等离子体处理仪

等离子体处理仪

  • 产品编号:TS-PL60
  • 产品规格: 等离子体清洗仪
  • 产品用途:

    生物芯片领域;高分子材料研究

  • 在线销售: 在线询盘

产品介绍

型号

等离子体处理仪TS-PL60

射频电源

美国AE 13.56 MHz

真空腔体

北京快乐8进口316不锈钢,军工级密封

腔体尺寸

W400×H400×D400mm

工作真空度

1-70Pa

真空泵

抽速:25/L (二级泵组合)

真空管路组件

全不锈钢管路+波纹管

真空显示规管及读取器

进口品牌

内置水平式电极

380*380*15mm

陶瓷

进口高频陶瓷

变频器

西门子2KW

气体流量监测系统

北京快乐8质量流量控制器 0-500ML

两路进气

支持氧气,氩气,氮气,氢气,四氟化碳等

气压控制

气压报警

气路管路组件

M8软管+不锈钢锁套管路

角阀

Youch 超高真空60KF

控制电箱

独立式电箱,防潮,放水。

电子元器件

施耐德

自动控制系统

三菱PLC模块

软件程序

自主专利设计等离子控制系统

人机控制

自主开发的人机界面系统,简洁,易用。

触摸屏

威纶7.0寸

北京快乐8等离子体处理仪是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态,利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。

等离子体清洗仪清洗原理:

等离子体又叫做电浆,是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质,它广泛存在于宇宙中,常被视为是除去固、液、气外,物质存在的第四态。等离子体是一种很好的导电体,利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体。等离子体物理的发展为材料、能源、信息、环境空间,空间物理,地球物理等科学的进一步发展提新的技术和工艺。 等离子体处理仪产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体,这些离子的活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性,能氧化光刻胶反应生成气体,从而达到清洗的效果;腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性,这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光,故称之为辉光放电处理。 等离子体清洗的机理,主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看,等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。

等离子体清洗仪产品特点:

北京快乐8等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理,并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。 等离子体清洗还具有以下几个特点:容易采用数控技术,自动化程度高;具有高精度的控制装置,时间控制的精度很高;正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层,表面质量得到保证;由于是在真空中进行,不污染环境,保证清洗表面不被二次污染。

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