性以及界面上的物理及化学相互作用;而纤维与基体材料之间具有良好附着力的前提条件是纤维必须具有足够的表面能,纤维的表面能必须大于或等于基体的表面能,纤维的表面能必须大于或等于基体的表面能,可以通过等离子体对纤维表面进行处理来满足这一要求。

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等离子清洗机作用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-35/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-35/#comments Thu, 28 Mar 2019 08:57:35 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3631 等离子体反应机理

1、激活键能-交联作用

等离子体中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的键能在0~10eV,因此等离子体作用到固体表面后,可以将固体表面的原有的化学键产生断裂,等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构,大大地激活了表面活性。

北京快乐82、对材料表面轰击-物理作用

主要是利用等离子体里大量的离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子作纯物理的撞击,把材料表面的原子或附着材料表面的原子打掉,不但清除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面积,提高固体表面的润湿性能。由于离子在压力较低时的平均自由基较轻长,得到能量的累积,因而在物理撞击时,离子的能量越高,越是有更多能量作撞击,所以若要以物理作用为主时,就必须控制较低的压力下来进行反应,这样清洗效果较好。

北京快乐83、形成新的官能团–化学作用

化学作用其反应机理主要是利用等离子体里的自由基来与材料表面做化学反应,压力较高时,对自由基的产生较有利,所以若要以化学反应为主时,就必须控制较高的压力来近进行反应。

在化学反应里常用的气体有氢气(H2)、氧气(O2)、甲烷(CF4)等,这些气体在等离子清洗机内反应成高活性的自由基,引入反应性气体,那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应,引入新的官能团,如烃基、氨基、羧基等,这些官能团都是活性基团,能明显提高材料表面活性。

等离子清洗机作用:

(1)表面清洗

北京快乐8材料表面尝尝会有油脂、油污等有机物及氧化层,在粘合、焊接前,需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。适用于金属、玻璃、陶瓷灯多种材料。

(2)表面活化

塑料、玻璃、陶瓷与聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚四氟(PTFE)等一样是没有极性的,因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。在惰性材料表面生成活性基团,增强表面极性,提高表面能。等离子处理与灼烧处理相比,不会损害样品,同时还可以十分均匀地处理整个表面,不会产生有毒烟气,盲孔和带缝隙的样品也可以处理。

(3)表面刻蚀

在等离子刻蚀过程中,通过处理 气体的作用,被刻蚀物会变成气化物(例如在使用氟气对硅刻蚀时)。处理 气体和基体气化物质被真空泵抽出,表面连续被新鲜的处理 气体覆盖。无需刻蚀部分应使用相应材料覆盖起来(例如半导体行业用铬做覆盖材料。)

(4)表面接枝与聚合

在等离子体表面活化产生的基团或等离子体引发聚合层不能与材料表面牢固结合时,采用等离子体接枝的方法来改善。等离子体接枝的原理为:首先利用表面活化在材料表面产生新的活性基团,利用此基团与后续的活性物质产生化学共价键结合,后续的活性物质中带有能够满足应用的特定基团,以达到既能满足表面特性又能牢固结合的目的。

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什么是等离子邦定? http://www.webboston.com/plasma-cleaner-34/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-34/#comments Wed, 27 Mar 2019 09:10:04 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3625 等离子体邦定是对表面进行修饰,使其能与之结合或印刷的过程。通常用于聚四氟乙烯,橡胶或塑料,这一过程实际上修改表面,留下自由基,并允许任何材料与胶水或油墨可靠地结合。

等离子键合示例

移位寄存器在最终组装期间被邦定。在有光泽的表面(如塑料或聚四氟乙烯)上进行印刷可能会导致表面质量差,并且大量油墨不能粘附在表面上。这在打印时和将来处理产品时都会造成混乱。

类似地,将坚固的塑料手柄附接到光泽的塑料产品是困难的,因为不同的聚合物可能需要非常不同的粘合剂。

北京快乐8表面改性效果不是永久性的。处理的时间范围从几小时到几天不等,具体取决于处理部件的储存条件。

虽然等离子体粘合的影响是暂时的,但它们可以有足够的时间来完成所处理材料的制造或印刷过程。

粘合不同表面(如塑料和金属或橡胶和塑料)时使用此过程。不同的表面通常需要不同类型的胶水。这产生了难以找到合适的粘合剂的情况。

通过用等离子体改性表面,塑料或橡胶的孔粘附到粘合剂上,强度显着增加。

有光泽的塑料表面通常经过处理或印刷或粘合到另一种材料上,如塑料或金属手柄。当用正确的等离子体处理这些光泽表面时,它们能够在没有涂抹的情况下被印刷,或者它们可以粘合到手柄上而不用担心弱粘合。

北京快乐8等离子处理非常安全且环保。在用于等离子体结合的功率设置和压力下,等离子体仅能够改变材料的表面,而不改变材料本身的性能。

在仅几个分子层深的区域上观察到与等离子体结合的影响,并且材料的整体性质未改变。该处理不使用任何刺激性化学品,因此消除了员工和对环境的化学安全风险。

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等离子清洗设备是贯穿半导体产业链的重要环节 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-33/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-33/#comments Tue, 26 Mar 2019 09:16:55 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3616 等离子清洗设备是贯穿半导体产业链的重要环节,用于清洗原材料及每个步骤中半成品上可能存在的杂质,避免杂质影响成品质量和下游产品性能,在单晶硅片制造、光刻、刻蚀、沉积等关键制程及封装工艺中均为必要环节。

常用清洗技术有湿法清洗和干法清洗两大类,目前湿法清洗仍是工业中的主流,占清洗步骤的90%以上。湿法工艺是指采用腐蚀性和氧化性的化学溶剂进行喷雾、擦洗、蚀刻和溶解随机缺陷,使硅片表面的杂质与溶剂发生化学反应生成可溶性物质、气体或直接脱落,并利用超纯水清洗硅片表面并进行干燥,以获得满足洁净度要求的硅片。而为了提高硅片清洁效果,可以采用超声波、加热、真空等辅助技术手段。湿法清洗包括纯溶液浸泡、机械擦拭、超声/兆声清洗、旋转喷淋法等。相对而言,干法清洗是指不依赖化学试剂的清洗技术,包括等离子体清洗、气相清洗、束流清洗等。

工艺技术和应用条件上的区别使得目前市场上的清洗设备也有明显的差异化,目前,市场上最主要的清洗设备有单晶圆清洗设备、自动清洗台和洗刷机三种。在21世纪至今的跨度上来看,单晶圆清洗设备、自动清洗台、洗刷机是主要的清洗设备。

单晶圆清洗设备一般是指采取旋转喷淋的方式,用化学喷雾对单晶圆进行清洗的设备,相对自动清洗台清洗效率较低,产能较低,但有着极高的制程环境控制能力与微粒去除能力。自动工作站,也称槽式全自动清洗设备,是指在化学浴中同时清洗多个晶圆的设备优点是清洗产能高,适合大批量生产,但无法达到单晶圆清洗设备的清洗精度,很难满足在目前顶尖技术下全流程中的参数要求。并且,由于同时清洗多个晶圆,自动清洗台无法避免交叉污染的弊端。洗刷器也是采取旋转喷淋的方式,但配合机械擦拭,有高压和软喷雾等多种可调节模式,用于适合以去离子水清洗的工艺中, 包括锯晶圆、晶圆磨薄、晶圆抛光、研磨、CVD等环节中,尤其是在晶圆抛光后清洗中占有重要地位。

单晶圆清洗设备与自动清洗台在应用环节上没有较大差异,两者的主要区别在于清洗方式和精度上的要求,以45nm为关键分界点。简单而言,自动清洗台是多片同时清洗,的优势在于设备成熟、产能较高,而单晶圆清洗设备是逐片清洗,优势在于清洗精度高,背面、斜面及边缘都能得到有效的清洗,同时避免了晶圆片之间的交叉污染。45nm之前,自动清洗台即可以满足清洗要求,在目前仍然有所应用;而在45以下的工艺节点,则依赖于单晶圆清洗设备达到清洗精度要求。在未来工艺节点不断减小的情况下,单晶圆清洗设备是目前可预测技术下清洗设备的主流。

工艺节点缩小挤压良率,推动清洗设备需求提升。随着工艺节点的不断缩小,经济效益要求半导体公司在清洁工艺上不断突破,提高对于清洁设备的参数要求。对于那些寻求先进工艺节点芯片生产方案的制造商来说,有效的无损清洁将是一个重大挑战,尤其是10nm7nm甚至更小的芯片。为了扩展摩尔定律,芯片制造商必须能够从不仅平坦的晶圆表面除去更小的随机缺陷,而且还要能够适应更复杂、更精细的3D芯片架构,以免造成损害或材料损失,从而降低产量和利润。

根据盛美半导体估计,就每月生产10万片晶圆的20nmDARM厂来说,产量下降1%将导致每年利润减少3050百万美元,而逻辑芯片厂商的损失更高。此外,产量的降低还将增加厂商原本已经十分高昂的资本支出。因而,工艺的优化和控制是半导体生产制程的重中之重,厂商对于半导体设备的要求也越来越高,清洗步骤尤其如此。在20nm及以上领域,清洗步骤数量超过所有工艺步骤数量的30%。而从16/14nm节点开始,由3D晶体管结构、前后端更复杂的集成、EUV光刻等因素推动,工艺步骤的数量增加得非常明显,对清洗工艺和步骤的要求也将明显增加。

从全球市场销售份额来看,单晶圆清洗设备在2008年之后超过自动清洗台成为最主要的清洗设备,而这一年正是行业引入45nm节点的时间。根据ITRS,2007年至2008年是45nm工艺节点量产的开始。松下、英特尔、IBM、三星等纷纷于此时段开始量产45nm2008年底,中芯国际获得了IBM批量生产45纳米工艺的授权,成为中国首家向45nm迈进的中国半导体公司。

并且,在2008年前后两个阶段中,市场份额最高的清洁设备走势均与半导体设备销售额走势保持一致,体现出清洗设备需求的稳定性;并且在单晶圆清洗设备主导市场后,其占总体销售额的比例明显提升,体现出单晶圆清洗设备和清洗工艺在半导体产业链中的地位提升。这一市场份额变迁是工艺节点不断缩小的必然性结果。

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等离子清洗机图片-等离子清洗机图片大全 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-32/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-32/#comments Mon, 25 Mar 2019 06:27:03 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3602 大气等离子清洗机图片

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等离子体连续纤维表面处理技术 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-31/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-31/#comments Sat, 23 Mar 2019 04:03:06 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3594 北京快乐8市场对传导性(金属)和绝缘性(聚合物和陶瓷)连续纤维的需求量达数十亿吨。为了得到不同于织物基体特性的性能,大部分连续纤维都经过了表面处理,但这通常是采用对环境有害的湿法化学处理工艺来完成的。

目前,等离子体表面改性工艺正在重新兴起,这是人们对化学-电子反应科学的不断深入认识,以及所需生产设备不断发展的结果。将这一全新认识运用到连续纤维生产中,将造就具备工业可行性及环保性的等离子体处理工艺。等离子体技术的可行性和灵活性已经在实验室得到了证实,东信高科研制的在线真空等离子系统可大批量进行连续纤维不间断清洁表面的处理。

此项成果的意义在于,通过研发及验证等离子体设备样机及工艺方法,发掘等离子体连续纤维表面处理工艺的潜力,并最终实现一种具备工业可行性及环保性的全新连续纤维生产工艺;随后将开发多样化的表面处理工艺及各种创新性产品,此项工艺已经在一家真实的纤维复合材料工厂中得到了应用,从而证明工艺的可靠性;最后,经过等离子体表面处理的大批量连续纤维产品将会在复合材料、生物医药及纺织行业中进行实际检验,并将与现有非环保处理技术相比较,展示等离子体处理技术所具备的优势

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等离子体金属切割 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-30/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-30/#comments Fri, 22 Mar 2019 03:31:40 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3586 1957年,联合碳化物公司的罗布特·盖奇发明了等离子体电弧切割工艺。工艺采用铜质喷嘴约束等离子体弧柱,从而产生狭窄的电弧通道和高速等离子体流。今天的等离子体切割机可以切割250mm厚的不锈钢板。将水沿辐射方向喷入电弧,水蒸发后围绕高温等离子体弧柱产生蒸汽边界——Linden Frost层,从而实现对电弧的更强约束。采用这种设计得等离子体炬的温度高达50000K,是传统等离子体炬的两倍。

空气等离子体切割工艺于20世纪60年代投入工业化应用。空气中的氧气成为额外的能量源,因此其切割速度比氮气等离子体切割工艺高25%。空气等离子体具有强腐蚀性,因此必须使用锆电极替代钨电极。今天的空气等离子体切割机也是用氮气等离子体,以及一个外部空气环层。

最新的切割技术同时采用等离子体切割以及水切割,从而对不锈钢材料生成高质量切槽面。同时,在厚薄不同的合金钢板的连铸作业中,等离子体切割工艺已经实现了高处理量。尽管如此,等离子体切割工艺在切割效率及自动化程度上仍然有发展的余地。一项近期的革新为采用微波等离子体源用于切割用途。新工艺的切割质量据称与激光切割不相上下,而成本则远低于后者。从全球范围看,等离子体设备的应用情景非常可观。

在电子器件生产中,微等离子焊接工艺已经用于极薄管壁的焊接以及封装材料的密封。微等离子体焰设备还用于起搏器及其他生物医学装置的封装。由于体积很小,微等离子设备还可以用于航天构件建设、导线对接以及薄管对接等特殊用途。

 

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等离子体惨杂工艺 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-28/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-28/#comments Wed, 20 Mar 2019 08:32:24 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3580 常规线束离子注入可对硅进行惨杂形成半导体器件中的结,这是一种可控的惨杂工艺。随着器件尺寸的缩小,超浅结的沉积深度将越来越小。当注入能量较低时,束线离子注入技术将很难控制离子束质量的粒子的运动轨迹,因此注入效果不佳。随着器件的几何尺寸不断缩小,这一问题变得越发严重。

等离子体离子注入或称等离子体惨杂是一种更为简单、生产效率更高的惨杂技术。PD可与组合加工设备共同使用,并于CMOS生产环境兼容。PD工艺流程如下:首先将硅晶片沉浸在含惨杂组分的等离子体中,然后在晶片上作用几百伏的偏压,由此,正离子在电场作用下注入晶片内部。当加速电压为2~5kV时,注入深度为100nm量级。与束线注入方法不同,整个晶片表面可以同时进入惨杂注入,从而降低了生产成本。PD生产效率高的原因在于其电流密度可以达到3mA/cm³之高,相比之下,束线注入方法的典型电流密度只有7μA/cm³。

此外,气体或固体等离子体源都可以用于PD工艺。气体源PD工艺一般采用电子回旋共振(ECR)或射频(RF)等离子体源激发,并由氦气稀释B2H6等离子体。进行稀释的目的在于控制注入速率。由于气体源通常有毒,因此人们转向固体源PD的研究开发。

PD工艺的脉冲特性带来很宽的离子能谱范围,这是因为电压脉冲使处在鞘层不同区域内的粒子得到加速,加速后的粒子随后落入与空间位置有关的势阱。有限的脉冲上升和下降时间也造成了离子能量的分散。虽然低能量离子不会 破坏浅结的形成,但是上述两个因素都会对惨杂原子的深度分布产生影响。

PD处理工艺的局限性在于,可测量的指标仅限于外部参数,如压力、电压、等离子体密度、温度等。上述参数之间的相互关系高度复杂。等离子体温度决定着电子-分子反应速率和等离子体密度。等离子体密度决定着等离子体鞘层的膨胀特性,即撞击晶片表面时离子的能量和分布范围。等离子体温度反过来是由气体压力和耦合给等离子体的总功率所决定。研究者已经建立了复杂的理论模型研究离子成分、流量和能量与上述可直接测量的参数之间的关系。测出的总电流是离子、二次电子和位移电流效应的总和。为了在加工过程中的可控参数与最终的注入剂量和离子分布之间建立对应的关系,还需进行大量的理论性工作。

当处理直径超过300mm的晶片时,注入离子的空间分布在上述尺度范围内必须均匀一致,因此等离子体在此空间尺度上的密度也必须均匀一致,因此等离子体在此空间尺度上的密度也必须均匀分布。对于直径为200mm的晶片,在某些能量范围内,其等离子体分布的均匀度可保证在1。1%的水平。一般而言,对所有不同的注入能量,PD可以将均匀精度控制在5%的范围内。

北京快乐8污染是注入工艺中另一个核心问题。2009年制定的工艺标准要求,每平方厘米范围内所含金属污染物的原子数不超过1~10九次方个。在此方面,传统离子注入机的优势在于可通过长漂移管把离子源中含有的大量污染物排除出处理腔。然而,由于PD方法把等离子体的产生、晶片光刻、惨杂等工序合并为一体,因此不具备这种优势。PD系统的等离子体源工作在远低于线束注入机的能量密度下,因此栅极可用如铝或硅等不易产生污染物的材料制作,同时可避免线束侧壁产生溅射。通过在反应腔中采用单一组分,可大幅度减少交叉污染。

从等离子体加工损伤的角度来说,PD工艺才是个开头。PD采用较长间隙的脉冲进行注入,在时间较长的间隙内是暴露等离子体的低能电子作用下,因此是一种具有自我限制特点的工艺。时间极短的正脉冲的单位面积带电量相对较低,在任何电介质中都不会产生较强电场,因此单个脉冲不会造成电介质明显的漏洞。短脉冲之后,会有一段较长的间隔时间,使得等离子体中低能电子可与表面电荷中和。研究表面,只要脉冲频率不超过某一阀值,等离子体可以完全中和掉脉冲期间累计的电荷。

用于半导体器件处理的PD系统一般由一个真空系统、等离子体发生系统和离子注入脉冲发生器组成。真空系统配有一台涡轮泵和一台机械备泵,在泵的作用下,可以达到10mtoor级别的工作压强。等离子体发生系统被广泛应用于刻蚀、CVD等应用领域。

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PCB等离子刻蚀机介绍 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-29/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-29/#comments Tue, 19 Mar 2019 09:15:49 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3574 PCB等离子蚀刻机

北京快乐8过去,制造商使用浓酸进行蚀刻处理并清洁印刷电路板上的钻孔。许多不同的化学品被用来清理孔穴,但所有这些化学物质都对环境有害并且对工人有一定的危险性。

 用化学品蚀刻

化学蚀刻是制造电路板的传统方法。由锡或锡和铅组成的蚀刻抗蚀剂保护铜箔的某些区域,而其余的铜被蚀刻掉。

该工艺使用氨蚀刻液去除铜。氨溶液不会腐蚀锡或铅,所以锡下的铜仍然是一根“导线”,或者是电子沿着完整电路板运动的路径。

化学蚀刻的质量可以通过未被抗蚀剂保护的铜去除的完整性来定义。质量还指痕迹边缘的直线度和蚀刻底切的水平。

蚀刻底切是由化学品的非定向蚀刻引起的,一旦发生向下蚀刻就允许侧向蚀刻。较少的底切被认为是更高的质量。测量这些底切并把它称之“蚀刻因子”。

蚀刻工艺中的所有步骤都是连接的,并且蚀刻质量可能是蚀刻溶液或所用抗蚀剂的结果。

化学蚀刻使用许多有害化学物质,并且不是环境友好的蚀刻工艺。

 用等离子蚀刻

等离子体蚀刻在20世纪80年代开始流行,作为一种环保蚀刻工艺,用于去除PCB中钻孔中的胶渣。

等离子体是物质的第四种状态,通过使用13.56MHz的射频电离气体粒子在真空中形成。

等离子PCB清除北京快乐8胶渣技术还可以提供更好的蚀刻质量和通孔污染物去除效果。

PCB等离子蚀刻机,顾名思义,使用蚀刻技术,在严格条件下产生等离子体,并用于清洁PCB板上钻孔中的留下材料。

为了充分了解PCB蚀刻工艺,了解等离子蚀刻机的工作原理非常重要。等离子北京快乐8蚀刻机由两个用于产生射频的电极和一个接地电极组成。

通常有4个气体入口,氧气,CF4或另外几种蚀刻气体通过这些气体入口进入系统。通常以预定的比例混合气体,这取决于被蚀刻的材料。

当气体进入系统时,施加射频以电离气体颗粒。 13.56 MHz被认为是标准的等离子体形成频率。

射频激发气体电子并改变它们的状态。机器产生高速等离子体脉冲从而进行蚀刻。

PCB蚀刻系统在发生化学反应期间产生挥发性化合物作为副产物。等离子体原子需要1050分钟才能清洁电路板上的孔胶渣。

等离子在清洁芯片封装内的引线框架方面也很受欢迎。引线框将电信号传送到封装的外部,并且在结合到封装中之前必须清除所有有机物。

 PCB等离子蚀刻机工艺 

PCB等离子刻蚀

取决于待蚀刻材料的类型,所用气体的性质和所需的蚀刻类型,存在许多类型的等离子体蚀刻。

北京快乐8温度和压力也在所执行的等离子体蚀刻中起到重要作用。工作温度或压力的微小变化可以显著改变电子的碰撞频率。

反应离子蚀刻(RIE)使用物理和化学机制在一个方向上实现高水平的表面蚀刻。

由于RIE工艺结合了物理和化学相互作用,因此它比单独的等离子蚀刻快得多。

高能离子碰撞剥离了等离子体的电子,并允许用带正电荷的等离子体进行处理。

 等离子去污和等离子体

等离子去污剂和等离子体清除剂通常被认为是相同的。去钻或除渣过程用于在钻孔过程之后清洁PCB上钻孔中的胶渣。

由于多层铜用聚酰亚胺或FR4环氧树脂材料绝缘,因此留下该熔渣。当钻孔时,绝缘材料渣会阻碍铜层之间的良好连接,因此必须将其清除。

蚀刻将等离子去污剂提升到一个新的水平。对于这个过程,我们不仅通过钻孔工艺清洁聚酰亚胺或FR4环氧树脂留在铜上的残留物,而且还蚀刻掉少量材料。

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等离子渗氮工艺在机械零配件制造中的应用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-27/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-27/#comments Tue, 19 Mar 2019 01:40:29 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3571 近期,学者展开了对H13、D2和L7工具钢轧辊的等离子体渗氮的研究,以及其他钢材料零部件耐磨性的研究。这些钢常用于线和棒材轧机中,易受冲击、滑行以及滚动等复杂接触形式的影响。黏附和分层磨损过程会导致H13钢轧辊损坏,但如果渗氮后,损坏程度会大大降低。

在许多锻造应用中,完成一个产品需要很多模具,模具寿命不但影响零件成本而且影响运行成本和生产效率。锻造模具渗氮是为了增加表面硬度从而降低磨损。研究发现,H13模具经过等离子体渗氮后,其模具寿命增加了一倍,并且提高了锻造效率。最初热加工材料的核心硬度为RC40,渗氮后硬度几乎增加到了RC70,渗氮深度达到了100-500um。

低温等离子体渗氮也可以处理冷加工工具,其中一个重要原因是淬火和退火中形成的高核心硬度不会被随后的等离子体渗氮处理降低。

等离子体渗氮同样也可对刀具边缘进行淬火。与其他淬火方法相比,采用等离子体处理的工具有许多的优势。一般生产刀具的钢为铬、钒、钼元素的高碳钢和合金钢,这些工具经过淬火和退火硬度大约为64RC,包括白亮层在内的渗氮层深度一般为20~30um。另外,大量机床零部件,如轴、螺丝、螺帽、冲床、操纵轮等都需要等离子体渗氮。

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等离子体离子注入 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-26/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-26/#comments Mon, 18 Mar 2019 03:12:28 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3565 1987年,康拉德和卡斯塔发明了一种将等离子体作为介质直接在材料表面注入离子的技术。这项技术是基于以下现象提出的,浸没于等离子体中的物质周围被一个离子鞘层所环绕,这个鞘层相对于等离子体电势来说是一个负偏压。在平衡条件下,离子鞘层将离子通量输送给电极,其速率由以离子声速从预鞘层进入鞘层的离子流来决定。这类技术的发明几乎在同一时期出现在澳大利亚。被等离子体浸没离子注入、等离子源离子注入或等离子体基离子注入。

下图为等离子体注入过程中的基本时间尺度的示意图。当把负脉冲电压加在浸没于均匀等离子体中的一个电极上时,电子将被排斥而远离电极。此过程发生的时间周期是在一个电子等离子体周期内,是等离子体振荡频率的倒数。对于低密度等离子体,电子等离子体周期的典型值为纳秒级。在此期间,离子基本上不移动,随着电极附近的电子被排斥逐渐远离,在电极附近就会形成一个接近均匀和稳定状态的离子空间电荷区域,这就是所谓的离子阵鞘层。其电势通常呈抛物线分布不同种类的离子鞘层矩阵模型可以给出更详细的电势分布变化。

等离子体注入

紧接着,经过一个较慢的、微秒量级的离子等离子体时间,离子被加速,并开始向电极移动。在此期间,离子获得的最大能量是鞘层电压降。然后,它们穿透并进入由穿透深度决定的电极表面内,其中,穿透深度是所加电压和材料密度的函数。随着离子的减少,鞘层边缘便以由离子声速决定的速率逐渐延伸到等离子体内,最终形成了一个具有一定厚度的平衡鞘层,此厚度由鞘层内损耗的离子和进入鞘层内的离子所建立的平衡决定。

高能离子注入固体后会发生一系列变化。高能离子在很短的时间内就可以减速到固态结合能的水平,而离子与固态原子相互作用的产物也会在非常短的时间内沉积下来。在这些阶段内形成的辐射损伤得到了一定程度的退火。次表层原子之间的内部混合也发生在这些阶段。当基板温度较高时(有时是由注入过程本身产生的),被注入的原子和辐射损伤还会发生热扩散,这些减速过程发生在几百秒的时间内。经过这些变化,次表层区域的化学组成结构发生了变化,并形成了新的物化相可能是均一的固溶相,也可能是沉积物。应当指出,所有这些现象都会受辐射损伤的影响。

当高能粒子注入材料表面时,会发生溅射,使得被注入表面受到侵蚀。随着能量密度的增加,表面侵蚀将渗透到原来被注入的区域。当注入和材料表面的侵蚀达到平衡后,材料表面的形貌就确立了。

从技术上来讲,等离子体离子注入比基于加速器的离子注入简单得多,原因如下:

北京快乐8(1)不需要束流光栅和进行目标靶的控制。

(2)不需要对目标靶进行掩模。

(3)能够在离子源硬件和控制设备上维持接近地电势。

(4)无论是连续还是分批处理,效率都非常高。

(5)能够处理较大、较重或外形复杂的物体。

离子注入为研究不同的粒子以及在摩擦和热处理过程中对材料特性和材料结构的再构造影响提供了一种灵活并且可控的方法,这种方法能够为任何材料基底提供所需要的注入粒子。经过离子注入后,一些金属由于其表面形成了坚硬的保护层,而呈现出增强的抗磨性和抗氧化性。这些保护层阻止了材料的进一步的氧化,从而保护了材料内部。与电镀技术相比,离子注入可以大大延长机械零件和工具的寿命。

离子注入的另一个应用是对聚合物进行改性。在大多数聚合物里,注入离子的能量较高,使得表面生成了一个高导电层,而在表层下部则是低导电层。另外,大多数经过离子注入后的聚合物,呈现出阻溶性和增强的机械硬度。利用这些特性,再加上导电的温度敏感性,可以将注入后的聚合物应用在其他方面,如可以做成应变计‘温度敏感包装和体积非常小的电阻等。

北京快乐8PII过程可能非常适合用于对金属和陶瓷元件进行表面处理,实现下列表面性能的改善:耐磨性、抗氧化性、抗腐蚀性、抗疲劳性、改善摩擦力或者润湿性、增加硬度、提高半导体的导电性(金属化)。

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等离子刻蚀工艺 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-25/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-25/#comments Mon, 18 Mar 2019 02:01:49 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3561 等离子体刻蚀分为两个过程:首先,等离子体中产生化学活性组分;其次,这些活性组分与固体材料发生反应,形成挥发性化合物,从表面扩散排走。例如,CF4离解产生的F,与S反应生成SiF4气体,结果是在含Si材料的表面形成了微观铣削结构。等离子体刻蚀是一个通用术语,包括离子刻蚀、溅射刻蚀以及等离子体灰化等过程。

基底和工艺参数决定了表面改性的类型,基底温度、处理时间和材料扩散特性决定了改性深度。等离子体仅能在表面刻蚀几个微米的深度,改性后的表面特性发生了改变,但大部分材料的特性仍能得以保持。这项技术还可以用于表面清洗、固话、粗化、改变亲水性及粘结性等,同样也可以使电子显微镜下观察的样品变薄以及应用于半导体集成电路的制造过程中。在化学溅射中会发生反应并产生挥发性产物。常用的气体包括ArHeO2H2H2OCO2Cl2F2和有机蒸气等。与存在化学反应的等离子体溅射相比,惰性离子溅射更像是一个物理过程。

等离子体用F刻蚀Si的技术广泛应用于半导体设备的制造中,下面是刻蚀反应的三个步骤。

化学吸附:F2F2ads2Fads

反应::Si+4FadsSiF4ads

解吸:SiF4adsSiF4gas

高密度等离子体源在刻蚀工艺上具有许多优势,例如,可以更精确地控制工作尺寸,刻蚀速率更高,更好的材料选择性。高密度等离子体源可以在低压下工作,从而减弱鞘层振荡现象。使用高密度等离子体源刻蚀晶片时,为了使能量和离子通量彼此独立,需要采用独立射频源对晶圆施加偏压。因为典型的离子能量在几个电子伏特量级,在离子进入负鞘层后,其能量经加速将达到上百电子伏特,并具有高度指向性,从而赋予离子刻蚀的各向异性。

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等离子体化学催化 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-24/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-24/#comments Thu, 14 Mar 2019 01:16:35 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3555 只有当分子的能量超过活化能时,才能发生化学反应。在传统化学中,这种能量是通过分子与分子或分子与壁面之间的碰撞进行传递的。在等离子体中,一方面,振动能可以通过循序渐进的方式逐渐增加到最低反应能量;另一方面,电子与分子的碰撞能传递更多的能量,从而将中性分子变成多种活性组分或将中型粒子电离,新组分主要包括超活性中性粒子、阳离子和阴离子。在常规化学反应不能产生大量新组分的情况下,等离子体成了一种功能非常强大的化学手段,担负起了催化剂角色。一般情况下,温度较低的反应或者给定温度下速率加快的反应都是受到了等离子体的影响。

北京快乐8然而,在能量范围分布广泛的等离子体中,电子的激发或电离是没有选择性的。在一个等离子体系统中,大量各种各样的活性粒子会引发很多反应,而且在反应过程中,几乎不可能控制特别重要的、具有决定意义的粒子。

等离子体环境中,高能粒子可以将分子的共价键打断。在电子能量分布函数尾部的高能电子和非平衡等离子体中强局域电场的参与下,很可能实现新的化学反应。

等离子体环境对许多化学反应都有利。特定反应能否发生主要由输入的工艺参数决定,如气体种类、流速、压强、输入功率等。边界和基底之间也会发生多种反应。烧蚀和沉积的相对速率决定了相关的表面处理。当采用有机蒸汽作为工作气体时,就会发生等离子体聚合和沉积。在刻蚀和沉积过程中,材料表面与等离子体中原始的或新生产的组分发生反应,这意味着表面条件,如污染物、阻聚剂、阻档层、气体吸附等非常重要,会对过程动力及沉积的薄膜特性产生影响。

分子在等离子体中解离后变成高活性组分,然后这些活性组分再与有机化合物发生反应。氢原子既可以连接到双键上,也可以从其他分子中抽离原子。在氧等离子体中,电离和解离能形成多种组分。另外,还可以形成如O2(1△g)等亚稳态的组分。氧原子的主要反应是增加双键以及CH键转化成羟基或羧基。氮原子可以与饱和或不饱和的分子发生反应。

等离子体化学中一个有趣的发展方向是将原始的简单分子合成复杂的分子结构。典型的反应包括:异构化、消除原子或小的基团、二聚/聚合以及破坏原始材料等,例如甲烷、水、氮和氧等气体混合经过辉光放电,最终会得到生命的起源物质——氨基酸。等离子体中存在顺反异构化、成环或开环反应。除了单分子反应,还可以发生双分子反应。

 

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等离子刻蚀机-等离子蚀刻机 http://www.webboston.com/plasma-etching/ http://www.webboston.com/plasma-etching/#comments Sat, 09 Mar 2019 08:01:16 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3539 等离子刻蚀机,又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀,是干法刻蚀中最常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲,等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应,反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式,这种设计的是富有弹性的,用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法:反应性等离子体(RIE),顺流等离子体(downstream),直接等离子体(direction plasma)。

等离子刻蚀原理

感应耦合等离子体刻蚀法(Inductively Coupled Plasma Etch,简称ICPE)是化学过程和物理过程共同作用的结果。它的基本原理是在真空低气压下,ICP 射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈,以一定比例的混合刻蚀气体经耦合辉光放电,产生高密度的等离子体,在下电极的RF 射频作用下,这些等离子体对基片表面进行轰击,基片图形区域的半导体材料的化学键被打断,与刻蚀气体生成挥发性物质,以气体形式脱离基片,从真空管路被抽走。

等离子刻蚀机结构

ICP 设备主要包括预真空室、刻蚀腔、供气系统和真空系统四部分。

(1)预真空室

预真空室的作用是确保刻蚀腔内维持在设定的真空度,不受外界环境(如:粉尘、水汽)的影响,将危险性气体与洁净厂房隔离开来。它由盖板、机械手、传动机构、隔离门等组成。

(2)刻蚀腔体

刻蚀腔体是ICP 刻蚀设备的核心结构,它对刻蚀速率、刻蚀的垂直度以及粗糙度都有直接的影响。刻蚀腔的主要组成有:上电极、ICP 射频单元、RF 射频单元、下电极系统、控温系统等组成。

(3)供气系统

供气系统是向刻蚀腔体输送各种刻蚀气体,通过压力控制器(PC)和质量流量控制器(MFC)精准的控制气体的流速和流量。气体供应系统由气源瓶、气体输送管道、控制系统、混合单元等组成。

(4)真空系统

等离子刻蚀机系统构造图

 等离子刻蚀系统构造图

北京快乐8真空系统有两套,分别用于预真空室和刻蚀腔体。预真空室由机械泵单独抽真空,只有在预真空室真空度达到设定值时,才能打开隔离门,进行传送片。刻蚀腔体的真空由机械泵和分子泵共同提供,刻蚀腔体反应生成的气体也由真空系统排空

用于等离子体刻蚀的ICP源通常为平面结构,该方式容易获得可调的等离子体密度和等离子体均匀性分布,此外平面ICP源使用的介质窗也易于加工。石英和陶瓷是常用的介质窗材料。

此外感应耦合ICP源也存在容性耦合,介质窗作为线圈和等离子体之间的耦合层是作为一个电容器存在,在线圈的输出端电压达到2000V时,容性耦合将会形成。这个容性高压可以点燃和维持等离子体放电,另一方面,局部高压的形成也会导致介质窗的刻蚀,导致颗粒的产生或者造成晶圆的污染。为了减小容性耦合,通常采用法拉第屏蔽或者在线圈末端串联接地电容的方式。

等离子刻蚀一般应用于对器件或材料进行结构化处理,等离子刻蚀机就是实现这种功能的仪器。此外,科研领域甚至工业领域也常利用等离子对材料表面进行清洗来改变材料表面性能,相对应的仪器叫做等离子清洗机。作为材料领域的搬运工,我们对等离子刻蚀机所了解的可能不多,而对等离子清洗机则较为熟悉。事实上,等离子刻蚀机和等离子清洗机工作原理没有区别,只是应用的侧重点不一样而已。等离子刻蚀机一般应用于半导体加工领域,而等离子清洗机则一般应用于材料领域。等离子清洗处理可改变材料的表面化学。因此能改变材料的表面性质。例如,大气或是氧气等离子常用在聚合物(例如 聚苯乙烯, 聚乙烯)表面产生羟基。通常表面从疏水性(高水接触角)改变至亲水性(水接触角小于30度),并增加表面润湿性能。等离子处理也能改变其它材料的表面化学(表面性质),如硅、不锈钢及玻璃。

低温等离子体在适宜的工艺条件下处理PE、PP、PVF2、LDPE等材料,材料的表面形态发生显著的变化,引入了多种含氧基团,使表面由非极性、难粘性转为有一定极性、易黏性和亲水性,有利于粘结、涂覆和印刷。

]]> http://www.webboston.com/plasma-etching/feed/ 0 医疗器件的等离子体活化处理【三】 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-23/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-23/#comments Sat, 09 Mar 2019 07:33:21 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3535 有些时候,通过对体外材料的表面改性来增强培养细胞的黏附性和培养过程中细胞生长速率是十分必要的。在某些特殊情况下,细胞黏附效果是保证细胞繁殖的必要条件,经过等离子体表面改性后的体外细胞培养皿,在其表面的细胞繁殖速率明显比未处理的培养皿表面的细胞繁殖速率快。实验结果表明,聚酯、聚乙烯和K-树脂等材料经过等离子体改性后,其细胞附着性可明显提高。

医疗器件的等离子体活化处理

与其他材料相比,一些有机硅及聚氨酯等聚合物的表面摩擦系数较高。这种材料制成的器械经过等离子体表面处理后,在涂覆上一层低摩擦系数的聚合物,表面就会更加润滑。例如,等离子体表面改性后可调高医用导管表面上水凝胶涂层的黏附性,水凝胶涂层能降低医用导管与血管壁之间的摩擦。用于导尿管、呼吸气管和心血管的插管,或内窥镜/腹腔镜手术的仪器,以及用于眼科的材料,再与体液接触时应具有良好的疏滑特性,这样体液与这些光滑的医疗器械表面接触时,才不会黏附再其表面上。被电离的等离子体活化气体可以制造这样低摩擦系数的材料表面。这种低摩擦系数的医疗器械在插入病人体内或从体内取出时,会降低对病人黏膜的机械损伤以及减少病人的不适感。等离子体技术或等离子体技术结合其他技术,尤其是结合二甲苯聚合物涂覆技术,以成功在各种医疗器械的制造中得到了应用,如在眼科和影像外科手术中等。

通过薄膜沉积方法在塑料产品的表面沉积一个阻隔层,可以降低酒精、其他液体在塑料产品表面的渗透能力。例如等离子体处理后的高密度聚乙烯可以使这种聚乙烯材料对酒精的渗透能力降低10倍。由于血液与生物材料中的一些化学成分会发生相互作用,这种相互作用会导致血液凝固,危害人体,所以像硅橡胶、聚酯、聚四氟乙烯、聚氨酯、PVC等生物材料制成的与血液接触的植入物仅能在血液中停留很短的时间。例如,PVC血袋中的二辛脂邻苯二甲酸酯(DOP)和某些稳定剂会慢慢从PVC基底中释放出来,与血液互相反应从而引发血液凝固。等离子体对PVC材料处理后,在表面形成一层紧密交联的防渗薄膜,这层膜具有生物相容性,可以在一个较小的范围内调节膜的分散率,起控制稳定剂等物质传输的作用。

通过等离子体改性膜材料还可以提高对扩散物质的选择性。通常要膜材料在保持高渗透率的同时,还应该对渗透物质具有高选择性。结合化学作用或物理限制,通过控制孔的大小可以提高膜表面的选择性,血液透析、蛋白质纯化等生物分离过程都得益于这一技术的实施。

通常,具有诊断功能的生物传感器要求把酶或抗体等生物组分固定在传感器的表面。等离子体的接枝与表面功能化处理为生物组分和基底之间建立共价键合提供了便捷、高效的方法。

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医疗器件的等离子表面改性处理【二】 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-22/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-22/#comments Sat, 09 Mar 2019 07:25:47 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3531 等离子表面改性的另一个重要应用是促进细胞生长或蛋白质的结合,以降低血栓的生成。氟化的聚四氟乙烯涂层和从有机硅单体中提取的类有机硅涂层都具有血液相容性。薄膜中氟碳比(F/C比)、润湿性和存在形态,显然都与纤维蛋白原的吸收和存储息息相关,纤维蛋白原是一种存在于人体血液中并参与凝血过程的蛋白质。可以采用PECVD制备不同表面形态的类聚四氟乙烯薄膜。

医用器皿的等离子表面改性处理

通过等离子体聚合可以从有机硅单体中获取类硅烷薄膜。SiCHO复合物被用在血液过滤器中和聚丙烯的中空纤维膜中以涂覆活性炭的颗粒。血液灌流器是将患者动脉血液循环地引入血液灌流器中,使血液中的毒物、代谢产物被吸附净化,然后再输回体内。血液灌流器中的吸附剂包括活性炭、酶、抗原、抗体等。其中碳颗粒必须被聚合物薄膜包覆,以防止细小碳颗粒进入到血液中:同样,微孔聚丙烯血液氧合器也要涂上一层类硅烷聚合物薄膜,目的是为了降低聚丙烯表面的粗糙度,以减少对血液细胞造成的损伤。

肝素和类肝素分子,胶原蛋白、白蛋白和其他啊生命起源分子可被固定在聚合物表面上,发挥抗血栓的作用。因此,要使这些分子固定在聚合物的表面,那么就需要聚合物被激活,并对被接枝聚合的分子作出响应。这个过程主要以试验实证的方法为准,用的最多的接枝基团是NH2OH和—COOH,这些基团主要从非沉积供应原料NH3O2H2O中获取。

经过氨气等离子体处理后的材料表面会存在氨基功能团,它类似于肝磷酯,可作为抗凝剂的附着位点。这种等离子体在体外医用器皿上的应用实例有实验或药物生产的培养皿的清洗改性,以及微孔板的表面改性。这种表面改性还可以提高人体植入物的生物相容性。例如,通过提高血容性涂层与本体材料的黏合性能,改善人造血管、隐形眼镜、给药植入物的生物相容性。在某些应用中,若有必要的话,还可以通过材料表面处理来降低蛋白质或细胞的黏附性,如接触的隐形眼镜和人工晶状体材料。

很多材料都会促使蛋白结合,而导致血栓的形成。材料表面使用抗凝涂层后,可以有效较低表面凝血形成血栓的趋势,但是抗血栓涂料往往不能很好地与聚合物表面结合。采用等离子体中的活性自由基使材料表面通过肝素化或接枝抗栓官能团,来增加材料表面有效地化学键结合。材料表面改性的效果由一系列的因素决定,这些因素包括材料基底的选取、抗血栓涂料的成分构成和改性后的材料是用寿命。动物实验的结果表明,经过等离子体表面活化改性后,在涂覆一层肝素的聚氨酯导管,在使用30天后,没有出现蛋白附着的现象;只经过等离子体表面改性而无肝素涂层的聚氨酯导管,出现了少量的蛋白附着;而未经等离子体表面改性的导液管则出现了严重的血栓。与未经处理的血液过滤器相比,改性后的血液过滤大幅减少了血小板的附着量。

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等离子表面处理技术在医疗器件上的应用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-21/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-21/#comments Sat, 09 Mar 2019 07:16:37 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3526 在化学相容性或化学键合中表现出来的强界面作用力能增强两个表面之间的黏附性。通常聚合物具有较低的或中等能量的表面能,因此很难在其表面进行黏结或进行表面涂层。经氧等离子体表面处理后,聚丙烯的表面张力从29dyn/cm提高到了72dyn/cm,几乎达到接触角为零的全水吸附所需的数值。其他材料表面经过活化工艺,会使表面硝化、氨化或氟化。等离子体表面改性可以在表面形成如胺基、羟基、羰基、羧基等功能团,提高界面黏附力。医用导管、输液袋、透析过滤器和其他组件,以及医用注射针头、用于装血液的塑料薄膜袋和药袋的附着黏合都得益于等离子体对材料表面的活化工艺。

等离子清洗机

北京快乐8常规的清洗方法不会完美,常在清洗后会仍然残留薄薄的一层污染物。但如果采取等离子体活化工艺清洗,弱化学键将很容易被打断,即使污染物残留是在几何形状非常复杂的表面上,也照样可以去除掉。等离子体可以去除油膜、微观的秀菌或其他污染物,这些污染物是在储存过程中或前期制造工艺中,通过化学转化形成的高蒸汽压的挥发性气体黏附在材料表面形成的。注射成型添加剂、硅基化合物、脱模剂及部分被吸收的污染物可以通过等离子体放电清洗,能有效地从塑料、金属和陶瓷的表面去除。对后续制造产生干扰的塑料添加剂也可以通过等离子体去除,并且在这个去除过程中不会破坏或更改基底的属性。此外,采用等离子体清洗技术,还可以清洗及其敏感的仪器零件表面或植入物的表面。

等离子体可以改进表面的润湿性,降低大多数基底材料与水或其他液体的接触角。实验证明,材料只需要被等离子体处理几分钟就可以使其表面的水解除及哦啊降低至少2度。与血液过滤器或各种透析过滤薄膜一样,也包括透析过滤系统的微滤组件,等离子体同样也可以赋予织物或无纺布织物永久的清水性能。培养皿、滚瓶、微载体和细胞膜等细胞培养基质的表面均可以通过等离子体改性来大大提高其润湿性。通过控制表面的化学结构、表面能和表面电荷状态可以改善细胞生长情况、蛋白结合性能以及特定细胞附着性能。

等离子体处理无纺布或其他织物布料的表面,也可以使其具有疏水性。疏水性表现为拒水特性,当这种布料浸没在水溶液中时,不再通过毛细管效应吸水。这种技术同样也适用于某些材料,使其具有疏油性或使纸张、纺织品和过滤元件等具有疏水性。四氟化甲烷、六氟化硫、氟化烃等氟化物,可以用于诱使表面结构中氢原子被氟原子替代,形成类似聚四氟乙烯的结构,从而使材料表面具有疏水性、化学惰性以及高化学稳定性。

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等离子体注入能有效提高材料的生物相容性 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-20/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-20/#comments Fri, 08 Mar 2019 09:12:06 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3509 提高材料的生物相容性是等离子体离子注入的又一个成功应用,这可以单独采用等离子北京快乐8体注入或结合PVD或CVD工艺来实现。例如,标准的低温各向同性热解碳,在活体内呈现出强的影像形态血栓聚集,但经过PIII氧处理后的钛基生物材料,放入活体后,却并没有出现明显的血栓。采用氧离子轰击,来控制氧化物的生长,以便生成金红石相。此外,PIII处理后的LTI碳材料碳材料,其生物相容性也有了极大的提高,用此材料植入活体,其血小板密度大大减少。这可能是由于注入氮以后,形成了CN表面层的缘故。到目前为止,这些非常有希望的材料,还没有应用到常规的手术中,其中许多阻碍因素。例如,法律上的要求:“在把一个新型的人造材料植入到人体之前,需要进行长时间的测试和临床检验等规程”都需要一个合法的程序。

PII技术已经成功地用于非金属材料的离子注入。利用传统的离子注入时,非金属材料容易带电,而电荷会限制注入的剂量,这是因为静电会导致材料表面的离子被排斥,而在等离子环境中进行PII处理时,等离子体中的电子会自动完成电荷中和。

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等离子体电弧处理核废料 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-19/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-19/#comments Thu, 07 Mar 2019 08:41:43 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3494 核电站产生的放射线核废料为高度危险物质,人体暴露在核废料下可能致癌。核废料的放射毒性取决于多种因素,如物理半衰期、生物半衰期、核素可能富集的器官或组织对核辐射的敏感性、核素辐射的致电离功率(取决于放射性核素释放的辐射能量)等。据此,137铯、90锶、和131碘属于在人体寿命范围内具有最高危险性的放射性核素。其他具有长期危险性的核素还包括239镤。这些核素对子孙后代都将构成严重威胁。

等离子体处理核废料

核废料包括乏燃料、乏燃料后处理废水,以及高度放射性液体核废料浓缩形成的固形物。直到1000年后,放射性核裂变产物才会通过不同核反应路径衰变为各种无害稳定的元素。而超铀元素的衰变经过500000年才会达到同等水平。高浓度核废料所含大多数放射性同位素都为高辐射性物质,其半衰期特别长(有些同位素的半衰期甚至超过100000年)。上述核废料的放射性降低到安全水平需要漫长的时间。同时,受污染装备(手套箱、空气过滤器、屏蔽材料及实验室设备)、防护服、清洁抹布等数量巨大的核废料中的污染物质为含量极低的放射性元素,这些核废料为低放射性废弃物。经过洗消处理的退役核反应堆部件也属于低放射性核料范畴。低放射性废弃物所含放射性同位素的放射性水平较低、半衰期较短。上述废弃物储存10~50年后,大多数放射性同位素将衰减至安全水平,然后即可以将其作为普通废弃物进行处理。

等离子体处理核废料

核废料的安全处理是一个令人头疼的环境问题。高放射性核废料通常需要固封于鹏硅酸盐玻璃中,然后在受控储藏室内封存。乏燃料一般需要进行后处理。某些低放射性核废料与灰渣一起焚烧,然后存放于靠近地表的受控储藏室内。某些低放射性和中等放射性核废料(包括超铀核素污染物及退役核反应堆)至今仍未有成熟的处理办法。存在的主要问题包括:如何在处理时保证安全、如何确定废料最终产物的成分及结构、如何最小化废料最终产物的体积,以及如何达到各种放射性核废料储藏室的稳定性要求。

等离子体处理核废料

高浓度、具有长期危险性的放射性核素可封固与玻璃及陶瓷内部进行稳定。不同的玻璃/陶瓷材料对应的废料负荷各不相同。对于中等放射性废料,鹏硅玻璃的废料负荷为20%~30%。而类玄武岩玻璃陶瓷中的废料负荷则高达40%~100%。低放射性废料的废料负荷与普通污染物废气物类似,而采用类玄武岩玻璃陶瓷作为封固材料,则可以将低放射性废料和普通污染废弃物的体积降至最小。

等离子体电弧可将无机物和金属融入熔融玻璃或金属中,然后将其在储存罐内保存。对有机物则可实现改性和氧化。卤化物、硫化物及金属在气化后由废气收集系统收集。熔炉采用低温冷炉顶和废料喂料装置以防止挥发。气冷产物在淬冷和洗涤工序后,分别经过预过滤器、活性炭过滤器和高效空气粒子过滤器以达到环境法规要求。汞氘和C-14含量较高的废料则需进行特别处理。

玻璃化工艺的总体积缩减比超过100:1.几乎全部短期和长期放射性核素均在地质稳定期达数百万年的岩层中安全保存起来。此外,还有极少量放射性核素发生挥发或进入工艺废气中,随后压缩成为低放射性二级废料,埋置于接近地表的储藏室内。根据其组成成分和放射性水平,二级废料的形态可能为玻璃状、溶胶/凝胶状或水泥状。废料中富集的金属可进行分离,分离后的金属可作为屏蔽材料或容器材料循环使用,同时可以缩小工艺产物的体积。分离出的金属可通过熔渣/金属反应去除污染物质。受污染滤芯及其他工艺废弃物可投入熔炉中进行安全处理。

与处理工业垃圾或生活垃圾的等离子体电弧熔炉相比,用于处理放射性废料的熔炉尺寸较小。然而,使用规模较大的系统依旧可实现规模经济。近期公布的示范样机已经实现了低至13000美元/吨的处理成本。文献中提及的一套处理系统为美国阿尔贡国家实验室从1996年开始建造并运行的等离子体熔炉处理(PHP)系统。根据设计,PHP系统可处理容量为208L的封闭容器,由此可降低运输需求和运输成本、减少二级废弃物,同时降低工人暴露水平。

核废料的处理必须符合美国国家环保局颁布的严格环保法规的要求。地下水渗率试验采用美国环保局制定的《毒性特性渗率试验程序》。试验中,将核废料浸没在水中,然后检测渗率中的颗粒污染物浓度。长期耐久性试验则采用《产品均一性测试验程序》,该实验程序与TCLP类似,但暴露时间更长,从而精确检定污染物类别。

放射性废料处理系统必须确保在运行过程中不产生二次污染物。某些物质,特别是高蒸气压力有毒金属容易发生氧化,并进入炉渣。放射性核素可能渗入工艺废气,并形成新的污染物,必须对此进行附加处理。常见废气检测设备包括用于挥发性有机蒸汽检测的现场萃取式傅里叶变换干涉仪、用于金属蒸汽检测的激光感应衰变光谱测试仪等。

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等离子表面处理能有效提高涂层的粘接性能 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-18/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-18/#comments Thu, 07 Mar 2019 07:25:44 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3491 阻隔涂层在包装物的外部或内部均可使用,而具体选择哪种方式则要考虑很多因素。由于塑料内部分子的双轴取向内存在差异,因此一个PET容器的不同区域的气体渗透性也各不相同。此外,外部涂层更容易发生机械损伤。不过,为了增加涂层的抗刮伤性能,可以采用二次涂层工艺进行处理。内涂层的优点在于,可以防止包装瓶本省材料发生的变化影响食品性能,然而,由于内涂层与食品直接接触,因此必须考虑二者之间的相互作用。重复灌装瓶内壁的涂层则要求能经受住大强度的清洁处理,涂层可能在清洁过程中出现剥落。真空内涂层涂覆系统作业时,为防止瓶体被压裂,瓶体外部空间也需要抽成真空。

为了确保聚合物具有良好黏结性,同时增加其机械和光学性能,必须对其进行表面处理。决定真空沉积阻隔涂层特性的一个重要因素为涂覆处理前的基底表面条件。很多常用聚合物的表面能较低,因此很难通过涂层处理获得性能良好的阻隔层。采用高能离子、自由基、电子和中性粒子对材料表面进行处理,可以实现在材料表面上几个分子深度内的改性。表面改性工艺不仅可以去除附着于表面的污染物质(如有机物),还可以产生一些功能性极性基团,从而促进工价键联,并通过交联作用产生酬化效果。电晕放电技术常用于卷绕涂覆工艺中,对许多聚合物而言既有效又经济。近期研发的表面处理工艺则根据实际应用,在射频厂中对混合气体进行电离,并结合采用直流磁控管溅射技术,可对表面进行氧化、氮化、氨化或水解等处理,从而增强材料的表面能,提高其黏结性能。此外,所选材料的表面形态也会对阻隔层的性能产生重大影响。例如,光滑而平坦的基底更容易涂覆高质量的阻隔涂层,

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等离子表面处理在纺织品处理技术中的应用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-17/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-17/#comments Tue, 05 Mar 2019 09:33:18 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3483 纺织品制造是历史上最为悠久的产业之一,同时也是工业革命的重要组成部分。长期以来,为了满足不断变化的消费口味,并应对日趋严苛的环保压力,纺织业自身在不断地发展进步。在纺织业,等离子表面处理技术获得了新生,早期不成功的真空等离子表面处理方法已经被全新的常压等离子表面处理技术所代替。新技术可以改变制造和非织造织物表面性质,从而改进其性能。

等离子表面处理

纺织业的发展趋势

纺织业提供大批就业岗位,创造大量财富,同时对包括机械工程、聚合物材料、化工和燃料在内的多个产业发挥着巨大的影响力。20世纪90年代以来,纺织业的市场驱动力包括:对设计和创新性面料更为关注,以及工业化国家对新技术增加投入,从而逆转其纺织和服装业的长期颓势。早期成功打入西方市场的东亚新兴工业化国家开始发现,他们原有的位置已经开始被新一代发展中国家所挤占。在整个纺织业产业链中,公司和国家间不断发生着争夺市场份额的激烈竞争,在竞争中,技术发挥着关键性作用。多数拥有发达服装产业的国家均设有研发中心,从事着范围广泛的改进性研究和基础性研究工作。

等离子表面处理纺织基布

纺织业早已认识到,对许多加工工艺和应用而言,,面料的表面特性是一个关键的因素,对面料表面特性的具体要求往往与面料基布差别很大。面料表面特性的好坏不仅决定着面料的上染率和色牢度、织物后整理过程的繁简以及印花和涂层成本而且决定着涂层和织物基布间的黏结强度;此外,对于需要采用液体化学处理的医用植入物的消毒性能和生物相容性,表面特性也起着关键性作用。传统的面料处理工艺过程中会消耗大量能源和水资源,并造成严重的水污染,因此其造价高,并会对环境产生危害。由于传统的面料处理工艺对面料的表面和基布同时进行处理,会对面料的整体产品性能产生不利影响。因此,纺织行业急需采用替代性表面处理工艺,实现更低的生产成本和更环保的生产方式,从而生产出寿命更长、质量更好、性能更优的新型产品。

等离子表面处理

通过改变纤维面料表面的功能或形态,可以改进面料的某种特性以满足某种特定需求。通过在纤维表面进行刻蚀,可以使其表面出现微笑裂纹和裂隙,纤维表面的这些微笑刻蚀裂隙有助于提高面料的润湿性,从而实现更有效的浸染或深度染色。相反地,通过降低面料的润湿性可以实现面料防水效果。在面料表面上实现新的化学功能,可以促进表面与染料的反应,从而极大提高织物层间的黏附力。此外,还可能实现浆料的无水去除。上述实例只是等离子体北京快乐8面料表面处理技术的多种潜在应用中的几个案例而已。

通过等离子表面处理处理改变面料表面性能是一个非常复杂的过程。由等离子体中的粒子所诱发的反应,通常发生在距离材料表面10nm深度以内。等离子体中放射的短波紫外线辐射诱发反应的作用范围较深,位于距离表面100nm深度以内。等离子体的工作气体及其他工艺参数可以改变上述两类反应的相互关系及作用范围。面料最外层仅有几个原子厚度,其厚度往往小于1nm,然而却决定着面料与其他介质之间的相互作用特性。织物纤维表面最外层的化学成分决定着层间黏结力的高低,也决定着此种织物是否适宜浸染,而面料最外层的化学结构和成分则可以通过等离子体进行改性。要成功地实现表面处理,不仅需要采取正确的工艺参数,面料的原始表面特性也同样重要。例如,微量的表面上浆可极大改变反应条件。因此,在每个工艺过程中都必须认真考虑这一因素。

等离子表面处理已经应用于纺织面料的表面及基布改性,从而成功改进了从传统织物到先进复合面料在内的各种面料。实践证明,等离子表面处理技术可以改变纤维及面料的表面能,从而提高聚合物的染色率,并改善织物的色牢度和耐洗性。有研究表面,将各种热塑性纤维置于等离子体氛围中,其强度、韧性和防缩性都会得到改善。最近人们用等离子表面处理方法使纤维产生吸水性,并在织物表面沉积生成抗磨涂层。

相对于传统的化学湿法处理工艺,用等离子表面处理聚合物材料有众多优势。主要优势有如下几点。

1、等离子表面处理可以在不改变基布特性的前提下,只是改善材料的表面性能。

2、等离子表面处理可以很容易地改变聚合物的表面性能,但是采用化学湿法却无法改变或很难改变。

3、等离子表面处理是一个物理过程,因此化学物质的消耗量很少。

4、整个等离子表面处理过程是在一个干燥封闭的系统内完成的,可靠性高,安全性好。

5、等离子表面处理过程非常环保。

北京快乐8等离子体技术的另一个优势在于,它是一个物理过程。在纺织业中,传统的湿式化学处理不仅消耗水资源,还会造成严重的水污染。废弃物的治理成本很高,而且经过湿化学处理后的织物还学要烘干,其干燥过程也需要消耗大量的资源。因此,干式等离子表面处理工艺更具吸引力,特别是考虑到环境保护时更是如此。

 

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等离子表面处理-等离子活化 http://www.webboston.com/plasma-activation/ http://www.webboston.com/plasma-activation/#comments Mon, 04 Mar 2019 07:24:14 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3459 常压等离子处理是最有效的对表面进行清洗、活化和涂层的处理工艺之一,可以用于处理各种材料,包括塑料、金属或者玻璃等。

表面清洁、活化、涂层处理

表面清洁、活化、涂层处理

等离子处理机对表面清洗,可以清除表面上的脱模剂和添加剂等,而其活化过程,则可以确保后续的粘接工艺和涂装工艺等的品质,对于涂层处理而言,则可以进一步改善复合物的表面特性。使用这种等离子技术,可以根据特定的工艺需求,高效地对材料进行表面预处理

一、等离子处理机的活化原理

用空气或氧气等离子体中进行活化,塑料聚合物的非极性氢键被氧键替代,为表面提供自由价电子与液体分子结合,从而提高“非粘合性”塑料具有很好的粘合性和可喷涂性。在真空等离子体中,除了空气和氧气之外还可以使用其他气体,这些气体能够在氧气的位置吸附氮气、胺类或者羰基作为反应性基团。 等离子清洗机处理后表面的活性在几周和几个月之后仍然有效。但是,应该尽快进行后续加工,因为随着不断老化,会吸附新的脏污,活性丧失

二、等离子处理机的用处

1、等离子表面活化/清洗;2、等离子处理后粘合;3、等离子蚀刻/活化;4、等离子去胶;5、等离子涂镀(亲水,疏水);6、增强邦定性;7、等离子涂覆;8、等离子灰化和表面改性等场合。

等离子处理技术被广泛应用在对型材,包括塑料型材、铝型材或EPDM胶条的预处理中。等离子技术在汽车工业里的应用也越来越成熟。等离子预处理技术可以用在挤出生产线中,用来预处理塑料或弹性体型材,使它能够更好的完成后续工序,比如涂层或植绒等。等离子处理的作用是清洁和活化素材,由于等离子束能够有针对性的集中在需要处理的表面区域,复杂型材结构也能得到有效处理。

三、等离子处理系统的优点和特性

1、预处理工艺简单而又高效

2、即便是复杂的型材结构,都能进行有针对性的预处理

 

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大气压等离子清洗机 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-16/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-16/#comments Sat, 02 Mar 2019 09:36:04 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3452 大气压等离子清洗机应用于表面清洗、活化和涂层等离子处理是最有效的对表面进行清洗、活化和涂层处理工艺之一,可用于处理各种材料,包括塑料、金属或者玻璃等。

等离子处理机对表面清洗具有很好的清洁作用,可以清除表面上的脱模剂和添加剂等,而其活化过程,则可以确保后续粘接工艺和涂装工艺的品质,对于涂层处理而言,则可以进一步改善复合物的表面特性。使用这种等离子技术,可以根据特定的工艺要求,高效地对材料进行表面预处理。

大气压等离子清洗机适用于

涂装表面等离子预处理技术提高工艺品质

等离子体北京快乐8处理提高印刷工艺表面附着力

大气压等离子清洗机可按照客户生产需求来定制特殊的生产线,欢迎咨询我们,东信高科专业的大气压等离子清洗机生产厂家。

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COG等离子清洗机 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-cog/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-cog/#comments Fri, 01 Mar 2019 01:24:50 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3427 什么是COG等离子清洗,COG等离子清洗介绍在这样的封装与组装工艺中,最大的问题是粘结填料处的有机物污染和电加热中形成的氧化膜等。由于在粘结表面有污染物存在,导致这些元件的粘接强度降低和封装后树脂的灌封强度降低,直接影响到这些元件的组装水平与继续发展。为提高与改善这些元件的组装能力,大家都在想尽一切办法进行处理。提高实践证明,在封装工艺中适当地引入等离子清洗技术进行表面处理,COG等离子清洗,可以大大改善封装可靠性和提高成品率。

在玻璃基板(LCD)上安装裸芯片IC的COG工艺过程中,当芯片粘接后进行高温硬化时,在粘结填料表面有基体镀层成分析出的情况。还时有Ag浆料等连接剂溢出成分污染粘结填料。如果能在热压绑定工艺前用等离子清洗去除这些污染物,则热压绑定的质量能够大幅提升。进一步说,由于基板与裸芯片IC表面的润湿性都提高了,则LCD—COG模块的粘结密接性也能提高,同时也能够减少线条腐蚀的问题。

LCD的COG组装过程,是将裸片IC贴装到ITO玻璃上,利用金球的压缩与变形来使ITO玻璃上的引脚与IC上的引脚导通。由于精细线路技术的不断发展,目前已经发展到生产Pitch为20μm、线条为10μm的产品。这些精细线路电子产品的生产与组装,对ITO玻璃的表面清洁度要求非常高,要求产品的可焊接性能好、焊接牢固、不能有任何有机与无机的物质残留在ITO玻璃上来阻止ITO电极端子与IC BUMP的导通性,因此,对ITO玻璃的清洁显得非常重要。在目前的ITO玻璃清洁工艺中,大家都在尝试利用各种清洗剂(酒精清洗、棉签+柠檬水清洗、超声波清洗)进行清洗,但由于清洗剂的引入,会导致由于清洗剂的引入而带来其他的相关问题,因此,探索新的清洗方法成为各厂家的努力方向。通过逐步的试验,利用等离子清洗的原理来对ITO玻璃进行表面清洁,是比较有效的清洁方法。

在对液晶玻璃进行的等离子清洗中,使用的活化气体是氧的等离子体,它能除去油性污垢和有机污染物粒子,因为氧等离子体可将有机物氧化并形成气体排出。它的唯一问题是需要在去除粒子后加入一个除静电装置,其清洗工艺如下: 吹气–氧等离子体–除静电    通过干式洗净工艺后的LCD及其电极端子ITO,洁净度、粘结性得到大大改善。 清洗过程如下: 清洗前——等离子照射——清洗后 。

下面是经过等离子清洗前后的效果差别 

1.使用设备: 等离子大气压等离子清洗机;气体:无油干燥空气

2.将20pcs IC Bump向上放置(粘在黄胶纸上),进行Plasma清洗,然后再将IC正常热压到LCD上,进行测试,观察产品显示状况。

3.将23pcs显示白条,并且未封硅胶的产品,进行Plasma清洗,然后再测试,观察白条显示状况。

4。取2pcs显示OK的产品,在同一位置裸露的ITO上沾上汗渍(不戴手套,直接戴手指套,约15分钟后手指套内的汗渍),将其中1pcs进行Plasma清洗,然后产品一起通电,观察腐蚀状况(车间温度管控范围:22℃+/-6℃,湿度控制范围55%+/-15%)。 产品A经过等离子清洗;产品B不进行等离子清洗。通过连续的通电实验(200小时)后,情况如下:产品A在通电71。5H时出现第一条缺线,通电77H时出现第二条缺线; 而产品B在通电4。5H时,显示缺四条线。

从上面的实验数据可以看出:

1、等离子清洗时产生的静电不会对产品造成不良;

2、等离子可清洗ITO表面的微量导电脏污,可以改善由于漏电导致的白条现象;

3、等离子清洗可以降低被污染产品的腐蚀速度和腐蚀程度。

从上面的原理分析及实验数据可以得出: 等离子清洗机可用于LCD玻璃及LCD—COG半成品玻璃组装过程的清洗,来改善产品的质量及其稳定性

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常压等离子清洗机 http://www.webboston.com/ap-plasma/ http://www.webboston.com/ap-plasma/#comments Wed, 27 Feb 2019 08:43:32 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3420

名称

常压等离子清洗机

型号

TS-AP系列

外形尺寸

根据需求定制

等离子喷枪

一套

射频电源

一套

传输系统

根据需求定制

电气系统

一套

陶瓷封装

一套

输出功率

0。6-1kw

加工宽度

根据需求定制

常压等离子清洗机特点:

可以通过机器人自动进行
可以植入到现有的制造流程中
对复杂的沟槽结构选择处理
生产过程中100%的工艺安全
最少的维护

常压等离子清洗机主要适用于:

等离子体对材料表面处理,基本有以下几大功效
活化:大幅度提高表面的浸润能力,形成活性的表面
清洁:去除灰尘和油污,精细清洗和去静电
涂层:通过表面涂层处理,提供功能性的表面
提高表面附着力,提高表面粘接的可靠性和持久性

采用常压等离子清洗机清洗后无论是各类高分子塑胶、陶瓷、玻璃、PVC、纸张还是金属等材料都获得表面能的提高。通过这样的处理工艺,制品材料表面张力特性的改善提升,更适合工业方面的涂覆、粘接等处理要求。

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实验室等离子清洗机 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-15/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-15/#comments Tue, 26 Feb 2019 08:15:33 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3411

名称

实验室等离子清洗机

型号

北京快乐8TS-PL-SERIES

反应腔容量

2L/5L/10L

反应腔体材料

进口316不锈钢

真空泵

进口4L/S

角阀

北仪 超真空40KF

射频电源

东信 40KHZ 100KHZ 13.56MHZ 2.45GHZ

PLC系统

松下

电气系统

施耐德

触摸屏

松下4。3寸 显控

陶瓷封装

进口高频陶瓷

处理气体

O2、Ar2、N2,H2、CF4

输出功率

0-600W可调

实验室等离子清洗机产品特点

进口316不锈钢材质密封性卓越的真空腔体设计,军工级的高真空度真空腔体设计及制造工艺,并配置进口技术真空泵运行。

原装进口电源:采用原装进口电源电路技术,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果,40kHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配。

独有放电技术:特殊处理及特殊结构的放电装置,确保形成稳定均匀的等离子体。

高精度气体流量监测系统,两种工艺气体配置北京快乐8,双路气流控制,,比例可调,采用高精度浮子流量计、美国世维洛克气体管路及阀件。

自主研发的低压(真空)等离子清洗机软件系统,性能稳定可靠,操作简单,便于维护,高效便捷。

强大的全面安全防护系统:温度安全防护功能,过载防护功能,短路断路报警防护功能,各种误操作保护功能。

优质产品部件:产品部件采用国内外顶尖优质品牌,确保设备性能优越。

数字计时单元:0~99.9小时选择范围时间显示,处理过程结束后自动终止

精密数控加工:进口精密CNC数控机床加工工艺,并经过进口三坐标测量仪进行质量监控。

适用形状复杂样品:清洗各种复杂形状的产品,包括内孔内壁,全方位均匀清洗。

处理全程无污染 ,等离子清洗机本身是很环保的设备,无产生任何污染,处理过程也无产生任何污染。可以与原有生产流水线搭配,实现全自动在线生产,节约人力成本。

实验室等离子清洗机采用电感耦合式工作原理,在微波管、零件绝缘方面作用很突出,适用于高洁净度的敏感产品处理;广泛地被大中院校、科研机构、企业研发机构,实验室和企业小批量试产阶段采用。其产品主要应用在材料科学、高分子科学、生物医药材料学、微流体研究、微电子机械系统研究、光学、显微术、牙科医疗等领域中的污染物清除、表面活化、粘合前处理、表面化学改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料,并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。

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等离子体发光球 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-14/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-14/#comments Mon, 25 Feb 2019 09:21:12 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3404 等离子体在照明和广告行业获得广泛应用的同时,在过去30多年间,有数位艺术家也在利用等离子体放电效应作为艺术表现的工具。等离子体艺术的创始人可追溯到特斯拉谐振变压器(或称特斯拉线圈)等技术的发明人尼古拉·特斯拉。特斯拉最初发明的是等离子体发光球,或称等离子体求、闪电球或星云球等。等离子体发光球发出的光带若隐若现而变化莫测,神秘氤氲而令人迷醉。有一种成功的商业等离子体发光球产品名为“风暴之眼”。

等离子体发光球

等离子体发光球的外部为一个真空玻璃球罩,内有一个中心电极。一般情况下,球内充有压强为1~100torr的惰性气体。中心电极通常由钢绵制成,目的是为了在电场中形成一个局部高场强区域。发光球采用高频高压电源,商业化产品的电压一般为数千伏,频率从几千赫兹到几万赫兹不等。高电压击穿空气后,产生多条彩色光带,而采用高频设计,电流可在容性耦合作用下穿透玻璃并进入周围空气中。

为了形成所需光束,球内应保持高气压状态。丝状等离子体被加热后,在浮力作用下,光带随机上升到球体边缘。同时,温度较高的边缘区域具有较高的导电率,因此光带能够保持稳定,直至受到不稳定因素影响而解体。电荷聚集在电荷运行轨迹没有到达的位置,直至该处也被电离。随后,雾状区域内的电荷载体随即发生崩塌,成为一条离子轨迹。离子轨迹具有良好的导电性,是电流能够流向电路接地端而释放掉电荷。该区域发生放电后,离子轨迹随之消失,或沿着某一方向迁移至其他区域,该区域随后被充电。在发光球内部有足够电流的情况下,离子轨迹将一直存在下去。

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大型等离子清洗机 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-13/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-13/#comments Sat, 23 Feb 2019 08:57:14 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3394

名称

大型等离子清洗机

型号

TS-PL700MA

外形尺寸(W×D×H)

1400×650×800mm

反应腔尺寸(W×H×D)

2300×1250×1850mm

真空腔体材料

进口316L不锈钢

真空泵

进口品牌、二级泵

18L/S(干泵+罗茨组合)

     (油泵+罗茨组合)

角阀

 Youch 超高真空60KF

流量控制仪及显示仪

Sevenstar 0-800ml/min

真空显示规管及读取器

Pirani

射频电源

美国进口品牌 40KHZ 100KHZ 13。56MHZ 2。45GHZ

PLC系统

三菱(包括PLC,A/D模组两组,D/A模组两组,温度模块)

电器系统

施耐德

变频器

西门子2KW

触摸屏

台湾威纶真彩10.7寸

陶瓷封装

进口高频陶瓷

处理气体

O2、Ar2、N2,H2、CF4

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滚筒式等离子清洗机 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-10/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-10/#comments Sat, 23 Feb 2019 01:58:32 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3384

名称

滚筒式等离子

型号

TS-PX05

机架

一套

腔体

一套

真空泵

一组

角阀

一套

真空显示规管

一台

射频电源

一套

PLC

一套

电气系统

一套

触摸屏

一套

陶瓷封装

一套

处理气体

O2、Ar2、N2,H2、CF4

输出功率

0-600W可调

滚筒式等离子清洗机产品特点

原装进口电源:采用原装进口电源电路技术,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果。

全面安全防护:温度安全防护功能,过载防护功能,短路断路报警防护功能,各种误操作保护功能。

独有放电技术:特殊处理及特殊结构的放电装置,确保形成稳定均匀的等离子体。

密封性卓越的真空腔体设计:军工级的高真空度真空腔体设计及制造工艺,并配置进口技术真空泵运行。

优质产品部件:产品部件采用国内外顶尖优质品牌,确保设备性能优越。

精密数控加工:进口精密CNC数控机床加工工艺,并经过进口三坐标测量仪进行质量监控。

适用形状复杂样品:清洗各种复杂形状的产品,包括内孔内壁,全方位均匀清洗。

滚筒式等离子清洗机广泛应用于

北京快乐81.等离子表面活化/清洗; 2。等离子处理后粘合;

3. 等离子蚀刻/活化; 4. 等离子去胶;

5。 等离子涂镀(亲水,疏水); 6。 增强邦定性;

7。等离子涂覆; 8。等离子灰化和表面改性等场合。

北京快乐8通过其处理,能够改善材料表面的浸润能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂

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等离子清洗机使用范围 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-12/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-12/#comments Fri, 22 Feb 2019 06:28:20 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3375 等离子清洗机的使用范围非常广泛,等离子清洗作为一种精细的表面清洗技术,在各行各业均有使用,等离子清洗主要应用在等离子刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂,清洗作为工业处理过程中的一道重要工序,也越来越受到人们的关注。下面就为大家介绍一下,等离子清洗机的一些具体使用范围。

油质污染物的清洗,黏合前的清洗。执行行星探测任务的航天器的清洗,等离子体清洗在标记和印刷行业的应用,食品容器的消毒和除臭,去除生物污染物,等离子清洗机清洗美术作品,等离子清洗机清洗化学考古文物。

等离子清洗机在生物材料-聚合物材料的表面改性方面也有很多应用,例如医疗器件的等离子体处理,等离子体杀菌消毒也有应用。

等离子清洗机在纺织品领域的应用如下:
等离子体处理纺织基布
等离子体活化染整工艺
连续纤维的表面处理技术
等离子体工艺在工业纺织品
等离子体工艺处理无纺布
北京快乐8 有机聚合物表面金属涂层

等离子清洗机在玻璃化PET涂层中的应用如下:
食品包装
卷绕涂覆工艺
包装瓶涂覆工艺

等离子清洗机在微电子器件中的使用如下:
微电子器件的等离子体处理
半导体器件制造中的刻蚀工艺

等离子清洗机在汽车制造领域的使用如下:
车灯
密封条
汽车内饰件
汽车外饰件
挡风玻璃
动力系统
汽车电子

等离子清洗机在运输工程领域的使用如下:
航空
造船
卡车/拖车
移动房屋
摩托车

等离子清洗机在电子电子领域的使用如下:
显示器
印刷线路板
晶圆、芯片、手机

等离子清洗机在新能源领域的使用如下:
太阳能系统
风力发电
电动汽车
能源效率

以上就是等离子清洗机的主要使用范围,当然等离子清洗作为一种先进的表面处理技术,随着新材料,新工艺的出现等离子清洗的应用范围只会越来越大.

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小型石英腔等离子清洗机TS-SY05 http://www.webboston.com/vacuum-plasma-cleaner/ http://www.webboston.com/vacuum-plasma-cleaner/#comments Fri, 22 Feb 2019 01:58:05 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3364

名称

石英真空等离子清洗机

型号

TS-SY05

外形尺寸(W×H×D)

660×400×310mm

反应腔尺寸

Φ160×220mm

反应腔容量

5L

反应腔体材料

石英

真空泵

进口4L/S

角阀

北仪 超真空40KF

射频电源

东信 40KHZ 100KHZ 13.56MHZ 2.45GHZ

PLC系统

松下

电气系统

施耐德

触摸屏

松下4.3寸 显控

陶瓷封装

进口高频陶瓷

处理气体

O2、Ar2、N2,H2、CF4

输出功率

0-600W可调

小型石英腔等离子清洗机产品特点

石英腔等离子清洗机由于其独特的腔体材料,使得等离子清洗机的腔体温度比普通的不锈钢腔体温度要低得多。对于材料温度有要求的产品很有帮助。而且石英等离子清洗机绿色环保、不使用化学溶剂、无二次污染。操作简单、使用和维护成本极低。

石英型等离子清洗器采用电感耦合式工作原理,利用真空泵达到一定的真空值后,在电感的作用下,形成了活性很高的等离子体,由此产生的等离子体可以达到表面改性清洗处理的效果。通过其处理,能够改善材料表面的浸润能力,使多种材料能够进行等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。

小型石英腔等离子清洗机行业运用

石英型等离子清洗器采用电感耦合式工作原理,在微波管、零件绝缘方面作用很突出,适用于高洁净度的敏感产品处理;广泛地被大中院校、科研机构、企业研发机构和实验室采用。

其产品主要应用在材料科学、高分子科学、生物医药材料学、微流体研究、微电子机械系统研究、光学、显微术、牙科医疗等领域中的污染物清除、表面活化、粘合前处理、表面化学改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料,并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。

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等离子清洗机耗材 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-11/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-11/#comments Wed, 20 Feb 2019 03:15:48 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3344 等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。

等离子清洗机的耗材几乎是没有的

主要的损耗在真空泵维护方面,真空泵需要定期加油,更换过滤芯等。

北京快乐8如果清洗的产品需要用到反应气体的话,那么气体也算等离子清洗机耗材之一。但是不是所有的工艺都会用到气体,如果客户选用干泵,非油泵,那也没什么损橇了。

这些基本上是三个月一观察,根据情况去补充的,其它机体密封性什么的,都是一年半载,依观察老化情况决定是否更换。

总体来说,基于水加溶剂的传统清洗方法,尽管看起来便宜,但需要耗费大量的能源和环境为代价。这种方法的干燥过程非常缓慢,还需要消耗大量的能源。等离子体清洗技术消除了采用湿化学方法清洗中存在的各种危险,在清洗过程中也没有废液产生,传统清洗技术中所使用的化学试剂会对环境造成很大的危害,等离子体辅助清洗是一种能有效替代化学清洗的技术,是一种环境友好型的清洗技术,既安全又环保。而且等离子清洗机耗材跟传统清洗方法相比简直就是微乎其微。

等离子体清洗技术目前已经被广泛应用在金属、聚合物和陶瓷表面的清洗处理,对混合电路和印刷电路板表面残留金属物的去除,生物医学植入材料表面的消毒和清洗,硅晶片表面的清洗和考古文物的修复清洗等领域。

等离子清洗机操作示范:http://www.webboston.com/video/

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plasma清洗机 http://www.webboston.com/plasma-cleaner/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner/#comments Tue, 19 Feb 2019 01:32:20 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3321

名称

真空等离子清洗机

型号

TS-PL60MA

外形尺寸(W×H×D)

1150mm×880mm×1600mm

反应腔尺寸(W×H×D)

400×400×450mm

真空腔体材料

进口316不锈钢

真空泵

进口4L/S

角阀

北仪 超真空40KF

流量控制器及显示仪

sevenstar  0-800ml/min

真空显示规管及读取器

Pirani

射频电源

美国品牌 40KHZ、100KHZ 13。56MHZ 、2。45GHZ

PLC系统

北京快乐8三菱(包括PLC,A/D模组两组,D/A模块两组,温度模块)

电气系统

施耐德

变频器

西门子2KW

触摸屏

台湾威纶真彩10。7寸

陶瓷封装

进口高频陶瓷

处理气体

O2、Ar2、N2,H2、CF4

,英文叫(Plasma Cleaner)又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,,等离子表面处理机,电浆清洗机,plasma清洗机,,等离子清洗设备。适合各种基片、粉体或颗粒状材料的等离子表面改性处理,包括:等离子清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。

plasma清洗机产品特点

1.环保技术:等离子体作用过程是气- 固相干式反应 ,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。

2.广适性:不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理;

3.温度低:接近常温,特别适于高分子材料,比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。

4.功能强:仅涉及高分子材料浅表面(10 -1000A ),可在保持材料自身特性的同时,赋予其一种或多种新的功能;

5.低成本:装置简单,易操作维修,可连续运行,往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。

6.全过程可控工艺:所有参数可由PLC设置和数据记录,进行质量控制。

7.处理物几何形状无限制:大或小,简单或复杂,部件或纺织品,均可处理。

plasma清洗机广泛应用于

1。清洗Cleaning:去除材料表面的污染物和残留物

2.粘接Bonding:促进材料的粘合度

3。吸附Adhesion:利于材料表面进行涂层,涂漆等处理

4。聚合Polymerization:通过气态单体实现聚合

5。活化Activation:改变表面特性从而实现新的功能

 

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等离子清洗机气体通入的作用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-9/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-9/#comments Mon, 18 Feb 2019 06:41:20 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3308 在利用等离子清洗机清洗物体前首先要对清洗的物体和污物进行分析,然后进行气体的选配。等离子清洗机中气体通入一般来说有两个目的,依据等离子的作用原理可将选配气体分为两类,一类是氢气和氧气等反应性气体,其中氢气主要应用于清洗金属表面的氧化物,发生还原反应。等离子清洗机通氧气主要应用于清洗物体表面的有机物,发生氧化反应。

另一类是等离子清洗机通氩气、氦气和氮气等非反应性气体,氮等离子处理能提高材料的硬度和耐磨性。氩气和氦气性质稳定,并且放电电压低(氩原子的电离能E为15.57 eV)易形成亚稳态的原子,一方面等离子清洗机利用其高能粒子的物理作用清洗易被氧化或还原的物件, Ar+轰击污物形成挥发性污物被真空泵抽走,避免了表面材料发生反应;另一方面利用氩气易形成亚稳态的原子,再与氧气氢气分子碰撞时发生电荷的转换和再结合,形成氧氢活性原子作用于物体表面。

等离子清洗机在清洗表面氧化物时用纯氢虽然效率高,但这里主要考虑放电的稳定性和安全,在等离子清洗机应用时选用氩氢混合较为合适,另外对于材料易氧化或易还原的材料等离子清洗机也可以采用颠倒氧气和氩氢气体的清洗顺序来达到清洗彻底的目的。

常见的等离子清洗机中气体应用的实例

一、金属表面去油及清洁

金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层,在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。 在这种情况下的等离子处理会产生以下效果:

氧化物去除

金属氧化物会与处理气体发生化学反应

这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面5分钟,第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。

二、等离子刻蚀

在等离子刻蚀过程中,通过处理气体的作用,被刻蚀物会变成气相(例如在使用氟气对硅刻蚀时,下图)。处理气体和基体物质被真空泵抽出,表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来(例如半导体行业用铬做覆盖材料)。

等离子方法也用于刻蚀塑料表面,通过氧气可以灰化填充混合物,同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的,如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。

三、刻蚀和灰化

PTFE刻蚀

PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知,使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力,但是这种方法不容易掌握,同时溶液是有毒的。使用等离子方法不仅仅保护环境,还能达到更好效果。

等离子结构可以使表面最大化,同时在表面形成一个活性层,这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。

PTFE混合物的刻蚀

PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行,以免填充物被过度暴露,从而削弱粘合力。

处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。

四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁

塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的,因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时,玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面,不会产生有毒烟气,中空和带缝隙的样品也可以处理。

常用的等离子清洗机处理气体为:空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等

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超声波清洗机原理 http://www.webboston.com/ultrasonic-cleaner-1/ http://www.webboston.com/ultrasonic-cleaner-1/#comments Sat, 16 Feb 2019 06:47:29 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3291 超声波清洗原理是基于空化作用,即在清洗液中无数气泡快速形成并迅速内爆。由此产生的冲击将浸没在清洗液中的工件内外表面的污物剥落下来。随着超声频率的提高,气泡数量增加而爆破冲击力减弱,因此,高频超声特别适用于小颗粒污垢的清洗而不破环其工件表面。空化泡的扩大以及爆裂(内爆)气泡是在液体中施加高频(超声频率)、高强度的声波而产生的。因此,任何超声清洗系统都必须具备三个基本元件:盛放清洗液的槽、将电能转化为机械能的换能器以及产生高频电信号的超声波发生器。

超声波清洗机

北京快乐8超声波是频率高于20000赫兹的声波,它方向性好,穿透能力强,易于获得较集中的声能,在水中传播距离远,可用于测距、测速、清洗、焊接、碎石、杀菌消毒等。在医学、军事、工业、农业上有很多的应用。超声波因其频率下限大约等于人的听觉上限而得名。

下面就为大家介绍下其工作的主要环节和步骤,超声波清洗机如何工作的原理及知识。超声波清洗机原理主要是通过换能器,将功率超声频源的声能转换成机械振动,通过清洗槽壁将超声波辐射到槽子中的清洗液。由于受到超声波的辐射,使槽内液体中的微气泡能够在声波的作用下从而保持振动。

超声波清洗机

北京快乐8当声压或者声强受到压力到达一定程度时候,气泡就会迅速膨胀,然后又突然闭合。在这段过程中,气泡闭合的瞬间产生冲击波,使气泡周围产生1012-1013pa的压力及局调温,这种超声波空化所产生的巨大压力能破坏不溶性污物而使他们分化于溶液中,蒸汽型空化对污垢的直接反复冲击。

一方面破坏污物与清洗件表面的吸附,另一方面能引起污物层的疲劳破坏而被驳离,气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗,污层一旦有缝可钻,气泡立即“钻入”振动使污层脱落,由于空化作用,两种液体在界面迅速分散而乳化,当固体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表面时,油被乳化、固体粒子自行脱落,超声在清洗液中传播时会产生正负交变的声压,形成射流,冲击清洗件,同时由于非线性效应会产生声流和微声流,而超声空化在固体和液体界面会产生高速的微射流,所有这些作用,能够破坏污物,除去或削弱边界污层,增加搅拌、扩散作用,加速可溶性污物的溶解,强化化学清洗剂的清洗作用。由此可见,凡是液体能浸到且声场存在的地方都有清洗作用,其特点适用于表面形状非常复杂的零件的清洗。尤其是采用这一技术后,可减少化学溶剂的用量,从而大大降低环境污染。

第二超声波在液体中传播,使液体与清洗槽在超声波频率下一起振动,液体与清洗槽振动时有自己固有频率,这种振动频率是声波频率,所以人们就听到嗡嗡声。

另外,在超声波清洗过程中,肉眼能看见的泡并不是真空核群泡,而是空气气泡,它对空化作用产生抑制作用降低清洗效率。只有液体中的空气气泡被完全拖走,空化作用的真空核群泡才能达到最佳效果。

空化效应

在液体中传播的超声波能对物体表面的污物进行清洗,其原理可用“空化”现象来解释:超声波振动在液体中传播的音波压强达到一个大气压时,其功率密度为0。35w/cm2,这时超声波的音波压强峰值就可达到真空或负压,但实际上无负压存在,因此在液体中产生一个很大的力,将液体分子拉裂成空洞一空化核。此空洞非常接近真空,它在超声波压强反向达到最大时破裂,由于破裂而产生的强烈冲击将物体表面的污物撞击下来。这种由无数细小的空化气泡破裂而产生的冲击波现象称为“空化”现象。

清洗介质

采用超声波清洗,一般有两种清洗剂:化学清洗剂和水基清洗剂。清洗介质是化学作用,而超声波清洗是物理作用,两种作用相结合,以对物体进行充分、彻底的清洗。

功率密度

北京快乐8超声波的功率密度越高,空化效果越强,速度越快,清洗效果越好。但对于精密的、表面光洁度甚高的物体,采用长时间的高功率密度清洗会对物体表面产生“空化”腐蚀。

频率

超声波频率越低,在液体中产生空化越容易,作用也越强。频率高则超声波方向性强,适合于精细的物体清洗。

一般来说,超声波在30℃~40℃时空化效果最好。清洗剂则温度越高,作用越显著。

通常实际应用超声波清洗时,采用40℃~50℃的工作温度。

清洗特点

北京快乐8“超声波清洗工艺技术”是指利用超声波的空化作用对物体表面上的污物进行撞击、剥离,以达到清洗目的。它具有清洗洁净度高、清洗速度快等特点。特别是对盲孔和各种几何状物体,独有其他清洗手段所无法达到的洗净效果。

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利用等离子清洗机来进行微流控PDMS芯片的等离子体键合 http://www.webboston.com/pdms/ http://www.webboston.com/pdms/#comments Fri, 15 Feb 2019 07:34:58 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3252 微流控PDMS芯片通常采用等离子体处理的方法来获得。采用等离子清洗机来键合微流控PDMS芯片,不同的工艺参数将会影响到PDMS芯片的键合强度。良好的键合牢固的芯片的耐压强度可以达到3-5 bars的耐压值。下面简要介绍一下PDMS-玻璃采用等离子清洗机进行键合需要注意的一些问题点以及如何检验利用等离子北京快乐8清洗机进行处理后的处理效果。

玻璃/PDMS等离子体键合

北京快乐8为了永久性的把PDMS芯片结合到玻璃片上,研究人员使用等离子清洗机来改变玻璃和PDMS的表面性质。等离子体处理将会改变玻璃和PDMS芯片表面的化学性质并允许把带有微通道的PDMS粘接到其他基底上如(PDMS或玻璃)。

如果等离子体键合步骤出错,芯片将会漏液并且将无法正常使用。在等离子清洗机选择和使用上,需要留意几个重要的地方。

玻璃和PDMS成功等离子键合的相关参数

等离子清洗机腔室内的空气污染

等离子室内的气体组分会改变玻璃或PDMS表面上的化学连接。一些杂质(即使有非常低的数量)也会污染样品表面。最常见的污染是来自真空泵或压缩机的油分子。由于等离子体清洗机腔室内的油分子,您可能也会看到和以前出现的等离子体相同的等离子体,但是化学组分发生了变化,因而PDMS不会键合的很牢固。

气体的选择

表面态取决于所使用的气体。腔室内大气等离子体在大多数情况下都可以满足实验需求。有些研究人员喜欢使用纯O2来控制腔室内总的气体组分,但是需要更多的设备及加工过程更加严格。

灰尘

表面上灰尘的存在会阻止玻璃-PDMS的等离子体键合。此外,磁盘上灰尘的位置和大小也会影响PDMS的硬度。第一次清洗,至少需要一个清洁干燥的空气喷射来冲洗磁盘或硅片。当然,也有其它的方法来移除灰尘,您可以使用3M透明胶带来移除表面的颗粒或更为有效的是您还可以把芯片放置在异丙醇溶液(IPA)内并且使用超声波来分离表面和PDMS孔洞内部的不需要的颗粒。为了清洗干净玻璃,可以先后连续使用丙酮、异丙醇、水来进行清洗然后再进行干燥处理。

PDMS芯片键合专用等离子清洗机

等离子体的强度及其稳定性

一个良好质量的等离子体的指标通常是它的颜色/亮度(取决于真空度和气体)。因为可能会发生变化,你需要记住的是,如果在相同的参数下,等离子体颜色发生了变化,那么等离子体可能就出现了问题。

PDMS芯片键合专用等离子清洗机

处理样品的表面性质

等离子体是可以改变物质表面性质的一种设备,所有的污染都将会高度影响表面处理的最终结果。与流行的看法相反的是对于玻璃-PDMS的等离子键合,更长的处理时间不会改善表面的属性(某些非常特殊的情况除外),例如脂肪的存在(手印)将会导致有关表面上的处理失败。

等离子体处理时间

时间是表面处理和键合成功的一个关键因素。太短等离子体处理时间不会使整个表面发生功能化而太长等离子体处理时间会强烈的改变PDMS表面的性能。等离子体被激活的时间越长,PDMS表面越粗糙而且还会影响到粘接性能。

PDMS芯片键合专用等离子清洗机

等离子体处理后的时间

等离子体处理后,表面的化学键开始重组,而且几分钟后,表面的功能化活性下降从而导致玻璃-PDMS等离子体键合强度下降。鉴于这个原因,必须在等离子体处理后立即做键合,不要在等离子体清洗机放气之后还让样品留在等离子体腔室内,需要快速的将玻璃-PDMS放在一起。

热烘以提高玻璃-PDMS等离子体键合的质量

为了使PDMS和玻璃或PDMS接触后更容易发生化学链接,建议用加热的方式来加强化学链接的强度。时间、温度和设备在实验室和用户之间都可以根据实际的实验而进行改变。通常情况下,在80-90°C下热烘15-30min就足以获得很牢固的粘接强度。

玻璃-PDMS等离子体键合:一些常见错误的想法

需要用力的按压PDMS芯片以便正确的进行玻璃-PDMS等离子体键合

对PDMS施加压力来促进键合这种办法可以用来改正一个错误的等离子体处理方法,但是它没有多大的效果,而且还需要承担通道崩塌和通道不可逆扭曲变形的风险。需要记住的是键合需要快速进行。如果芯片的两个部分之间的接触不好,那么可能原因就是灰尘的影响。为了正确的键合,唯一可做的就是加热实验装置并轻轻的再次按压芯片。

第一次PDMS芯片接触后,我们还可以移动第二次

如果第一次把芯片放置在错误的位置或者如果等离子体处理不起作用,那么进行第二次重新放置芯片位置的操作是没有作用的。最好的办法就是扔掉芯片或者再次进行等离子体处理,但是不能确保有效果并且这还是无法复制的。

玻璃-PDMS等离子体键合:如何检查在校准过程中等离子体处理的质量?

第一个测试:接触角测量

等离子体处理能够修改表面的属性也即玻璃和PDMS表面的疏水性。良好的处理方法可使表面具有亲水特性。第一个测试在于把水滴(约20μL)放置在玻璃和PDMS的表面上,然后测量表面接触角。接触角小于20°通常会导致较强的粘附强度,可承受的压力最高到2.5bar。

第二个测试:粘接前端的扩散性

北京快乐8当粘接芯片时,在接触处,接触部分会变暗,所以,可以密切注意接触部分。在等离子体处理后,玻璃或其他PDMS片上的PDMS会轻轻的脱落,接触前端会快速的恢复原状。

第三个测试:高压下没有泄露

第三个测试在于向器件的内部注入液体并且通过高压来测试它的行为。可以使用一个简单的注射器并且用手推动注射器,如此也可以产生几个bar的压力。

第四个测试:扭曲破坏

最后一个测试是破坏性测试,也就是把芯片从完整状态折腾到破坏状态。芯片应该被破坏而不应该是可移动的,在玻璃和PDMS上面都应该有残留的PDMS组分。通常情况下,良好的键合允许您的芯片耐压值达到3-5bars。

图片5

推荐使用机型

TS-PL05真空石英等离子清洗机北京快乐8,经过大量实验表明利用此机型处理过后的样品能完全达到PDMS芯片的键合要求,处理效果十分明显。

真空等离子清洗机

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等离子清洗机在卷绕涂覆工艺上的运用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-8/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-8/#comments Thu, 14 Feb 2019 07:19:43 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3203 许多薄膜涂覆工艺除了能满足光学器件及表面工程产品的需求外,同时,许多表面处理工艺已经可以满足阻隔涂层的应用。此类工艺主要包括反应溅射沉积工艺、电子束法蒸发铝或SiO2工艺、等离子体增强化学气相沉积SiO2工艺以及利用PECVD反应蒸发成类金刚石涂层工艺。

等离子清洗机在卷绕涂覆工艺上的运用

为了实现更高质量的金属或氧化物沉积涂层,通常需使用活性氧对表面进行预处理。氧等离子体可以在表面产生活性功能团,从而改善薄膜的成核和黏结特性。此外,氧等离子体还可以改善材料表面形貌,减少表面缺陷。

脉冲磁控溅射的发展是20世纪90年代溅射领域内最为激动人心的进步之一。蒸发过程中的等离子体活化作用显著改善了高沉积速率下的涂层性能。在双磁控溅射工艺中,两个磁控源连接到一个双极脉冲发生器上,每个磁控管交替作为磁控放电中的阴极和阳极。这一工艺大大减少了介质涂层工艺中普遍存在的电弧现象,从而使得氧化物反应溅射可以实现高速运行。氧化物反应溅射可以产生氧负离子,氧负离子在阴极压降下得到加速,最后以高能量撞击基底,从而最终产生具有高硬度和极高密度的沉积层。粒子凝聚过程中的能量高低直接决定着阻隔性能的好坏。为了满足工业应用需求,许多实验室正在努力改进此项技术。

蒸发式PVD工艺在通入金属蒸汽的常压环境下进行,通过在金属表面进行电弧蒸发,或采用空心阴极放电使电子束辐射金属表面,从而产生金属蒸汽。由于初级电子受到纵向磁场的磁捕获作用,因此电子束放电产生的等离子密度极高。中性原子电离及高能电子散射所产生的低能电子随同离子一起扩散通过磁场并渗透入基底内部。各分层的微结构受到凝聚粒子平均动能的影响,并随等离子体活化程度的提高而得到改善。由于沉积粒子的能量较低,通常介于15~20eV,因而各层的固有应力也较低。通常情况下,沉积速率为100nm/s

空心阴极活化沉积工艺基于以下原理:将高速氯的氧化物或金属的反应性蒸汽与一种空心阴极等离子体活化技术相结合。空心阴极等离子源可以产生一个高密度电弧放电等离子体,从而使得绝缘基底获得大约15V的自偏压。Al2O3SiOx的通常沉积速率分别为100~150nm/s300~600nm/s。沉积层为一种致密的非晶态结构。Al2O3SiOx涂层的显微硬度分别为6GPa3GPa。上述两种氧化物的涂层都具有良好的防磨性能。

相关设备:卷对卷式真空等离子处理机

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什么是等离子体处理 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-7/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-7/#comments Tue, 12 Feb 2019 11:27:08 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3177 等离子体的独特性能使其成为一种功能非常强大的工业制造和加工手段。等离子体的独特作用是基于下列等离子体环境中的各种效应而言的。

(1)等离子体中存在大量从电场获取能量的电子。

(2)等离子体中的电子动能转化为空间电荷的电场和热能。

(3)等离子体边界处存在电场较强的鞘层区域,带电粒子在该区域内将被加速。

(4)等离子体中的中性原子和分子受到高能电子和离子的碰撞,会变成带电的自由基粒子。

(5)等离子体中的高能粒子与材料相互作用,导致材料表面发生溅射和蒸发,而释放出相关组元的粒子。

(6)等离子体产生过程中的高能辐射是由原子跃迁或与电磁场的相互作用产生的。

实验证明,在一个等离子体发生器中,这几种效应往往同时存在,在这些效应的共同作用下,引发了很多现象,因此很难分析出引发这些现象的具体原因,这就是人们认为的繁学。但是目前这种情况正在改变,等离子体技术是一种应用科学,如果想要进一步改进等离子体工艺,就必须认识等离子体工艺的科学原理,因为认识一个过程背后的科学原理才是改进改过程至关重要的依据。

优化和加强等离子体的放电参数后,可使其适用于某种特殊的应用上。例如,对聚变等离子体而言,需要对它的粒子温度升至上亿度,它是一种杂质含量最少的等离子体,产生时要求一种强约束;而对磁流体(MHD)等离子体而言,要求它的流速和电导率都很高。同理,对于用于材料处理和加工手段的等离子体,需要对其放电参数进行控制和优化。

用于材料加工和制造的等离子体的相关物理过程包括:

北京快乐8(1)将电能转化为工作气体加热和电离的能量。

(2)形成产生化学反应所需的基团和活性。

(3)动能、动量或质量被传输到处理区域或边界区域,包括传输到电极上。

(4)在恰当的时候停止或终止反应,移走产物。

用于材料处理的等离子体,在许多方面不同于其他等离子体。首先,这种等离子体在与材料相互作用时,没有条件限制的要求。对材料的处理效果是由沉积到材料表面的、带有能量的各种粒子的通量决定的。这些粒子的能量分布是不平衡的,这意味着这种等离子体将赋有非平衡等离子体中粒子形成和消失的特点和某些特性。其次,在这种等离子体中存在电离放电的粒子成分,这些粒子会对原子的物理和化学过程产生重要影响。

等离子体与材料之间的相互作用,以及等离子体参数和气体参数之间的关系相当复杂。反应器的功能主要由等离子体的产生技术、气相化学反应以及材料表面的相互作用决定。这几张技术都需要用到等离子体技术和材料科学。反应器的工作参数由初始条件、边界以及气体成分、压力、速率、功率等输入参数组成,此外还包括不同粒子间以及粒子与边界间相互作用的参数,如横截面、速率和传递系数以及发射、反射和黏性系数等。此外,在处理过程中,由于实际的空间尺寸和时间尺度的差异,等离子体的分布随空间和时间而变通常是不均匀的。

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利用等离子体处理无纺布 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-6/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-6/#comments Sat, 09 Feb 2019 01:10:47 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3172 等离子体处理无纺布

聚丙烯(PP)和聚酯(PES)无纺布可广泛用于以下领域:过滤介质、电池隔膜、土工织物、油料吸附剂、婴儿尿布、一次性卫生用品以及生物医学纺织品等。最常见的无纺布生产工艺为以550m/min的典型生产线速度进行纺黏法生产。无纺布原材料一般呈现疏水性,然而大多数应用却需要其具备亲水性。无纺布实现亲水性的传统方法为:将表面活化剂水溶液喷涂在面料表面进行处理。

等离子体处理

可以通过以下方法实现无纺布表面的永久亲水性。首先用氮等离子体活化表面,然后实施等离子体后接枝工艺:用丙烯酸等亲水溶剂在60摄氏度的环境下进行接枝。经等离子体处理后生成的接枝交联可以阻止疏水性的恢复。这一方法无需使用有机溶剂,因此不会产生相应环境问题。

采用等离子体处理系统处理短纤维织物存在一些特殊问题。要使等离子体渗透入纤维的毛细孔内部,等离子体的德拜长度就要小于毛细孔的孔径,这一孔径的平均尺度为10~100um量级。常压等离子体可以满足这一条件。放置于金属电极之间的绝缘介质表面上可以产生高密度等离子体流,利用这一表面电荷等离子体流就可对无纺布进行有效处理。这一方法可使等离子体流更有效地与纺织物表面接触,从而提高处理效率和处理速度。

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等离子清洗机在薄膜太阳能电池上的应用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-5/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-5/#comments Sat, 02 Feb 2019 10:21:19 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3165 太阳能技术的三个主要环节是如何把太阳光转换为电能或热能,如何在便携设备中存储能源,以及如何节约能源。对太阳能经济的上述三个环节中用到的各种设备而言,都需要应用等离子体处理这一重要工艺。在非晶硅设备的制造过程中,所用等离子体的工艺过程含沉积、蚀刻和钝化等。在窗户玻璃镀膜和薄膜电池制造中,也采用等离子体辅助涂覆工艺。

等离子清洗机在薄膜太阳能电池上的应用

等离子体非晶硅薄膜沉积技术创始于1965年。薄膜的两个重要特性包括氢化以及特定杂质原子的惨杂。当采用硅烷等离子体进行薄膜沉积时,会把氢自然导入生长中的薄膜内,若在加工气体流中引入磷化氢和硼烷,沉积过程中也会可把磷和硼惨杂到半导体薄膜中。上述两项技术为等离子体技术在薄膜太阳能电池中的应用铺平了道路。

非平衡低温等离子体中的电子温度远高于中性等离子体内的电子温度,使化学催化反应得以加强,从而形成了一种制备薄膜和涂层的等离子体-化学方法。在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺中,电子从电场获取能量并把能量传递给重粒子。能量分配使硅氮化物等钝化涂层材料都能满足这一要求,因此人们开始对这两种材料在光伏领域的应用产生了极大兴趣。

采用平板电容耦合系统的等离子体沉积工艺将13.56MHz的射频电源加载到两个面积不相等的电极上。由于等离子体鞘层区是射频电压的主要位降区,在面积较小的电极上获得大的负电势,沉积基底就放置于较小的电极上。把硅烷引入到反应器中,经过与高能电子碰撞后,硅烷离解为SiH2SiH3Si2H5。长期以来,人们认为离解产物SiH3自由基是促进薄膜生长的前驱物质。然而,近期有证据表明,硅原子在此过程中也同样非常重要。

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等离子体的产生机理及其用途 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-4/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-4/#comments Tue, 29 Jan 2019 12:11:32 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3158 等离子体的产生机理包括电离反应、带电粒子的传输以及电磁运动学等理论。等离子体的产生与气化过程伴随着电子、粒子和中性粒子的碰撞反应。等离子体中粒子的碰撞会产生活性组分。因为等离子体处理的目的是改性表面或在表面形成一层合成材料,因此在整个处理过程中,我们最关注的是等离子体与材料的相互作用以及形成最终反应产物。

等离子体

每个等离子体处理的工艺过程都会局限在一个多维参数的腔室中,这个腔室的大小决定了整个工艺的经济性、反应质量、反应性能及其他参数,这些参数可以使处理过程具有竞争性和工业应用价值。腔室的操作受许多约束条件的限制,如处理过程受等离子体的种类及反应速率的限制,处理效率受电能转化为等离子体密度方式的限制,反应产量受处理过程中某种原材料的消耗所制约等。

在等离子体辅助制造工业中。等离子体一般具有下列用途:

(1)等离子体可以作为热源。

(2)等离子体可以作为化学催化剂

(3)等离子体可以作为高能离子流和电子流源。

(4) 可以作为溅射粒子源。

在很多工艺中,随处可见等离子体的这几种基本特性,这就逐渐形成了以等离子体为处理手段的基础制造业。单独的某种处理过程或几种处理过程综合作用可赋予等离子体不同的用途。例如,在等离子体中,利用等离子体的化学合成作用产生新的化学药品,或利用粒子的聚合作用在表面沉积形成薄膜等。

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等离子清洗机在半导体刻蚀工艺中的应用 http://www.webboston.com/plasma-9/ http://www.webboston.com/plasma-9/#comments Sun, 27 Jan 2019 13:27:07 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3154 生产集成电路的第一步是通过掩模向基底透射电路图案。光敏性聚合物光刻胶经紫外线曝光后,受照射部分通过显影作用去除。一旦电路图案在光刻胶上定型后,即可通过刻蚀工艺将图案复制到多晶硅等质地的基底薄膜上,从而形成晶体管门电路,同时用铝或铜实现元器件之间的互连,或用二氧化硅来阻断互连路径。刻蚀的作用在于将印刷图案以极高的准确性转移到基底上,因此刻蚀工艺必须有选择地去除不同薄膜,基底的刻蚀要求具备高度选择性。否则,不同导电金属层之间就会出现短路。另外,刻蚀工艺还应具有各向异性,那样可保证将印刷图案精确复制到基底上。

20世纪70年代,微电子元器件产业开始采用等离子刻蚀技术。等离子体可将气体分子离解或分解为化学活性组分,后者与基底的固体表面发生反应,生成挥发性物质,然后被真空泵抽走。通常有四种材料必须进行刻蚀处理:硅(惨杂硅或非惨杂硅)、电介质(如SiO2SiN)、金属(通常为铝、铜)以及光刻胶。每种材料的化学性质都各不相同。等离子体刻蚀为一种各向异性刻蚀工艺,可以确保刻蚀图案的精确性、对特定材料的选择性以及刻蚀效果的均匀性。等离子体刻蚀中,同时发生着基于等离子作用的物理刻蚀和基于活性基团作用的化学刻蚀。等离子体刻蚀工艺始于比较简单的平板二极管技术,已经发展到时用价值数百万美元的组合腔室,配备有多频发生器、静电吸盘、外部壁温控制器以及针对特定薄膜专门设计得多种流程控制传感器。

可进行刻蚀处理的电介质为二氧化硅和氮化硅。这两种电介质的化学键键能很高,一般需采用由碳氟化合物气体(如CF4C4F8等)产生的高活性氟等离子体才能将其刻蚀。上述气体所产生的等离子体化学性质极为复杂,往往会在基底表面产生聚合物沉积,一般采用高能离子将上述沉积物去除。

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等离子清洗机在包装瓶涂覆工艺上的应用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-3/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-3/#comments Fri, 25 Jan 2019 07:32:32 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3128 在氧等离子体中对硅蒸汽进行氧化处理,可得到SiOx。阳极电弧工艺使用消耗性硅金属,硅金属置于熔炉内作为真空电弧的阳极。如果在金属阴极和上述熔炉之间施加一个20~30V的直流电压,只要在阴极前存在蒸汽团,就会在阴极和阳极之间产生连续的电弧放电。这一放电可在真空炉体内部产生高活性等离子体,这时,处于高激发状态的硅原子被蒸发,并朝向在蒸汽云上部不断旋转的包装物基底移动。此时,如果向蒸汽中加入氧气,则会在包装物基底表面沉积一层SiOx

等离子体聚合工艺是一种在基底上生成有机或无机类聚合物涂层的工艺。这一工艺属于等离子体增强化学气相沉积工艺范畴。在PECVD工艺中,将所需成分的蒸汽引入等离子体,等离子体内部的电子将分子电离或裂解为自由基。所生成的活性分子可在表面或在气相环境中发生化学反应,最后经过沉积形成薄膜。成核过程取决于材料表面的形貌以及表面是否存在外来原子。通过上述工艺生成的致密薄膜具有疏水性,且不存在气孔。但是,为了在短时间内生成具备良好品质的薄膜,工艺参数必须进行优化,在阻隔层应用领域,尤其需要对工艺参数进行优化。通过在等离子体环境下裂解硅树脂,可以得到有机硅薄膜。如果使硅原子与氧气、氮气或其混合气体发生反应,则可沉积生成二氧化硅、氧化硅或氮氧化硅薄膜。类金刚石碳薄膜的前驱反应物采用乙炔等有机气体。

与传统CVD工艺相比,等离子脉冲化学气相沉积(PICVD)工艺是一项具有很大改进的工艺。在功率源(一般采用射频或微波功率源)上施加脉冲信号,就可以产生脉冲等离子体。脉冲等离子体可允许涂覆过程中离子具有较低能量。涂层通过一系列小型处理工序逐渐增厚,最终生成一层高度致密的均匀涂层。此外,在两次脉冲之间,可以改变反应混合物的化学组成成分。因此,在同一次工艺运行过程中,可以涂覆多层具备不同性能的涂层,从而生成按需定制的多涂层系统。PICVD工艺制备SiO2TiO2涂层技术已经广泛应用于各种塑料(如聚对苯二甲酸乙二醇脂(PET)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚碳酸酯(PC),共聚环状烯烃(COC)、聚丙烯(PP)和高密度聚乙烯(HDPE))的表面改性。

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等离子体在渗氮工艺上的运用 http://www.webboston.com/plasma-8/ http://www.webboston.com/plasma-8/#comments Thu, 24 Jan 2019 09:09:29 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3125 一般等离子体渗氮工艺要求气压在3~10mbar,这就保证了等离子体与基底之间的接触很充分。对于形状复杂的基底,如表面有效小沟槽或螺纹等,在复杂形状附近的等离子体参数分布会有所差别,这将会导致其周围电场的变化,进而改变这个区域的离子浓度和离子轰击的能量。如果采用常规等离子体渗氮,则鞘层内的离子碰撞会更加频繁,就会导致离子的能量降低,因此也就难以激活氧化物较多的金属表面,如不锈钢等。这种复杂形状基底情况还会导致区域温度过热,渗氮特性也会与其他基底不同。而对用常规等离子体渗氮工艺所产生的这种异常辉光放电,放电参数互相关联耦合,因此不可能单独改变其中某一个放电参数来控制渗氮过程。

为了克服上诉的缺点,研究人员开发了低压等离子体,当气压低于10PA时,就不会产生异常辉光放电了。通过射频激发微波,或从热丝上释放出的高能电子冲击电离等方式都可以产生等离子体,这些低压等离子体充满整个处理空间,其中包含了大量的活性原子,如此会提高渗氮效率。在射频等离子体渗氮中,等离子体的产生和基底偏压是分开控制的,因此可以分别控制离子能量和基底表面的通量。由于工作气压比较低,消耗的气量也相应降低。

在原子团渗氮工艺中,低能量的直流辉光放电可以产生NH原子团,可以利用这些高活性的原子团来渗氮,整个工艺需要一个外加电源来加热工件,这与气体渗氮过程相仿。这种工业不仅可以精确地控制表面拓扑,而且还可以选择是否形成化合物层,也可以在表面结构特性不改变的前提下,控制化合物层的厚度和扩散层的深度。若金属表面有窄缝和孔,用这种工艺也可以很容易地实现渗氮。

传统等离子体渗氮工艺采用的是直流或脉冲异常辉光放电。这种工艺在低合金钢和工具钢的渗氮处理表现尚可,但对不锈钢,特别是有奥氏体结构的钢来说,就表现欠佳。高温渗氮工艺过程中会析出CrN,所以金属表面很硬而且耐磨,但缺点是易被腐蚀。低温和低压放电技术已成功地解决了这个问题,用这种工艺生产出的改性层包含一个称为扩展奥氏体的富氮层。

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利用等离子清洗机来提高金属涂层在聚合物表面的粘接强度 http://www.webboston.com/plasma-clearn-2/ http://www.webboston.com/plasma-clearn-2/#comments Wed, 23 Jan 2019 08:46:29 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3063 表面涂覆金属涂层的有机聚合物可广泛应用于多种行业。要实现表面涂覆金属涂层聚合物的使用功能,金属涂层和聚合物基体之间的黏结强度是一个关键因素。这一目标可通过采用等离子对聚合物表面进行预处理得以实现。例如,首先使用氧等离子体对ABS进行表面预处理,然后再对ABS实施铜蒸发沉积工艺。

等离子清洗机处理有机聚合物表面

纤维与基体之间(或各层之间)的良好附着力也取决于纤维和基体材料的表面特性以及界面上的物理及化学相互作用;而纤维与基体材料之间具有良好附着力的前提条件是纤维必须具备足够的表面能,纤维的表面能必须大于或等于基体的表面能,可以通过等离子体对纤维表面进行处理来满足这一要求。

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等离子清洗机在微电子元器件加工中的应用 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-1/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-1/#comments Tue, 22 Jan 2019 02:52:34 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=3045 微电子技术的进步使得信息、通信和娱乐融为一体。采用等离子体技术实施原子级工艺制造,使微电子器件的小型化成为可能。等离子体技术于20世纪90年代进入微电子器件制造领域。下面就来探讨等离子清洗机在核心加工工艺(如刻蚀、沉积以及惨杂)中的应用。

等离子清洗机在微电子器件加工中的应用

20世纪70年代末、80年代初,等离子体技术成为集成电路制造工艺中的关键技术。目前,30%的制造工艺要用到等离子体。1999年,全球微电子行业共采购了价值176亿美元的等离子体设备,这些设备生产了价值2450亿美元的芯片。目前,等离子体处理技术以应用于DRAMS、SRAIMS、MODFETS、薄绝缘栅氧化层的生产以及新型光电材料,如硅锗合金、高温电子材料(金刚石或类金刚石碳薄膜)、碳化硅、立方氮化硼以及更多材料和元器件的加工制造。

等离子清洗机在集成电路不同工序中的应用

制造工序

等离子体工艺

等离子体源

光刻

光化学

紫外线

刻蚀

挥发反应

二极管、电感耦合等离子体电源

惨杂

离子注入

离子源

检测

生长氧化层

PECVD

二极管、电感耦合等离子体电源

多晶硅沉积

PECVD

北京快乐8二极管、电感耦合等离子体电源

绝缘层沉积

PECVD

二极管、电感耦合等离子体电源

金属层沉积

溅射

磁控管、PECVD

晶圆的标记

激光

钝化层

PECVD

二极管、电感耦合等离子体源

封装

生产半导体器件的最初原料为晶体硅或非晶体薄膜。等离子体化学气相沉积是生产a-Si:H的主要技术。等离子体化学气相沉积工艺借助等离子体介质生成离子成分,离子成分随后参与反应并在基底表面实现沉积。与传统化学气相沉积工艺相比,等离子体化学气相沉积工艺可在温度远低于前者的处理温度下生成离子成分,同时,通过离子轰击,可以对薄膜进行改性。等离子体化学气相沉积工艺中的前驱膜一般为经惰性气体稀释的SH4气体,反应产物则为氢化非晶体硅薄膜。

等离子体清洗机在沉积工艺中的运用由以下四个步骤组成。
(1)电子和反应气体发生电子碰撞反应,生成离子和自由基;
(2)活性组分从等离子体传输到基底表面;
(3)活性组分通过吸附作用或物化反应沉积到基底表面;
(4)活性组分或反应产物成为沉积薄膜的组成部分。

在高密度等离子体化学气相沉积工艺中,沉积和刻蚀过程往往同时发生。该工艺中的三种主要机理为:等离子体离子辅助沉积、氩离子溅射以及溅射材料的再沉积。在 高密度等离子体化学气相沉积(HDP CVD)工艺中,高密度等离子体源(如感应耦合等离子体(ICP)、电子回旋共振等离子体(ECR)或螺旋波等离子体(helicon))对包含硅烷、氧气和氩气的混合气体进行激发。通过将基底作为阴极,可将等离子体中的高能正离子吸引至晶体表面,随后氧与硅烷发生反应生成氧硅烷,在由氩离子溅射过程除去氧硅烷。

在半导体制造中通常采用两种印刷线路制版技术,这两种技术彼此具有互补性。其中一种技术是将电介质印刷到金属表面,另一种技术则是将金属镶嵌在介质板上。前者即为离子刻蚀(RIE)制版技术,其操作步骤如下:
(1)在晶片表面沉积一层厚度均匀的金属层;
(2)然后再表面均匀地涂一层光敏性聚合物——光刻胶;
(3)通过光学手段将电路图案透射至光刻表面,从而改变其溶解性;
(4)采用反应性刻蚀剂将易溶解部分去除,形成一层掩模层;
(5)将未被掩模层保护的金属刻蚀去除;
(6)通过等离子体去胶,将光刻胶剥除;
(7)沉积二氧化硅或氮化硅,钝化表面。

第二种制版技术,即镶嵌技术的灵感源自于历史悠久的首饰镶嵌工艺,或称大马士革工艺。这种技术需要先在平面电介质层上刻蚀出纵横分布的沟槽,然后采用金属沉积工艺将沟槽内填充金属,从而在一个平面上镶嵌入所需电路。在沉积一层绝缘层后,即可重复进行下一层金属薄膜的镶嵌。

以上就是等离子清洗机在微电子器件加工中的应用,如果你也有这方面的问题需要解决。欢迎来电咨询。

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等离子清洗机在PCB/FPC线路板行业中的应用介绍 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-80/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-80/#comments Mon, 21 Jan 2019 07:57:15 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=2966 微电子技术的进步使得信息、通信和娱乐融为一体。采用等离子体技术实施原子级工艺制造,是微电子器件的小型化成为可能。由于对设备的要求越来越精密化,故一些制程明显体现出它的优势。等离子清洗北京快乐8工艺逐渐成为线路板、半导体以及太阳能等行业不可缺少的关键技术。

等离子北京快乐8清洗技术在PCB线路板行业中运用的工艺流程如下:

等离子清洗机PCB行业应用

等离子清洗机在PCB/FPC行业中的应用主要包括以下几个大的方面:

1、HDI

等离子体能去除激光钻孔后形成的碳化物,刻蚀和活化导通孔,提高PHT工艺的良率与可靠性,克服镀铜层与孔底铜材分层。

等离子清洗前                     等离子清洗后

                        等离子清洗机处理前                                                                       等离子清洗机处理后

等离子清洗机处理前                                      2-1PQ4144004149

                                                                      等离子体处理沉铜镀后

2、FPC

多层软板的孔壁除残胶,补强材料如钢片、铝片、FR-4等表面清洁活化,激光切割金手指形成的碳化物分解,以及精细线条制作时去除干膜残余物(去除夹膜),都可以通过等离子体表面处理技术来实现。

2-1多层软板的孔壁除残胶

等离子清洗机处理多层FPC板                       等离子体除胶后

                    等离子体处理多层FPC板                                                                                除胶后PTH的切片

等离子清洗机处理前                       等离子清洗机处理后

                   等离子清洗机处理前                                                                                     等离子清洗机处理后

2-2补强材料如钢片,铝片,FR-4等表面清洁和活化

利用等离子清洗机进行钢片补强活化利用等离子清洗机进行钢片补强活化

                                                                     利用等离子体处理进行钢片补强增加结合力

2-3激光切割金手指形成的碳化物分解

利用等离子清洗机来分解激光切割形成的碳化物利用等离子清洗机来分解激光切割形成的碳化物

2-4精细线条制作时去除干膜残余物(去除夹膜)

利用等离子清洗机去除干膜残余物                利用等离子清洗机去除干膜残余物

                等离子清洗机处理前                                                                              等离子清洗机处理后

等离子清洗机处理前                 等离子清洗机处理后

                     等离子清洗机处理前                                                                       等离子清洗机处理后

2-5化学沉金/电镀金前金手指、焊盘表面清洁

利用等离子清洗机进行焊盘表面清洁         利用等离子清洗机进行焊盘表面清洁后

                     等离子清洗机处理前                                                                                      等离子清洗机处理后

3、软硬结合板

由于软硬结合板是由几种不同的材料层压在一起组成,由于其热膨胀系数的不一致性,孔壁及层与层之间的线路连接容易产生断裂和撕裂现象,提高软硬结合板孔金属化的可靠性和线路层压间的结合力,是软硬结合板质量的关键技术。 传统工艺采用化学药水湿法工艺,其药水的特性非强酸性即强碱性,这都会对聚酰亚胺树脂、丙烯酸树脂等产生不利。气体等离子体易于通过氧和氟化物如CF4的活化清除穿孔内的残渣,由等离子体释放的氧和氟的激子通过化学刻蚀作用攻击树脂污渍,从而使得穿孔得到完全清洁。利用等离子体对材料表面的清洁、粗化、活化作用的干法处理技术,不但可以得到良好的可靠性和结合力,并能克服传统工艺的缺陷,实现无排放的绿色环保工艺。

3-1软硬结合板除胶渣

利用等离子清洗机来进行软硬结合板除渣

                软硬结合板     

 利用等离子清洗机来进行软硬结合板除渣

     孔内等离子清洗机除胶后PHT切片

3-2内层表面粗化、活化、改变附着力结合力

利用等离子清洗机进行表面粗化,改变附着结合力    利用等离子清洗机进行表面粗化,改变附着结合力

                  软板内层等离子清洗机处理前                                                                 等离子清洗机处理后腹膜

4、Teflon

类似于特氟龙这样材质的高频微波板,由于其材料的表面能非常低,通过等离子体技术可以对其孔壁和材料表面进行活化,提高孔壁与镀铜层的结合力,杜绝出现沉铜后黑孔,消除孔铜和内层铜高温断裂爆孔等现象:提高阻焊油墨与丝印字符的附着力,有效防止阻焊油墨及印刷字符脱落。

4-1水滴角实验(亲水性改变测试)

等离子清洗机处理后水滴角实验  等离子清洗机处理后水滴角实验

                           等离子清洗机处理前疏水                                                                等离子清洗机处理后亲水

4-2高频板处理后镀铜和阻焊效果图

未经等离子清洗机处理铜镀图             经等离子清洗机处理铜镀图

                        未经等离子体处理铜镀图                                                             经过等离子体处理后镀铜图

未经等离子清洗机处理阻焊图 经等离子清洗机处理阻焊图

                           未经等离子清洗机处理阻焊                                                  经过等离子清洗机处理后阻焊

5、BGA贴装

随着信息处理量的不断加大以及芯片运算速度的提高,IC封装领域愈来愈多的采用高集成度的BGA封装形式,与之相对应的PCB上BGA Pad也大规模的出现,一颗IC的BGA焊点与对应的Pad往往达到几百甚至几千个,其每一点焊接的可靠性变得越来越重要,成为BGA贴装良率的关键。在BGA贴装前对PCB上的Pad进行等离子体表面处理,可使Pad表面达到清洁、粗化和活化的效果,极大的提高了BGA贴装的一次成功率。

等离子清洗机在BGA贴装工艺上的应用  等离子清洗机在BGA贴装工艺上的应用

6、化学沉金/电镀金后SMT前焊盘表面、金手指表面清洁

可焊性改良,杜绝虚焊,上锡不良,提高强度和信赖性。

等离子清洗机在化学沉金工艺上的应用

等离子清洗机在化学沉金工艺上的应用                    等离子清洗机在化学沉金工艺上的应用

               等离子清洗机处理前焊盘                                                                  等离子清洗机处理后焊盘

以上就是等离子清洗机在PCB、FPC线路板行业中的具体运用。

 

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等离子体表面改性在生物医学材料上的应用 http://www.webboston.com/plasma-3/ http://www.webboston.com/plasma-3/#comments Sat, 19 Jan 2019 09:13:00 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=2957 在化学相容性或化学键中表现出来的强界面作用力能增强两个表面之间的黏附性。通常聚合物具有较低的或中等能量的表面能,因此很难在其表面进行黏结或进行表面涂层。经氧等离子处理后,聚丙烯的表面张力从29dyn/cm提高到了72dyn/cm,几乎达到接触角为零的全水吸附所需的数值。其他材料表面经过活化工艺,会使表面产生硝化、氨化、和氟化。等离子体表面改性可以在表面形成如胺基、羰基、羟基、羧基等功能团,提高界面黏附力。医用导管、输液袋、透析过滤器和其他组件,以及医用注射针头、用于装血液的塑料薄膜袋和药袋的附着都得益于等离子体对材料表面的活化工艺。

等离子清洗机

常规的清洗方法不会完美,常在清洗后仍然残留薄薄的一层污染物。但如果采取等离子体活化工艺清洗,弱化学键将很容易被打断,即使污染物残留是在几何形状非常复杂的表面上,也照样可以去除掉。等离子体可以去除油膜、微观的秀菌或其他污染物,这些污染物是在存储过程中或前期制造工艺中,通过化学转化形成的高蒸汽压的挥发性气体黏附在材料表面形成的。注射成型添加剂、硅基化合物、脱模剂及部分被吸附的污染物可以通过等离子放电清洗,能有效地从塑料、金属和陶瓷的表面去除。对后续制造产生干扰的塑料添加剂也可以通过等离子体去除,并且在这个去除过程中不会破坏或更改基底的属性。此外,采用等离子体清洗技术,还可以清洗及其敏感的仪器零件表面或植入物的表面。

等离子体可以改进材料表面的润湿性,降低大多数基底材料与水或其他液体的接触角。实验证明,材料只需要被等离子体处理几分钟就可以使其表面的水接触角降低至少2度。与血液过滤器或各种透析过滤薄膜一样,也包括透析过滤系统的微滤组件,等离子体同样也可以赋予织物或无纺布织物永久的亲水性能。培养皿、滚瓶、微载体和细胞膜等细胞培养基质的表面均可以通过等离子体改性来大大提高其润湿性。通过控制表面的化学结构、表面能和表面电荷状态可以改善细胞生长情况、蛋白结合性能以及特定细胞附着性能。

等离子体处理无纺布或其他织物布料的表面,也可以使其具有疏水性。疏水表现为据水特性,当这种布料浸没在水溶液中时,不在通过毛细管效应吸水。这种技术同样也适用于某些材料,使其具有疏油性或使纸张、纺织品和过滤元件等具有疏水性。四氟化甲烷、六氟化硫、氟化烃等氟化物,可以用于诱使表面结构中的氢原子被氟原子替代,形成类似聚四氟乙烯的结构,从而使材料表面具有疏水性、化学惰性以及高化学稳定性。

等离子体表面改性的另一个重要应用是促进细胞生长或蛋白质的结合,以降低血栓的生成。氟化的聚四氟乙烯涂层和从有机硅单体中提取的类似有机硅涂层都具有血液相容性。薄膜中氟碳比、润湿性和存在形态,显然都与纤维蛋白质的吸收和存储息息相关,纤维蛋白原是一种存在于人体血液中并参与凝血过程的蛋白质。可以采用PECVD制备不同表面形态的类聚四氟乙烯薄膜。

通过等离子聚合可以从有机硅单体中获取类硅烷薄膜。SixCyHkOz复合物被用在血液过滤器中和聚丙烯的中空纤维膜中以涂覆活性炭的颗粒。血液灌溉器是将患者动脉血液循环地引入血液灌流器中,使血液中的毒物、代谢产物被吸附净化,然后再输回体内。血液灌流器中的吸附剂包括活性炭那、酶、抗原、抗体等。其中碳颗粒必须被聚合物薄膜包覆,以防止细小颗粒进入到血液中;同样,微孔聚丙烯血液氧合器也要涂上一层类硅烷聚合物薄膜,目的是为了降低聚丙烯表面的粗糙度,以减少对血液细胞造成的伤害。

肝素和类肝素分子、胶原蛋白、白蛋白和其他生命起源分子可被固定在聚合物表面上,发挥抗血栓的作用。因此,要使这些分子固定在聚合物的表面,那么就需要聚合物被激活,并此对接枝聚合的分子作出响应。这个过程主要以试验实证的方法为准,用的最多的接枝基团是-NH2、OH和-COOH,这些基团主要从非沉积供应原料NH3、O2、H2O中获取。

经过氨气等离子体处理后的材料表面会存在氨基功能团,它类似于肝磷酯,可作为抗凝剂的附着位点。这种等离子体在体外医用器皿上的应用实例有实验或药物生产用的培养皿的清洗改性,以及微孔板的表面改性。这种表面改性还可以提高人体植入物的生物相容性。

例如,通过提高血溶性涂层与本体材料的黏合性能,改善人造血管、隐形眼镜、给药植入体等植入物的生物相容性。在某些应用中。若有必要的话,还可以通过材料表面处理降低蛋白质或细胞的黏附性,如接触的隐形眼镜和人工晶状体材料。

很多材料都会促使蛋白结合,而导致血栓的形成。材料表面使用抗凝涂层后,可以有效降低表面凝血形成血栓的趋势,但是抗血栓涂料往往不能很好地与聚合物表面结合。采用等离子体中的活性自由基使材料表面通过肝素化或接枝抗栓官能团,来增加材料表面有效地化学键结合。北京快乐8材料表面改性的效果由一系列的因素决定,这些因素包括材料基底的选取、抗血栓涂料的成分构成和改性后的材料使用寿命。动物实验的结果表明,经过等离子体表面活化改性后,在涂覆一层肝素的聚氨酯导管,在使用30天后,没有出现蛋白附着的现象;只经过等离子体表面改性而无肝素涂层的聚氨酯导管,出现了少量的蛋白附着;而未经等离子体表面改性的导液管则出现了严重的血栓。与未经处理的血液过滤器相比,改性后的血液过滤器大幅减少了血小板的附着量。

有些时候,通过对体外材料的表面改性来增强培养细胞的黏附性和培养过程中细胞生长速率是十分必要的。在某些特殊情况下,细胞黏附性和培养过程中细胞生长速率是十分必要的。在某些特殊情况下,细胞黏附效果是保证细胞繁殖的必要条件,经等离子体表面改性后的体外细胞培养皿,在其表面的细胞繁殖速率明显比未处理 培养皿表面的细胞繁殖速率快。实验结果表明,聚酯、聚乙烯和K-树脂等材料经等离子体改性后,其细胞附着性可明显提高。

与其他材料表面相比,一些有机硅及聚氨酯等聚合物的表面摩擦系数较高。这种材料制成的器械经等离子体表面处理后,再涂覆上一层低摩擦系数的聚合物,表面就会更加润滑。例如,等离子体表面改性后可提高医用导管表面上水凝胶涂层的黏附性,水凝胶涂层能降低医用导管与内血管壁之间的摩擦。用于导尿管、呼吸气管和心血管的插管,或内窥镜/腹腔镜手术的仪器,以及用于眼科的材料,在与体液接触时应具有良好的疏滑特性,这样体液与这些光滑的医疗器械表面接触时才不会黏附在其表面上。被电离的等离子体活性气体可抑制造这样的低摩擦系数的材料表面。这种低摩擦系数的医疗器械在插入病人体内或从体内取出时,会降低对病人黏膜的机械损伤以及减少病人的不适感。等离子体技术活等离子体技术结合其他技术,尤其是结合二甲苯聚合物涂覆技术,已成功在各种医疗器械的制造中得到了应用,如在眼科和影像外科手术中等。

通过薄膜沉积方法在塑料产品的表面沉积一个阻隔层,可以降低酒精、其他液体或蒸汽在塑料产品表面的渗透能力。例如,经过等离子体处理后的高密度聚乙烯可以使这种聚乙烯材料对酒精的渗透能力降低10倍。由于血液与生物材料中的一些化学成分会发生相互作用,这种相互作用会导致血液凝固,危害人体,所以像硅橡胶、聚酯、聚四氟乙烯、聚氨酯、PVC等生物材料制成的与血液接触的植入物仅能在血液中停留很短的时间。例如,PVC血袋中的二辛脂邻苯二甲酸酯和某些稳定剂会慢慢从PVC基底中释放出来,与血液相互反应从而引起血液凝固。等离子体对PVC材料处理后,在表面形成一层紧密交联的防渗薄膜,这层膜具有生物相容性,可以在一个较小的范围内调节膜的分散率,起控制稳定剂等物质传输的作用。

通过等离子体改性膜材料还可以提高对扩散物质的选择性北京快乐8。通常需要薄膜材料在保持高渗透率的同时,还应该对渗透物质具有高选择性。结合化学作用或物理限制,通过控制孔的大小可以提高膜表面的选择性。血液透析、蛋白质纯化等生物分离过程都得益于这一技术的实施。

通常,具有诊断功能的生物传感器要求把酶或抗体等生物组分固定在传感器的表面。等离子体的接枝与表面功能化处理为生物组分和基底之间建立共价键提供了便捷、高效的办法。

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等离子体技术在聚合物表面改性上的应用 http://www.webboston.com/plasma-4/ http://www.webboston.com/plasma-4/#comments Sat, 19 Jan 2019 03:02:37 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=2951 低压等离子技术为在微观尺度的材料表面改性提供了一种既环保又经济的方法,而且在改性过程中不需要借助机械加工和化学试剂。采用低压等离子技术,既可以在材料表面实现清洁、激活、蚀刻,又可以修饰优化塑料、金属或陶瓷材料的表面,改善它们的黏结能力或赋予全新的表面性能。其潜在的医学价值包括改善材料表面的亲水性能或是疏水性能、降低表面摩擦力以及改善材料表面的阻隔性能。现在,国内外正在积极研究各种表面改性技术,以达到控制组织粘连、降低组织阻力、抗栓塞或感染的目的,并可作为化疗或除去某些特定蛋白细胞的抑制剂,重点是研究短期或长期会影响组织反应的表面性能。

等离子体处理聚合物表面

等离子体处理聚合物表面

北京快乐8等离子体技术是一项仅改变表面几个原子层就可以使大多数医疗聚合物表面吸附性得到改善的技术。例如,经过改性的聚烯烃、硅胶和含氟聚合物材料呈现良好的黏结性。基于这种类似原理,采用等离子体技术在实现移植和聚合所需的材料表面的同时,不会丢失材料自身的体特性。等离子处理不会影响材料的体物理性能,经过等离子体处理过的材料部位与未经等离子体技术处理的部位相比较,一般情况下在视觉上和物理上无法辨别。目前等离子体处理通常用于控制试管和实验室器皿的润湿性、血管成行气囊和导尿管黏结前的处理、血液过滤膜的处理,通过改变生物材料的表面特性,以提高或抑制细胞在这些材料表面的生长状态。

等离子体处理通常是一个导致表面分子结构改变或进行表面原子置代的等离子体反应过程。即使在氧气或氮气等不活泼的气氛中,等离子体处理仍可以在低温条件下产生高活性的基团。在这个过程中,等离子体还会发生能量很高的紫外线,与产生的快离子和电子一起为打断聚合物结合键和产生表面化学反应提供所需的能量。只有材料表面的几个原子层参与了这个化学过程,聚合物的本体属性才能保持变形的可能。选用合适的反应气体和工艺参数就可以促进某种唯一特定的反应,形成一种不寻常的聚合物附着物和结构。通常可以选择反应物来使等离子体与基底材料发生反应,生成的是可挥发性的附着物。这些被处理材料表面的附着物因退吸附而可被真空泵抽走,不必通过进一步的清洗或中和就可以实现对表面的刻蚀。

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等离子体表面改性工艺 http://www.webboston.com/plasma-cleaner-96/ http://www.webboston.com/plasma-cleaner-96/#comments Fri, 18 Jan 2019 04:04:35 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=2933 等离子体表面改性工艺

等离子对聚合物、含氟聚合物和其他物料材质的表面改性,可以通过以下四种途径实现,这四种途径是消融、交联、活化和沉积。

等离子体清洗

                                                                     大气等离子清洗机                                                                                                                    

消融是由于高能粒子轰击聚合物表面使弱共价键断裂的过程。这个过程只会影响暴露在等离子体中的衬底表面最外面的分子层,这些外面的分子层与等离子体反应生成气化产物后被抽走。一般情况下,表面的化学污染物通常都是由弱CH键组成,所以等离子体处理可以去除这些污染物。例如,油膜或注塑添加剂等有机物形成均匀洁净并具活性的聚合物表面。

交联是在聚合物分子链之间建立了化学链接。惰性气体等离子体可用来交联聚合物,形成耐磨损或耐化学腐蚀性的更坚固表面。医疗设备包括医用导管、临床仪器和隐形眼镜等,都得益于等离子体引发的交联反应。这种化学反应也可以用氟或氧原子代替聚合物表面部分的氢原子。氩气或氦气等惰性气体,由于其化学性质为惰性,所以它们不会与表面结合或发生表面化学反应,相反,他们会通过传递能量打断聚合物链中的化学键,被打断的聚合物链生成了能与其活性部分重组的“悬空键”,从而形成明显的分子重组和交联。聚合物表面生成的“悬空键”很容易发生嫁接反应,这种技术工艺已经应用到了生物医学技术中。

激活是等离子体化学基团替换表面聚合物基团的过程。等离子体把聚合物中的弱键打断,并用等离子体中高活性羰基、羧基、和羟基将其替换;此外,等离子体还可以用氨基或其他功能基团来激活,结合到表面内的化学基团的类型将决定基底材料性能的最终变化,而表面上的活性基团改变表面性质,如润湿性、黏着性等。

等离子体聚合是一个把许多称为单体的可交联小分子结合成大分子的过程。聚合过程涵盖了许多种气体参与的反应,形成挥发性的聚合物薄膜。在气相中或材料表面上的单体会被分解和激活并形成新的分子活性基团迁移到表面,在那里吸附并脱离气相。每个吸附都代表了一个沉积的过程。被吸附的分子随后在表面进行离子或自由基聚合交联,形成一层薄膜。在薄膜形成的过程中,新形成的表面原子和分子会受到来自气相基团的轰击和等离子体中的电磁辐射。经典的聚合物具有活性结构,如允许互相键合的双键等。甲基丙烯酸甲酯的双键为聚甲基丙烯酸甲酯的形成提供了位点,这是在等离子体处理条件下可聚合分子形成聚合物的一个众所周知的例子。

等离子体技术手段也可以使采用传统化学方法通常不能聚合的材料形成聚合物。等离子体能够将缺乏键合位点的气体分子分解成新的、具有活性的组分,这些组分随后就可能发生聚合。脂肪质和芳族聚合物在等离子体中沉积形成薄膜时,所有饱和或不饱和的单体,甚至常规聚合技术中抗聚合的单体,都能被聚合。由于等离子体聚合过程是一个复杂的物理和化学过程,它对等离子体过程参数有较强的依赖性,因此在沉积过程中可以通过控制等离子体参数实现对生成薄膜性质的控制,使之具有不同特征。例如,在基底表面生成黏附性很好的薄膜或得到很好的薄膜表面强度。

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低温等离子杀毒技术在医疗器械上应用 http://www.webboston.com/plasma-1/ http://www.webboston.com/plasma-1/#comments Thu, 17 Jan 2019 07:16:20 +0000 tonson http://www.webboston.com/?p=2927 人体对所有植入材料的最基本的要求是无菌。杀菌是用适当的物理或化学方法杀死或消灭感染传播载体上的一切致病源,常用“无菌保证上限”(SAL)来定量评价灭菌工艺效果。SAL的定义为产品经灭菌后存活微生物的概率。该值越小,微生物的存活率也就越小,国际规定,SAL不得大于10-6,即灭菌后存活微生物不大于百万分之一。

常用的灭菌方法有干热灭菌、化学试剂灭菌和辐射灭菌。高压蒸汽灭菌器灭菌是在一定气压的条件下,在温度高达120摄氏度的蒸汽中,处理30min或者更长的时间。目前在医疗和手术器械中应用广泛的高分子材料,在经历高温灭菌后,会产生严重的化学变质和物理变形。实验证明,当材料的主体、界面或表面特性发生变化后,材料的功能也就被破坏了。

许多化学药剂都可以用来灭菌。在20世纪50年代末,医院开始把环氧乙烷作为一种低温灭菌方法,用来对内科和外科器械进行灭菌。环氧乙烷通过使核酸中的胺基团烷基来杀死微生物,从而达到灭菌目的。环氧乙烷是一种有毒的、公认的致癌物,除了必须对工作人员进行安全培训和提供防护工作服外,医院还需要安装昂贵的检测,抽风和通风设备;灭菌后的器械,需要在空气中清洗很长时间才能去除残留在表面上的环氧乙烷,这就迫使医院必须有大型昂贵的存储设备,以适应灭菌周期;此外,由于环氧乙烷属于易爆品,必须在其中混入二氧化碳和氟利昂等阻燃剂。尽管环氧乙烷存在这么多缺点,但是直到近期,仍没有找到合适的低温灭菌的替代方法。

20世纪70年代初期,利用放射线钴产生的γ射线进行辐射灭菌成了一种简单有效的灭菌方法。γ辐射通过打断聚合物的交联链降解大多数的聚合物。在规定剂量的γ射线的辐射下,通过降解交联聚合物进行灭菌需要很长的时间。采用γ射线灭菌时,其操作规程以及对放射源的放置安装使用都有严格的程序规范,放射源也必须保存在一个特定位置,并严格按照规程操作使用。

现如今气体电离的等离子体被越来越多的应用到医疗器械或医疗设备的表面杀菌中。等离子体的消毒和杀菌特性使等离子体也很可能应用到生物材料设备制造或外科手术中。与电子束灭菌相比,等离子体灭菌价格更便宜;与环氧乙烷灭菌相比,等离子体灭菌毒性更低;另外等离子体灭菌在常温下进行,所以不会使材料受到像蒸汽灭菌产生的热和水解的影响。所以,等离子体灭菌比较适合用于热或辐射敏感的材料。与传统灭菌技术相比,等离子体灭菌可以节省更多的时间和成本,例如,可直接应用于已包装的物品灭菌,而与某些化学消毒技术相比,也节约所需的通风时间。

等离子体放电产生的高活性自由基和离子是实现灭菌的关键因素。采用射频辉光放电技术的等离子体灭菌系统,可以用来处理各种生物表面清洗和灭菌。在实验室中,通过采用惰性气体辉光放电预处理的组织培养基板,其基板表面的组织细胞的吸附性得到了极大改善,细胞种植率也提高了一倍,所以说,经过等离子体处理的基板的可靠性也提高了。在基板的表面处理过程中,同时也就完成了对基板的灭菌。

传统的杀菌消毒效果并不理想,低温等离子体杀菌消毒技术更能够满足现代各种产品的消毒需求。具体而言,体现在以下几个方面:
1、酶标板酶标板的材质一般为聚苯乙烯(PS),表面能比较低,亲水性很差,经低温等离子体接枝处理后,能在基体表面引入醛基、氨基、环氧基等活性官能团,提高基体表面的浸润性、表面能,使酶牢牢地固定在载体上面,提高酶的固定性。

2、糖化血红蛋白测试卡糖化血红蛋白测试卡主要由吸水垫、聚乙烯纤维膜、反射条和PET底板组成,利用低温等离子体可以改变聚乙烯纤维膜表面的微观结构,提高其亲水性。

3、导尿管导尿管一般是以天然橡胶、硅橡胶或聚氯乙烯(PVC)材料制成,因其材料本身的生物相容性较差,需采用等离子体改性,提高基材的浸润性,并在PVC表面涂覆了三氯生和溴硝醇,改性后的PVC材料能杀死细菌及抗细菌的黏附,从而减少了材料在使用过程中引起的患者感染,提高了材料的生物相容性。

4、输液器 输液器在使用过程中有时候会出现拔针时,针座与针管之间由于接合不良导致脱离的现象,为避免这种医疗事故的发生,对针座进行表面处理是非常必要的。针座孔非常小,普通方法很难实现,采用低温等离子体技术进行处理却非常适合。经过等离子活化后的表面浸润性很好,可提高其与针管的粘接强度,以确保它们之间不会脱离。

5、血液过滤器血液过滤器主要作用是使白细胞、部分血小板和血液中的微聚物及细胞代谢碎片滤除,降低非溶血性输血反应的发生。而血液过滤器的滤芯通常会使用聚酯纤维无纺布作滤芯,由于高分子材料本身具有疏水特性,血液过滤器的内壁和滤芯都需要等离子体的抗血凝处理,以提高其过滤能力、浸润性和使用寿命。

6、心血管支架生物材料用于人体必须要具备生物相容性,尤其是与血液相接触的材料如血管内支架一定要具备血液相容性,因此会在支架表面做上药物涂层。利用低温等离子体预处理技术可以改善支架表面的浸润性和涂层与基体之间的接合强度,提高支架表面涂层的均匀性和结合牢度。

7、人工晶状体疏水性聚丙烯酸酯人工晶状体是一种新型软性材料,具有良好的屈光度和柔韧性,表面黏性大,能与后囊膜产生更强的黏附,有效抑制晶状体上皮细胞的迁移和增殖,降低后囊膜混浊的发生率。但由于聚丙烯酸酯的疏水性极强,容易吸附细胞和细菌等,造成严重的术后炎症反应。利用低温等离子体技术对其表面进行修饰,可以提高聚丙烯酸酯的表面能,改善浸润性.

罕见的或新发现的病毒和细菌日益肆虐,医院感染控制的挑战也更加严峻,在这种情况下,就更需要关注和推广这种高效的等离子体灭菌技术。

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